JPS63276726A - 光学的記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （技術分野） 本発明は読み出し専用の光学的記録媒体の製造方法に関
するものである。

（従来技術） 光学的記録は磁気的記録と比較して記録媒体と再生ヘッ
ドが非接触であり、且つ高密度な記録が可能であるなど
の利点がある。この光学的記録媒体としては読みだし専
用のものと追加書き込み可能なもの、消去再書き込み可
、能なものが知られており、本発明にかかる読みだし専
用の光学的記録媒体としてはまず既に実用化されたコン
パクトディスク（ＣＤ）や光学式のビデオディスク等が
挙げられる。これらの光学的記録媒体で採用されている
方式は媒体中に形成された凹凸構造に情報が記録され、
情報の記録密度を挙げるため記録ピット（凹部又は凸部
の最小単位）は１μｍ前後の大きさにし、かつレーザ等
の光源を用いて再生光を該ピットと同程度の大きさに絞
って情報を読み出すことが行われているが、読みだし光
のビームが微少なことは再生の為にオートフォーカス、
オートドラッキングのための高度な技術、更に高価なレ
ーザ光線を使わねばならないという問題が生じる。

一方他の方式の光学的記録媒体として光学的に高い反射
率を有する部分と低い部分とをそれぞれ別の材料によっ
て構成し、この濃淡パターンを形成しデジタル情報を記
録する光学的記録媒体が知られている。この方式による
濃淡パターンの形成方法は例えば特開昭６０−６６３４
６号公報に開示されているように、基板上に光学的低反
射層と光学的高反射層をこの順に積層し、表面にフォト
レジストを塗布し、そこへ微細な濃淡パターンをもつマ
スクを介して露光し、その後フォトレジストを現像して
レジストパターンを形成させ、しかる後レジストパター
ンを利用してパターン状にエツチングを行って光学的高
反射層を除去させ光学的低反射層を露出せしめることに
より行っている。この方式は高価なレーザ光線を使用し
なくてもよいが、上述の様に製造工程の数が多く、各工
程も容易に行えるものではない。

レーザ光線を使用しない別方式として情報の最小単位で
ある記録ピットを回折格子で構成する光学的記録媒体が
考えられるが、数十μｍオーダーの回折格子部と平滑部
を選択し、回折格子部に回折格子を形成させるのは容易
なことではなく、更に回折格子の形成状態の精密性も要
求される。回折格子部の代わりにマット面部で記録ピン
トを構成する光学的記録媒体が考えられるが、数十μｍ
オーダーのマット面部と平滑部とを選択し、マント面部
にマット面を形成させるのは容易なことではない。

（発明の目的） 本発明は上記従来技術の問題点に鑑みなされたものであ
り、読み取り用の高価なレーザ光線を使用せずに、しか
も簡便な方法により大量複製を行うことができる読みだ
し専用の光学的記録媒体の製造方法を提供することにあ
る。

（発明の概要） 本発明は基材上にフォトレジストを塗布し、形成された
フォトレジスト層に微細なパターン状に情報が記録され
たマスクを用いて露光を行いフォトレジストを現像した
後、マット面を有するスタンパによりマット面を形成さ
せ、そしてその得られた記録パターンのスタンパをおこ
し、該スタンパにより微細なパターン状にマット面が設
けられた光学的記録媒体を複製させる光学的記録媒体の
製造方法である。

（発明の詳述） 以下本発明を図面の実施例に基づき詳細に説明する。

第１図から第５図までは記録パターンスタンパ母型の製
造の段階を順に示したものである。第１図に示されるよ
うに、１は光学的記録材料であり、基材２上にフォトレ
ジスト層３が積層されている。フォトレジストはポジ型
、ネガ型とも使用可能であるが、塗布がむらなく容易に
行え、しかも高解像力で露光の際の微細な情報記録パタ
ーンを充分に解像しうるちのを選び使用する。フォトレ
ジストの例としては、ＡＺ　　１３５０　（Ｓｈｉｐｌ
ｅｙ社製）、０ＦＰＲ−２、０ＦＰＲ−５０００（東京
応化型）、等その他多数挙げられる。基材２は用途に適
した特性、例えば表面の平滑性、耐性等を有し、後工程
、即ちフォトレジストの現像やスタンパ成形工程に於て
劣化や変形などの影響を受けないものを選び使用する。

基材２としては、ガラス板、金属板等その他多数挙げら
れる。

その後形成されたフォトレジスト層３上に微細なパター
ン状に情報が記録されているマスク４を介して露光を行
い（第２図）、その後フォトレジストを現像し微細なレ
ジストパターンを形成させ（第３図）、シかる後マット
面を有するスタンパ５をフォトレジスト層３に合わせて
加圧しマット面を形成させる（第４図）。マット面を有
するスタンパ５としては、曇った金属板、金属板の表面
をやすり等で更に磨いたもの、金属面をボール研磨、プ
ラッシェ研磨した面、電解研磨した面、金属がアルミニ
ウム等の場合には陽極酸化により作成したマット面、上
記の研磨方法が組合せ可能な場合において適当に組み合
わせて作成したマント面、焼結金属をスタンパ用に加工
したもの、曇りガラス、マットフィルム、等が挙げられ
る。スタンバ５のマント面としては、表面荒さが（溝の
深さ）　、０．０１μｍ〜５μｍ、でかつ荒さ周期が（
溝と溝の間隔）　、０．１８１１１〜２５μｍの範囲に
その平均値があることが望ましく、塗布したレジストの
膜厚、記録パターンの回度、記録ピットの大きさ等によ
り使い分けてフォトレジスト層３にマット面を形成させ
る（第５図）。

しかる後フォトレジスト層３及び基材２の表面に金属層
６を形成させる（第６図）、金属層６は後工程の第７図
の記録転写スタンパ７を起こす技術方法（例えば電鋳法
）を適用する際に不都合でない金属を選び、それを真空
蒸着又はスパッタリングを行うことで形成される。それ
が更に光学的に高い反射率を有する金属の場合には、こ
の状態に読み出し光を照射すると再生も可能となり記録
状態の確認を行うことができる。金属層６の例としては
、Ａｕ、、Ａｇ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｎｉ、等が挙げられる。

電鋳法等の技術により得られた母型から記録転写スタン
パ７により光学的記録媒体の大量複製を行う（第７図）
。複製方法としては射出成形法、圧縮成形法、紫外線硬
化樹脂を使った方法などが挙げられるが、複製品が良質
で効率よく製造できる方法を選んでから行う。複製され
た基材８の表面には光学的に高い反射率を有する金属を
選び、真空蒸着又はスパッタリングにより金属層９を形
成させ、その上部には光学的に透明な材料１ｏで保護層
を形成させる（第８図）、この場合読み取り光は材料１
０の側から照射するが、逆に基材８を光学的に透明な性
質をも備えた材料を使い基材８の側から読みだし光を照
射する方式も可能である。またその表面に光学的に高い
反射率を有する金属薄膜を設けた熱可塑性樹脂に記録転
写スタンバ７で圧縮成形を行い光学的記録情報を転写さ
せる方法も可能である。

この光学的記録媒体の製造方法は、マット面部と平滑部
を選択的に形成が行え、しがち大量複製も効率よく行う
ことができる。

（実施例） 以下本発明の具体的実施例により説明するが、本発明は
実施例だけに限定されるものではない。

′ｆ４６〜７ｃｌｌ　横５〜６ｃ１１　の表面が平滑な
ガラス板上にフォトレジスト（ＡＺ−１３５（１’）を
スピナー塗布し、乾燥後（９０℃）、微細な濃淡パター
ン状に情報が記録されたマスクを介して露光を行い、そ
の後フォトレジストを現像しレジストパターンを形成さ
せた後、フォトレジスト層上にその表面を紙やすり（Ｎ
Ｏ，１０００）で磨いたフェロ板を合わせ加圧し、しか
る後レジストパターン上に金蒸着を行い導電性薄膜を形
成させた後、これをスルファミン酸ニッケル浴を用いた
ニッケル電鋳てニッケルスタンパを作成し、厚さ０．５
　ｍｓ＋のポリ塩化ビニルシート上にニッケルスタンバ
の形状を圧縮成形で転写させ、得られた転写表面にアル
ミニウム蒸着を行い、マット面部と平滑部とを顕微鏡で
観察したところ両者がはっきりと区別され、また４００
ｎｍ〜９００ｎｍの波長領域で３０χのコントラストが
得られ、発光ダイオードを読み取り光としＣＣＤライン
センサーでの読み取りも可能であった。

（発明の効果） 本発明によりマント面部と平滑部を選択的に形成が行え
、しかも効率よく光学的記録媒体の大量復製も行うこと
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図から第８図は本発明の各工程における断面の拡大
図である。 １・−・・−光学的記録材料 ２−−一一一基材 ３−　　フォトレジスト層 ４−・−情報が記録されているマスク ５−・・−スタンパ ６−・−金属層 ７・・・・・記録転写スタンバ ８−・−複製された基材 ９−・−金属層 １０・・・−光学的に透明な材料 第１図 第２図 第３図 第５「９１ 第６図 第７図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　光学的に高い反射率を有する材料で凹凸パターンが形
   成され、該凹凸パターンの凹部又は凸部の少なくとも一
   方がマット面で形成されている光学的記録媒体の製造方
   法に於て、基材上にフォトレジストを塗布し、形成され
   たフォトレジスト層に微細な濃淡パターン状に情報が記
   録されたマスクを用いて露光を行いフォトレジストを現
   像した後、マット面を有するスタンパにより残存したフ
   ォトレジスト表面にマット面を形成して記録パターンを
   作製し、得られた記録パターンからスタンパを起こし、
   該スタンパにより微細なパターン状にマット面が設けら
   れた光学的記録媒体を複製させることを特徴とする光学
   的記録媒体の製造方法。