JPS63277416A - ア−ク発生計数カウンタを有する直流高圧電源 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明は直流電源に係り、特にイオンプレーティング
装置に用いられる直流高圧電源に関する。

「従来の技術」 従来、直流電源の出力端子が短絡状態になったり、過負
荷の状態が長時間続くと出力トランジスタが熱破壊され
ること等により、電源側が破損する。このため直流電源
を含め過負荷あるいは短絡保護回路が設けられているの
が一般的である。

また、直流電源のうちでも特にイオンプレーティング装
置等に用いられる直流高圧電源においては、アークが発
生し過負荷あるいは短絡状態になった場合、該状態を検
出すると同時に、（ａ）’Ｉ源側にインバータが用いら
れている場合は該インバータを停止させ、あるいは（ｂ
）昇圧トランス、およびサイリスタ等により構成された
整流ブリッジ等が用いられている場合は該整流ブリッジ
を停止する。

上述した（ａ）　（ｂ）の場合の具体的な回路例を第７
図、第８図に示す。これら直流高圧電源は、たとえば第
５図に示すようなイオンプレーティング装置に用いられ
ることがあるものである。

このイオンプレーティング装置は、直流電界を場にあた
えてイオンを移動加速させサブストレートにイオンプレ
ーティングを行う装置であり、第５図にイオンプレーテ
ィング装置の構成を示す。

この図において１は真空槽でありアースされている。

この真空槽の、図面上左端、側面部ＩＬにはチタンター
ゲツト板収納部２が形成されている。該収納部２にはチ
タンターゲツト板３が収納されている。チタンターゲツ
ト板３の一方の而３ａには電極棒４が固定接続されてお
り、該電極棒４の左端部が上記真空槽ｌに対して絶縁さ
れた状態で真空槽外部に突出している。

さらに、上記真空槽ｌの左端側面部ＩＬには穴５が形成
されており、アークスタート用電極６がＸ、Ｙ方向に摺
動可能に、電気的には絶縁された状態で取り付けられて
いる。

７は第１のＤＣ電源である。このＤＣ電源のマイナス側
は上記電極棒４に接続され、一方プラス側は上記真空槽
ｌに接続されており、このＤＣ電源により上記チタンタ
ーゲツト板３ｂと上記真空槽ｌの間でアーク放電が行な
われる。８は第２のＤＣ電源である。このＤＣ電源８の
プラス側は真空槽ｌに接続される一方、マイナス側は真
空槽１に対し真空状態を維持した状態でゆっくり回動す
る回動シャフト９に接続されている。　この回動シャフ
ト９は真空槽１の内部に突出しており、突出部９ａには
サブストレート１１（被コーテイング材）が取り付けら
れている。

そして、該サブストレート１１は上記回転シャフト９に
電気的に接続された状態にある。

イオンプレーティング装置は上述したような構成であり
、アークスタート用電極６の先端部６ａを一度チタンタ
ーゲット板面３ｂに接触させ、然る後、引き離し、アー
クをスタートさせる。アークスタート用電極６をさらに
引き離すと、発生したアークの陽極側は引き離されたア
ークスタート用電極６よりも近くにある真空槽目子移動
し、持続する。アークの陰極側終端は電流の絞り作用の
ため、スポット状となりチタンターゲツト板３ｂ上をラ
ンダムに移動する。

この陰極スポットは電子密度が高く、高温となるためチ
タンを溶解蒸発させる。

このようなアーク式のイオンプレーティング装置の利点
は低圧大電流であり、この大電子密度のため気化したチ
タン原子は直ちに電子の衝突をうけてイオン化する。こ
の陽イオン化したチタン原子は第２のＤＣ電源８により
印加されている負電圧によりサブストレートＩ■に吸い
寄せられる結果、サブストレート１１はイオンプレーテ
ィングされる。　上述した、イオンプレーティング装置
に用いられる、上記第２のＤＣ電源８が第７図、第８図
に示す構成の直流高圧電源である。第７図に示す直流高
圧電源は平滑用フィルタ１４、出力端子電圧検出回路１
５、Ａ　Ｃ／Ｄ　Ｃ変換器１７等より構成されている。

Ａ　Ｃ／Ｄ　Ｃ変換器１７は、交流入力電圧Ｖｉｎを整
流するためのダイオードブリッジ１６ａと、該ブリッジ
１６ａにより整流された直流電圧をさらに交流に変換す
るためのトランジスタブリッジ１６ｂ１該ブリツジ１６
ｂの出力電圧を昇圧するための昇圧トランス１６ｃ、該
トランス１６ｃにより昇圧された出力を再度整流する第
２のダイオードブリッジ回路１６ｄ等とから構成される
Ｄ　Ｃ／Ｄ　Ｃコンバータ、検出回路１５の出力信号の
大きさと、基準電圧設定手段１６ｆによりあらかじめ設
定された基準電圧Ｖ　ｒｅｒとの差を演算し、この演算
結果をらとに上記ブリッジ１６ｂを構成する各々のトラ
ンジスタをＰ”ｖＶＭ信号により制御する制御回路１６
ｅとから成るものである。

ところで、上述した従来のイオンプレーティ／グ装置に
はつぎに述べるような問題点が存在した。

上記した第２のＤＣ電源８により、上記チタンターゲツ
ト板３とサブストレート１１との間に与えられる電界は
サブストレート１！の表面の凹凸、電源の変動等により
不平等電界となりやすく、この不平等電界中では第６図
（ロ）に示すように一部分にエネルギが集中し、その結
果アークが発生し、このアークによりサブストレート１
１に傷を付けることになる。　このため、発生してしま
ったアークをできるだけ速やかに遮断するような方法が
こうじられており、第７図、第８図に示すように、検出
回路１５によりアーク発生に伴う負荷電圧、すなわち出
力端子電圧の低下、あるいは負荷に直列に介装された負
荷電流検出回路により負荷電流の急増を検出して、ＡＣ
／ＤＣ変換器１７．１８を制御し、出力直流電圧を零あ
るいはアーク発生電圧以下に落とし制御することにより
不平等電界を取り除き、発生したアークを消去する。

しかし、上述した手段によっても、平滑フィルタ１４に
蓄えられているエネルギはアーク発生部分に集中注入さ
れ、これによりサブストレートｌ１表面には傷が生じる
。たとえば第７図に示すＤＣ／ＤＣコンバータを含むＡ
　Ｃ／Ｄ　Ｃ変換器１７において、変換周波数を１００
ＫＨｚとしても１０００Ｖ２ＯＡの負荷時に平滑用フィ
ルタに蓄積されているエネルギは数百ミリ−数ジュール
であり、このエネルギが注入されることによってサブス
トレート表面に傷が生ずる。　しかし、この注入される
エネルギが数十ミリから数百ミリジュール程度であれば
サブストレートの傷は非常に軽微なもの、あるいは傷が
発生することはなくなる。

第７図に示したＤ　Ｃ／Ｄ　Ｃコンバータを含むＡＣ／
ＤＣ変換器１７においては変換周波数をあげればフィル
タ１４に蓄積されるエネルギは小さくなるが、数十ミリ
ジュール程度に低減させるには数Ｍ〜数十ＭＨ２のＤ　
Ｃ／Ｄ　Ｃコンバータが必要となり、このようなコンバ
ータを製作するのは困難であり現実的でない。

このため出願人は次に述べるような直流型、源装置を提
案している。この直流電源装置は第３図に示すような構
成である。　この図において第７図と同一な部分につい
ては同一の番号を付し説明を省略する。　まず、１００
はコンパレータである。

このコンパレータ１００の反転入力端子１００ａには上
述した出力端子電圧検出回路１５（１５ａ・・・抵抗値
Ｒい　１５ｂ・・・抵抗値ｎｔ）により検出された負荷
電圧Ｖ。に比例したＶ　ｏ−Ｒｔ／　（Ｒ＋　＋　Ｒｔ
）なる電圧信号Ｖ。が加えられている。１０１はアーク
判定電圧発生回路であり、抵抗１０１ａ（抵抗値ｒ＋）
、抵抗１０１ｂ（抵抗値ｒｔ）がシリーズに接続され、
一定電圧＋Ｖｃを分圧し、抵抗［０１ａと抵抗１０１ｂ
との接続点より＋Ｖ　ｃ−ｒｔ／　（ｒ＋　＋　ｒｔ）
なる判定電圧Ｖ　ｄｅｔを取り出している。そしてこの
判定電圧Ｖ　ｄｅｔはコンパレータ１００の非反転入力
端子１００ｂに加えられている。　この結果、コンパレ
ータ１００はＶ。＜　Ｖ　ｄｅｔの場合に１４アクテイ
ブのパルス信号ＳＩを出力する。また、ｖ、＞Ｖｄｅｔ
の場合にはコンパレータｌＯＯの出力はＬレベルである
。

１０２は上記コンパレータ１００の反転入力端子ｔｏｏ
ｂをアースに落とすためのスイッチである。このスイッ
チ１０２は後述するパルス信号Ｓ、によりオン／オフす
るように構成されているソリッドステートリレー接点、
あるいはアナログスイッチである。

１０３はモノステーブルマルチバイブレータ、い゛わゆ
るワンショット回路であり、上記パルス信号ＳＩの立ち
上がりエツジによりトリガーされて一定パルス幅Ｔのパ
ルス信号Ｓ、を出力する。

１０４は上記同様のモノステーブルマルチバイブレータ
であり、パルス信号Ｓ３を出力するのであるが、上記モ
ノステーブルマルチバイブレータ１０３と異なる点は、
出力されるパルス信号Ｓ。

のパルス幅がｔ３であり、該パルス幅ｔ３は上記パルス
信号Ｓ、のパルス幅Ｔよりも小さいことである。

＋０５は後述する接点１０６のドライバーである。この
ドライバー１０５は、上記信号Ｓ３に一致したパルス信
号Ｓ４を出力し、該信号Ｓ４により接点１０６がオンさ
れる。

１０６は負荷りに並列に接続されたソリッドステートリ
レー接点である。

１０７は電流制限用のりアクドルであり、アークが発生
することにより、負荷に流れ込む負荷電流の上昇をおさ
える目的で上記フィルタと負荷との間に挿入される。　
　１０８は接点１０６の保護回路であり、この回路に限
ることはない。

１０９はＡ　Ｃ／Ｄ　Ｃ変換器である。この変換器１０
９の構成は第７図に示した変換器Ｉ７と類似の構成であ
り、ダイオードブリッジ１６ａ、１６ｄ、トランジスタ
ブリッジ１６ｂ、昇圧トランス１６ｃを具備している点
は同一であるが、トランジスタブリッジ１６ｂを制御す
るための制御回路（図示路）の構成が異なる。すなわち
、この変換器１０９が具備する制御回路は第７図の変換
器の制御回路の機能に加えてモノステーブルマルチバイ
ブレーク１０４の出力するＨアクティブの信号Ｓ３を受
けると、該信号Ｓ、を受けている間、ブリッジ１６ｂを
構成する各々のトランジスタを強制的にオフにしてＡＣ
／ＤＣ変換器としての動作を停止させる機能が具備され
ている。この直流電源装置によれば、負荷の状態を検出
して負荷に注入されるエネルギを速やかにバイパスする
ことにより、負荷に注入されるエネルギを抑制すること
ができるので、負荷変動により生ずる障害、たとえば過
負荷、出力端の短絡等による電源側の破損、あるいは装
置上のトラブルを速やかに回避することができ、アーク
によるサブストレート表面の微少な傷の発生を防止する
事ができる。

しかし、上述した直流電源装置においても、次に述べる
ような問題点が存在する。

すなわら、上述したように、接点１０６のターンオン時
曲ビ」に負荷に注入されるエネルギは制限され、たとえ
ばアーク発生の場合には発生したアークが遮断されるの
であるか、コンパレータ１００の非反転入力端子１００
ｂは時間幅Ｔにわたりグランドレベルとなっているため
、接点！０６のターンオン時間ｔ３経過の時点でこの直
流電源が再起動され出力端子電圧が上昇しても、時間ｔ
、経過後さらに期間Ｔ　　ｔｓ経過しなければアーク検
出可能状態とはならない、１このため、（ａ）上記期間
（Ｔ−ｔ、）中はアークが再発生してもこの状態を検出
できない。更に、（ｂ）この直流電源回路においては、
アーク発生回数を計数するためのカウンターシステムは
具備されておらず、発生したアーク回数を知ることは不
可能である。

そこで出願人は上記（ａ）の問題点に鑑みて、さらに第
２図に示す電気回路により実施可能な直流高圧電源の短
絡検知方法を提案している。

今、ここで第２図に示した上記検知方法を実現するため
の回路構成について説明しておく。

まず、２００はランプ関数発生回路である。こランプ関
数発生回路は周知であるので詳細は省略するが、ランプ
関数発生回路２００の出力するランプ波形基準電圧ＶＬ
は、スイッチ２０１によりＯＶにリセットすることがで
きるように回路構成されている。このスイッチはソリッ
ドステートリレー接点により構成されている。そして、
図示していないドライバ回路によりオン／オフされるも
のであり、パルス信号Ｖｍが）ルベルの場合にドライバ
回路は上記スイッチ２０１をオンとする。

また、２０２は基準電圧設定器であり、この設定器２０
２により上記ランプ関数発生回路２００の出力するラン
プ波形基準電圧ＶＬの振幅値をＶｒｅｒで設定すること
ができる。ランプ関数発生回路２００の出力するランプ
波形基準電圧ＶＬは、次ぎに述べるコンパレータ２０４
の非反転入力端子に加えられている。２０４は上記第１
のコンパレータであり、その非反転入力端子には上記ラ
ンプ波形基準電圧ＶＬが加えられる。また、反転入力端
子には基準電圧Ｖ、が加えられている。この結果、コン
パレータ２０４ｉ１ＶＬ＞Ｖ＋の場合ニＩ］アクティブ
のパルス信号Ｖｓを出力する。

２０３は基準電圧設定回路である。この基準電圧設定回
路はシリーズに接続された抵抗２０３ａ（抵抗値Ｒ１）
、２０３ｂ（抵抗値Ｒ，）により電源電圧子Ｖｃを基準
電圧Ｖ、（＋Ｖｃ−Ｒｔ／（１１＋＋Ｒｔ））に設定し
出力する回路である。この基準電圧■１はアークが発生
することのある最小電圧であり、上記コンパレータ２０
４の反転入力端子に加えられるように回路構成されてい
る。

２０５はポテンショメータであり、該摺動接点２０５ｄ
により分割されてなる、抵抗部２０５ａ。

２０５ｂの抵抗値Ｒ３、Ｒ４により決定される分圧比（
Ｒ４／（Ｒ１＋Ｒ，））をもとに、上記ランプ関数発生
回路２００の出力するランプ波形基準電圧ＶＬを分圧し
、この分圧しｈ電圧Ｖ。（ＶＬ−Ｒ。

／（Ｒ３−１４４））を第２のコンパレータ２０６の非
反転入力端子に加える。このポテンショメータ２０５に
より設定される上記分圧比は０．２〜０゜７程度に設定
されている。

第２のコンパレータ２０６の反転入力端子には、この直
流電源装置の出力端子電圧に対応する、検出回路１５に
より検出された検出出力Ｖｆが加えられている。したが
って、コンパレータ２０６はＶｏ＞ｖｆの場合にＨアク
ティブのパルス信号Ｖｃを出力する。

２０７は２人力のＡＮＤゲートであり、上記第１１第２
のコンパレータ２０４．２０６が出力するパルス信号Ｖ
ｓ、Ｖｃの論理積演算を行い信号Ｖｓｃを出力する。

２０８はモノステーブルマルチバイブレークであり、上
記信号Ｖｓｃの立ち上がりエツジに一致した、パルス幅
１０　ｍｓのパルス信号Ｖｍを出力する。このパルス信
号Ｖｍは上記した図示していないドライバ回路に加えら
れると共に、トランジスタブリッジ１６ｂを構成する各
トランジスタをＰＷＭにより制御する制御回路２１０に
加えられる。制御回路２１０は信号Ｖｍを受けると上記
各トランジスタをすべてオフとするように回路構成され
ている。

また、信号ｖＩ１１はソリッドステートリレー接点によ
り構成されるスイッチ２０９をオン／オフするドライバ
回路２１１に加えられるようになっている。このドライ
バ回路２１１は信号Ｖｍをうけると、該信号Ｖｍが入力
されている期間スイッチ２０９をオンとする。

進んで動作について述べる。

まず、トランジスタブリッジ１６ｂは制御回路２１Ｏに
よりＰＷＭ制御されており、このため昇圧トランス、ダ
イオードブリッジ１６ｄ、平滑フィルタ夏４を介して高
圧直流電圧が出力端子より出力されており、サブストレ
ートに対してイオンプレーティングが行なわれている。

いま、何等かの理由、たとえばサブストレートの表面の
凹凸、電源の変動等により電界に第６図（ロ）に示すよ
うな歪みが発生して、サブストレートｌｌの表面の一部
にエネルギーが集中してアークが発生する。この結果負
荷電圧″（出力端子電圧）は約１１５程度に降下して負
荷電流は上昇する。

この降下する負荷電圧は検出回路１５により検出されて
信号Ｖｒとして、コンパレータ２０６の反転入力端子に
加えられる。ポテンショメータ２０５は分圧比が０．７
程度に設定されているため、信号Ｖ。（＝０，７ＶＬ）
がコンパレータ２０６の非反転力端子に加えられている
。信号ｖｒが急激に低下していくと、信号Ｖ。の瞬時値
は０．７・ＶＬであるから信号Ｖｆと信号■。のクロス
ポイントを境にしてＶｏ＞ｖｆの条件を満足することに
より、コンパレータ２０６の出力信号ＶｃはＨレベルに
立ち上がる。一方、コンパレータ２０４の非反転入力端
子と反転入力端子とに加えられている信号ＶＬ、Ｖ、の
大小関係はこの時点ではいまだＶＬ＞Ｖ、であるから、
コンパレータ２０３の出力信号ＶｓはＨレベルを維持し
ている。アンドゲート２０７で信号Ｖｃと信号Ｖｓとの
論理積が求められ出力信号Ｖｓｃがモノステーブルマル
チバイブレーク２０８に加えられる。

モノステーブルマルチバイブレーク２０８は信号Ｖｓｃ
をトリガーとして、信号Ｖｓｃの立ち上がりエツジに一
致してパルス幅１０　ｍ５ｅｃのパルス信号Ｖｍを位相
制御回路２１０、ドライバ回路２＋１、さらにはスイッ
チ２０１をオン／オフするための図示していないドライ
ブ回路に出力する。このため、トランジスタブリッジ１
６ｂは動作を停止し、スイッチ２０９、スイッチ２０１
はオンとなる。

トランジスタブリッジ１６ｂが停止し、スイッチ２０９
がオンとなるためフィルタ１４に蓄えられたエネルギは
負荷側に注入されることなく、スイッチ２０９を通して
放電し、発生したアークは消失する。スイッチ２０９が
オンとされるタイミングは信号Ｖｍが出力されるタイミ
ングとほぼ−致しているため、はとんどアーク発生と同
時である。パルス信号Ｖｍが出力されている期間１０ｍ
５ｅｃが経過すると、上記トランジスタブリッジ１６ｂ
は再起動されると共に、スイッチ２０９．２０１はオフ
とされて、ランプ関数発生回路２００からはランプ関数
波形ＶＬが出力され出力電圧は再度立ち上がり、この出
力電圧か基準電圧Ｖ１より大きくなると再度アーク検出
を行える状態となる。

上述した直流電源回路においても、アーク発生回数を計
数するためのカウンターシステムは具備されていない。

このため発生したアーク回数を知ることはできない。

「発明が解決しようとする問題点」 以上述べた過程を経て、案出された上記各々の直流高圧
電源には次ぎに述べるような問題点が存在する。

すなわち、発生したアークは速やかに消滅させる、こと
ができ、さらに直流電源の再起動の際に存在する過負荷
あるいは出力端子短絡状態の検出不能期間を除去するこ
とが可能となるのであるが、アークが発生してしまった
場合には、イオンプレーティングされているサブストレ
ートの表面にはアークにより微少な傷か生ずるため、ア
ーク発生回数が大である場合はアークにより生ずる傷は
無視することができず、このような場合出来上がってく
る品物の商品価値は半減してしまう。このため、このよ
うな不良品を識別するため、アーク発生回数を計数でき
るカウンタシステムを有する直流高圧電源が待望されて
いた。

この発明は上述した事情に鑑みてなされたもので、この
発明の目的は容易にアーク発生回数を計数できるアーク
発生計数カウンタを具備した直流高圧電源を提供するこ
とにある。

「問題点を解決するための手段」 この発明では、出力電圧を設定するための基準情報設定
手段と、出力の状態を検出する検出手段と、上記基準情
報設定手段により設定された基準情報と上記検出手段に
より検出された、出力の状態に対応した情報とをもとに
、上記基準情報に対応する出力電圧を発生する、イオン
プレーティング装置に用いられる直流高圧電源において
、上記検出手段の出力をもとにアーク発生を識別する識
別手段と、該識別手段の出力するアーク発生識別情報を
もとにアーク発生の回数を計数する計数子゛　　段と、
該計数手段により計数した結果を表示する計数結果表示
手段とを具備したことを特徴とする１、アーク発生計数
カウンタを有する直流高圧電源により上記問題点を解決
する。

「作用」 この発明によれば、アークの発生回数を計数できるアー
ク発生計数カウンタにより、識別手段の出力するアーク
発生識別情報を計数して、表示手段により表示するよう
にしたので、容易にアーク発生回数を確認できる。

「実施例」 以下、図面を参照し、この発明の実施例について説明す
る。

第１図はこの発明の一実施例の電気回路の構成を示す図
である。この図において第２図と同一の部分については
同一の番号を付し説明を省略する。

まず、２１２は周知のアップカウンタであり、入力され
るパルス信号Ｖｍの数を計数する。このカウンタ２！２
は、電源投入時および電源遮断時に自動的にＬアクティ
ブのリセットパルスを発生して、該リセットパルスに上
りカウンタ２１２のカウント値を「０」リセットするオ
ートリセット回路２１２ａを具備している。

２１３は手動リセット回路であり、リセットスイッチ２
１３ａによりワンショットのしアクティブのリセットパ
ルスＲＥを出力し、このリセットパルスＲＥによっても
、カウンタ２１２はカウントデータが「０」にリセット
される。

２１４は４個の７セグメント表示器り、〜Ｄ４よりなる
４桁のアーク発生回数表示器であり、上記カウンタ２１
２が計数したカウントデータを表示する。

次に、本実施例の動作について説明する。

第１図に示す直流電源の短絡検知方法を実現するための
電気回路図においては、モノステーブルマルチバイブレ
ータ２０８からはアークが発生する毎にｒＨＪアクティ
ブのワンショットのパルス信号ｖｍが出力される。

カウンタ２１２の計数回路がリセットされた状態でこの
パルス信号Ｖｍが入力されると、計数回路はこのパルス
信号ｖＩ１１を計数し、計数結果を４桁の表示器２１４
に表示する。

なお、他の実施例として第３図に示す直流電源の短絡検
知回路にカウンタシステムをとりつけてもよい。この場
合はモノステーブルマルチバイブレータ１０３、あるい
は１０４により出力されるパルス信号Ｓ３の数をカウン
ターシステムにより計数すれば良い。

「発明の効果」 以上説明したように、この発明によれば、直流高圧電源
にアークが発生した場合に、該アークの発生回数を計数
することが可能となる効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例の電気回路構成を示すブロ
ック図、第２図、第３図は従来における第１図 直流電源の短絡検知方法を実現するための電気回路構成
を示す図、第４図（イ）（ロ）（ハ）は第３図における
負荷電流、負荷電圧等の波形を示す図、第５図はイオン
プレーティング装置の概略構成を示す図、第６図（イ）
（ロ）は平等電界、不平等電界を説明するための図、第
７図、第８図は従来の直流電源の回路構成を示す図であ
る。 ２１２・・・・・・カウンタ、２１２ａ・・・・・・オ
ートリセット回路、２１３・・・・・・手動リセット回
路、２１３ａ・・・・・・リセットスイッチ、２１・１
・・・・・・表示器。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、出力電圧を設定するための基準情報設定手段と、出
   力の状態を検出する検出手段と、上記基準情報設定手段
   により設定された基準情報と上記検出手段により検出さ
   れた、出力の状態に対応した情報とをもとに、上記基準
   情報に対応する出力電圧を発生する、イオンプレーティ
   ング装置に用いられる直流高圧電源において、上記検出
   手段の出力をもとにアーク発生を識別する識別手段と、
   該識別手段の出力するアーク発生識別情報をもとにアー
   ク発生の回数を計数する計数手段とを具備したことを特
   徴とするアーク発生計数カウンタを有する直流高圧電源
   。 ２、計数手段が外部より手動リセットできる手動リセッ
   ト手段を具備したアーク発生の回数を計数する計数手段
   であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のア
   ーク発生計数カウンタを有する直流高圧電源。 ３、計数手段により計数された計数情報が電源の投入時
   および電源遮断時に自動的にリセットされるオートリセ
   ット手段を具備したアーク発生の回数を計数する計数手
   段であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
   アーク発生計数カウンタを有する直流高圧電源。