JPS63275979A - ウエハキャリア出し入れポートの障害物検知方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、検知空間内に進入した障害物を検知する障害
物検知方法に関する。

（従来の技術） 一般に、工場内における進入禁止領域や、装置における
操作介入禁止領域等へ作業者や装置が進入した際の安全
対策として、カーテン状の障害物検知装置が用いられて
いる。

第４図はカーテン状障害物検知装置を示すもので、複数
の発光部■が等間隔おいて配設された光源■と、複数の
受光部■が等間隔おいて配設された受光器６）が対向配
置され、夫々発光部（１）と受光部■が１対１で対応し
ている。この光源■と受−光器（イ）を進入禁止領域や
操作介入禁止領域を挟んだ状態で対向配置し、複数の発
光部０）から例えば赤外ｍ■を発光し、上記発光部（υ
に対応した複数の受光部■が夫々受光する。この時、複
数の発光部（１）から発光された赤外ｖＡ■空間即ち検
知空間内に作業者等が進入した場合、上記赤外線（ハ）
を遮断する為、これにより上記検知空間内の進入を検知
し、事故等を防止する。

また、動作範囲が限定されているロボットの対人衝突防
止制御方法として特公昭６０−１０２４０号公報に開示
されたものがある。これは、上記ロボットの動作範囲を
複数の領域に分割し、人間の位置検出用である人間の体
重を感知することができる荷重マットを上記分割した領
域に複数個設け、これにより人間の進入を検出する。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら上記説明の従来の技術では、複数の発光部
、受光部又は荷重マットを必要とし、上記カーテン状障
害物検知装置では小物体の進入検知には更に上記発光部
、受光部を必要とする為、コストが増大してしまうとい
う問題点があった。

本発明は上記点に対処してなされたもので、検知空間進
入体を低コストにより検知することができる障害物検知
方法を提供しようとするものである。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段） 本発明は、光源からのビーム光を少なくとも１回反射さ
せ、この反射光ビームを受光する光学系を予め設置し、
この光学系内の検知空間内への障害物の進入を検知する
ことを特徴とする。

（作　用） 光源からのビーム光を少なくとも１回反射させ、この反
射光ビームを受光する光学系を予め設置し、この光学系
内の検知空間内への障害物の進入を検知することにより
、光学系を複数個使用せずに障害物の進入を検知する為
、低コストにより行なうことが可能となる。

（実施例） 以下、本発明方法の一実施例につき図面を参照して説明
する。

第１図において、センサ一体０に離間状態で一端部に光
センサーの単一光源■、他端部には単一受光器（８）が
設けられ、この光源■と受光器（８）の間には表面が研
磨された反射板例えばミラー０が設けられている。

上記センサ一体■の対向位置にこれと平行に支持体（１
０）を設定し、この支持体（１０）の上記センサ一体０
の対向面に表面が研磨された反射板例えばミラー（１１
）が設けられている。このように障害物検知装置が構成
されており、上記光源■がら例えば赤外線ビーム光（１
２）を上記ミラー（１１）に向けて多少の角度をつけた
状態で照射し、上記支持体（１０）に設けたミラー（１
１）とセンサ一体０に設けたミラー０）の間を複数回反
射し、上記センサ一体■に設けた受光器（８）で受光す
る。この時、光源■から赤外線ビーム光（１２）を照射
する角度は、受光器（８）が受光可能な範囲で角度調整
するが、照射角度を大きくするに従い上記ミラー（１１
）とミラー（９）の間における反射回数が減少し、小物
体の検知不可能領域が多く発生する為、検知物体の大小
により選択したり、上記の障害物検知装置を複数箇所使
用して物体の検知を行なう。

上記障害物検知装置を複数箇所使用した実施例を第２図
に示す。これは、クリーンルーム内に設置されるウェハ
キャリアの出し入れボートであり、ウェハキャリアの搬
送装置例えばハンドリング装置と接続して上記ウェハキ
ャリアの搬出入が行なわれる。

キャリアボート台（１３）上には複数のウェハキャリア
（１４）を載置できるボート（１５）が設けられている
。このボート（１５）の入口に上記説明の障害物検知装
置が複数箇所例えば３箇所設けられている。

即ち、ボート（１５）の入口に微調整可能な光源（７ａ
）と受光器（８ａ）が多少の間隔を設けて配設されてい
る。この光源（７ａ）と受光器（８ａ）との間に表面が
研磨された反射板例えばミラー（９ａ）が設けられてい
る。　このミラー（９ａ）の対向位置にボート天上部（
１６）が設けられ、このポート天上部（１６）のミラー
（９ａ）の対向面に表面が研磨された反射板例えばミラ
ー（ｌｌａ）が配設されている。このように光源（７ａ
）、受光器（８ａ）、ミラー（９ａ）及びミラー（ｌｌ
ａ）から構成された障害物検知装置により空間（Ａ）を
検知する。上記構成と同様に光源（７ｂ）　、受光器（
８ｂ）　ｌ　ミラー（９ｂ）及びミラー（ｌｌｂ）から
構成された障害物検知装置により空間（Ｂ）を検知する
。更に光源（７ｃ）　、受光器（８ｃ）、ミラー（９ｃ
）及びミラー（ｌｉｅ）から構成された障害物検知装置
により空間（Ｃ）を検知する。この障害物検知装置３箇
所により上記ボート（１５）の入口をカバーすることに
なる。

まず、光ｇ　（７ａ）から例えば赤外線ビーム光（１２
）を上記ミラー（ｌｌａ）に向けて多少の角度をつけた
状態で照射し、このミラー（ｌｌａ）に到達、反射する
。

更にこの赤外線ビーム光（１２）はミラー（９ａ）、ミ
ラー（ｌｌａ）に到達、反射し、受光器（８ａ）に入射
する。

この時、それぞれに配設されているミラー、光源。

受光器は上記赤外線ビーム光（１２）が到達可能な如く
角度微調整されて設定されている。このようにして空間
（Ａ）における障害物検知を行ない、又、空間（Ｂ）、
空間（Ｃ）も同様に行なう。

このように障害物検知を実行中、上記赤外線ビーム光（
１２）を遮断するもの例えば作業者の介入、正しく設置
されていなかったウェハキャリア（１４）等により受光
器（８ａ）　、　（８ｂ）　、　（８ｃ）は上記赤外線
ビーム光（１２）を検知出来ず、異常事態であることを
認識し、アラーム表示、装置動作の停止、更に警報ベル
等の対処を行ない異常事態を報告する。

クリーンルーム内における無人化・自動化への過程とし
て、作業者が介在する自動化がある。この状態で上記ボ
ート（１５）上における障害物検知は、ウェハキャリア
（１４）の自動搬送機及び作業者の２種類の場合が考え
られる。ホストコンピュータによりウェハキャリア（１
４）自動搬送のスケジューリングが行なわれ、作業者の
認識外において上記ボート（１５）はリザーブ状態とな
る。この時のウェハキャリア（１４）自動搬送スケジュ
ールを記憶しておき、自動搬送時のみ障害物検知装置を
解除することにより１作業者のみの介入を検知すること
が可能となる。

また１作業者の通路上に設置した場合の障害物検知装置
を第３図に示す。作業者等の進入禁止区域の入口等に、
通路の両端に上述した障害物検知装置と同様の構成で縦
型に配設し、この通路に作業者等が介入した場合に検知
する。このような場合でも同様な効果で障害物検知を行
なうことが可能となる。

上記実施例の障害物検知装置に赤外線ビーム光を使用し
て説明したが、可視光線等でも同様な効果を得ることが
できる。

また、上記実施例では２次元的に障害物検知を行なった
が、支持体の数を増やすことにより３次元的に障害物検
知を行なうこともできる。

以上説明したようにこの実施例によれば、単一光源から
照射した例えば赤外線ビーム光を複数回反射させて単一
受光器で受光することにより、低コストで障害物検知を
行なうことができる。

また、光源９反射板、受光器が微調整可能である為、反
射回数を加減することができ、検知体の大きさを選択す
ることもできる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、光源からのビーム
光を少なくとも１回反射させ、この反射光ビームを受光
する光学系を予め設置し、この光学系内の検知空間内へ
の障害物の進入を検知することにより、光学系を複数個
使用せずに障害物の進入を検知する為、低コストにより
行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明方法の一実施例を説明する為の障害物検
知装置の構成図、第２図は第１図の障害物検知装置を複
数箇所に使用した一実施例を説明する為の障害物検知装
置の構成図、第３図は本発明方法を進入禁止区域に適用
した一実施例を説明する為の構成図、第４図は従来の障
害物検知装置の構成図を示すものである。 ６・・・センサ一体、　　７・・・光源、８・・・受光
器、　　　　９，１１・・ミラー、１０・・・支持体、
　　　　１２・・・赤外線ビーム光。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）光源からのビーム光を少なくとも一回反射させ、
   この反射光ビームを受光する光学系を予め設置し、この
   光学系内の検知空間内への障害物の進入を検知すること
   を特徴とする障害物検知方法。
2. （２）光源部と受光部が離間状態である特許請求の範囲
   第１項記載の障害物検知方法。
3. （３）光学系は角度微調整可能である特許請求の範囲第
   １項記載の障害物検知方法。