KR20000047599A

KR20000047599A - 천정주행 반송장치

Info

Publication number: KR20000047599A
Application number: KR1019990049035A
Authority: KR
Inventors: 무라타마사나오
Original assignee: 이노마다 시게오; 신코덴키 가부시키가이샤
Priority date: 1998-12-02
Filing date: 1999-11-05
Publication date: 2000-07-25
Also published as: KR100636601B1

Abstract

본 발명은 천정에 배설된 궤도를 주행하고, 반송물을 매달은 상태로 크린룸내등에 배설된 각 반도체 제조장치사이에서 반송하는 천정주행 제어장치에 관한 것이다.

본 발명은 반송물을 반도체 제조장치의 로드포트로 매달을 때에 반송물이 사람과 부주의하게 방치된 물건 등의 장애물과 접촉하기 전에 이를 검지하여 피하는 대책을 저렴하게 강구할 수 있는 천정주행 반송장치의 제공을 과제로 한다.

이를 위한 해결수단으로 호이스트 부착 대차(3)에 당해 대차(3)와 각 반도체 제조장치(7)의 로드포트(8)사이의 승강경로를 광탐색하여 장애물(21)의 유무를 검지하는 장애물 검지센서(22)를 구비한 구성을 채용했다.

Description

천정주행 반송장치{Transfer robot driving at a ceiling}

본 발명은 천정에 배설된 궤도를 주행하고, 반송물을 매달은 상태로 크린룸내등에 배설된 각 반도체 제조장치사이에서 반송하는 천정주행 반송장치에 관한 것이다.

반도체 디바이스의 제조를 행하는 제조설비에 있어서는, 여러 가지 장치사이에서 반도체 웨이퍼의 반송을 자동적으로 행하는 반송장치가 이용되고 있지만, 이러한 종류의 반송장치로서는 궤도식의 반송장치를 이용하는 것이 많다. 일반적인 궤도식 반송장치는 천정 또는 마루면에 설치된 궤도에서 반송대차를 주행시키도록 구성되어 있고, 통상, 궤도의 옆쪽에 각종 반도체 웨이퍼의 가공을 행하는 제조장치를 구비하고 있다.

일반적으로, 반도체 디바이스는 실리콘등의 반도체 웨이퍼가 가지가지 반도체 제조장치(웨이퍼 처리장치, 보관장치, 작업대, 버퍼장치등)의 사이를 천정주행 반송장치등의 반송에 의해 왕래하여 수백 공정이라는 공정처리를 경과하여 제조된다.

도 6을 참조하여 이하에 설명한다. 예를 들면, 크린룸에서 반도체 제조장치용의 천정주행 반송장치에서는, 도시되지 않은 천정쪽의 궤도(1)를 주행하는 호이스트 부착 대차(3)를 이용하고, 반도체 웨이퍼(2)가 들어간 웨이퍼 캐리어(6)를 반도체 제조장치(7)끼리의 사이 또는 반도체 제조장치(7)와 스토커(7A)의 사이에서 반송하면서 처리함이 행해지고 있다.

본 도에 도시한 호이스트 부착 대차(3)는 궤도(1)에 연하여 주행하는 주행부(3a), 이 주행부(3a)에 설치된 핸드 취부부(4)에 의해 승강자재로 매달린 핸드(5)로 되고, 반도체 제조장치(7)의 로드포트(8; Load port)에 적치된 웨이퍼 캐리어(6)를 핸드(5)로 파지하고, 핸드 취부부(4)가 핸드(5)를 상승시킨 후, 주행부(3a)에 의해 궤도(1)에 연하여 주행하는 구성으로 되어 있다.

그런데, 상기 크린룸 안에는 본 도에 도시한 바와 같이, 상기 천정측에 설치된 궤도(1)에 연하여 복수의 반도체 제조장치(7)가 병설되어 있고, 복수의 호이스트 부착 대차(3)에 의해 각 반도체 제조장치(7)의 로드포트(8) 위에서 웨이퍼 캐리어(6)를 파지하여 다른 반도체 제조장치(7)에 반송하도록 되어 있다.

상기 설명의 천정주행 반송장치에 의해 반도체 웨이퍼(2)의 반송은 아래와 같이 행해진다. 먼저, 궤도(1)에 연하여 호이스트 부착 대차(3)를 주행시켜 이로부터 반송을 행하는 웨이퍼 캐리어(6)의 어느 로드포트(8)의 위쪽에서 정지시킨다. 그리고, 핸드 취부부(4)를 감아내려 핸드(5)를 하강시켜 이 핸드(5)에 의해 웨이퍼 캐리어(6)를 유지한다. 그리고, 핸드 취부부(4)를 감아올려서 웨이퍼 캐리어(6)를 로드포트(8)에서 뽑아올려서 가장 높은 위치로 감아올린 후, 다시 호이스트 부착 대차(3)는 주행을 개시한다.

그리고, 다음 공정을 행하는 다른 반도체 제조장치(7)와 스토커(7A)의 로드포트(8)등의 위쪽에서 정지한다. 핸드 취부부(4)를 감아내려서 핸드(5)를 하강시켜 이 로드포트(8) 위에 웨이퍼 캐리어(6)가 완전히 탑재시킨 후, 핸드(5)는 웨이퍼 캐리어(6)를 해방하여 핸드 취부부(4)의 감아올림과 함께 상승하고, 다음 반송작업으로 옮긴다.

그런데, 천정주행 반송장치는 웨이퍼 캐리어(6)등의 반송물을 로드포트(8) 위에서 올리고 내리고 하는 관계상 반송물의 낙하와 반송물의 현수시에 사람과 부주의하게 방치된 물건등의 장애물(도시하지 않음)과의 접촉등의 문제를 피하기 위해 여러가지 대책이 검토되고 있다.

이러한 종래의 대책안의 예에 대해서 도 7에서 도 10을 참조하면서 이하에 설명한다. 이들 대책안은 J300(Japan 300㎜ Semiconductor Technology Comference)과 I300I(International 300㎜ Initiative)의 조인트 가이던스(Joint Guidance)에서 발표된 것이다. 더구나, 도 6에 설명한 것과 동일 구성요소에는 동일부호를 붙이고 그 설명을 생략한다.

도 7은 비상정지 스위치(9)를 반도체 제조장치(7)의 근방{예컨대, 본 도에서는 로드포트(8)의 윗면}에 설치하고, 문제가 발생하기 전 또는 발생 후에 도시하지 않은 운전자가 이를 눌러서 핸드(5)와 웨이퍼 캐리어(6)의 승강작동을 정지시키는 것이다. 게다가, 설명을 위해 이하 이 안을 대책안 A로 부른다.

도 8은 로드포트(8)의 자기 앞쪽의 광센서에 의한 빛의 커튼(10)을 둘러서 사람등의 장애물이 이 빛의 커튼(10)을 차단한 경우에 반도체 제조장치(7)가 이상을 검지하여 웨이퍼 캐리어(6)의 승강동작을 정지시키는 것이다. 게다가, 설명을 위해 이 안을 대책안 B라 부른다.

도 9는 로드포트(8)의 상부에 벽부(11)와 수동문(12)을 설치하여 로드포트(8)의 윗쪽 공간을 씌운 것이다. 메인터넌스(Maintance)등을 위해 로드포트(8) 안으로 엑세스(Access)할 필요가 있는 경우에는 수동문(12)을 수동으로 열어서 하지만, 이 수동문(12)에는 그 열림상태를 감지하는 센서(13)가 설치되어 있고, 수동문(12)이 열려진 상태에서는 센서(13)가 감지하여 웨이퍼 캐리어(6)의 승강동작을 정지시키는 것이다. 게다가, 설명을 위해 이 안을 대책안 C라 부른다.

도 10은 대책안 C에서 수동문(12)의 대신에 자동적으로 개폐하는 자동문(14)을 설치한 것이다. 이 안에 있어서도, 대책안 C와 동일하게 센서(13)가 설치되어 있다. 게다가, 설명을 위해 이 안을 대책안 D라 부른다.

그런데, 상기 설명의 종래 대책안 A, B, C, D는 아래와 같은 문제를 가지고 있으므로 현실적인 것은 아니었다.

즉, 대책안 A는 다수를 가지는 반도체 제조장치(7)의 모두를 상기 운전자가 감시하고 있지 않으면 안되고, 이 운전자의 순간의 판단을 필요로 함으로 상시로 적절히 대응할 수 있는 것은 아니었다.

또한, 대책안 B, C, D는 다수{일반적으로는, 300∼400대. 게다가, 이 경우의 호이스트 부착 대차(3)는 수십대 정도}를 가지는 반도체 제조장치(7)의 각 로드포트(8; 일반적으로는 1대당 2∼4개) 전체에 대응하기에는 1,000개소 이상의 대책을 강구할 필요가 있고, 반도체 제조장치(7)의 제조비용과 보수비용이 높아진다는 문제를 일으키게 된다.

본 발명은 상기 사정을 감안하여 된 것으로, 이하를 그 목적으로 하고 있다. 즉, 매달을 때의 반송물이 사람과 부주의하게 방치된 물건등의 장애물과 접촉하기 전에 이를 검지하여 이를 피하는 대책을 저렴하게 강구할 수 있는 천정주행 반송장치의 제공을 목적으로 한다.

도 1은 본 발명의 천정주행 반송장치의 제1 실시형태를 도시한 사시도이고,

도 2는 본 발명의 천정주행 반송장치의 제2 실시형태를 도시한 사시도이고,

도 3은 본 발명의 천정주행 반송장치의 제3 실시형태를 도시한 사시도이고,

도 4는 본 발명의 천정주행 반송장치의 제4 실시형태를 도시한 사시도이고,

도 5는 본 발명의 천정주행 반송장치의 제5 실시형태를 도시한 사시도이고,

도 6은 종래의 천정주행 반송장치를 도시한 사시도이고,

도 7은 종래의 다른 천정주행 반송장치를 도시한 사시도이고,

도 8은 종래의 다른 천정주행 반송장치를 도시한 사시도이고,

도 9는 종래의 다른 천정주행 반송장치를 도시한 사시도이고,

도 10은 종래의 다른 천정주행 반송장치를 도시한 사시도이다.

* 부호의 설명 *

1 : 궤도 3 : 호이스트 부착 대차

7 : 반도체 제조장치(제조장치) 7A : 스토커(제조장치)

8 : 로드포트 20 : 감시범위(광탐사범위)

21 : 장애물

22, 24, 25, 26, 28, 29, 30, 40 : 장애물 검지센서

F : 마루면

본 발명의 천정주행 반송장치는, 상기 과제를 해결하기 위해 이하의 수단을 채용했다.

즉, 청구항 1 기재의 천정주행 반송장치는, 천정에 설치된 궤도와, 이 궤도에 연하여 주행하는 호이스트 부착 대차와를 구비한 천정주행 반송장치에 있어서, 상기 호이스트 부착 대차가 이 대차와 각 제조장치의 로드포트사이의 승강경로를 광탐색하여 장애물의 유무를 검지하는 장애물 검지센서를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.

상기 청구항 1 기재의 천정주행 반송장치에 의하면, 장애물 검지센서에 의해 호이스트 부착 대차 및 로드포트사이에서 장애물의 유무가 감시되어 장애물을 발견한 경우에는 반송물이 이와 간섭하기 전에 반송물의 달아내리는 동작이 정지된다. 이 장애물 검지센서는 제조장치보다도 대수가 적은 호이스트 부착 대차쪽에 설치하는 것으로 그 소요 대수를 적어지게 한다.

청구항 2 기재의 천정주행 반송장치는, 청구항 1 기재의 천정주행 반송장치에 있어서, 상기 광탐색범위가 상기 제조장치의 로드포트 높이에 응하여 가변하는 것을 특징으로 한다.

상기 청구항 2 기재의 천정주행 반송장치에 의하면, 광탐색범위는 각 제조장치마다 각각의 로드포트의 마루면에서의 높이에 응하여 미리 설정되어 있는 것으로 다른 높이의 로드포트를 가지는 제조장치에도 적용할 수 있다.

청구항 3 기재의 천정주행 반송장치는, 청구항 1 또는 2 기재의 천정주행 반송장치에 있어서, 상기 장애물 검지센서가 상기 로드포트 위 또는 평면에서 보아 상기 제조장치의 상기 로드포트측에 인접하는 마루면 위에 설치된 리플렉터 반사판 위의 소정의 검출영역에 빛을 조사함과 함께 이 검출영역에서의 반사광을 수광하는 회귀반사형이고, 게다가, 이 회귀반사형의 장애물 검지센서가 상기 검출영역의 전면(全面)에서 반사광을 수광한 경우에는 상기 호이스트 부착 대차의 캐리어가 이동적재 가능하다고 판단하고, 상기 검출영역의 전면에서 반사광이 얻어지지 않는 경우에는 상기 캐리어의 이동적재는 불가한 것으로 판단하는 제어수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.

상기 청구항 3 기재의 천정주행 반송장치에 의하면, 장애물 검지센서와 제어수단에 의해 호이스트 부착 대차 및 로드포트사이에서 장애물의 유무가 감시되어 장애물을 발견한 경우에는 반송물이 이와 간섭하기 전에 반송물의 달아내리는 동작이 정지된다.

청구항 4 기재의 천정주행 반송장치는 청구항 3 기재의 천정주행 반송장치에 있어서, 상기 회귀반사형의 장애물 검지센서가 상기 호이스트 부착 대차에 복수개 수평방향으로 나란히 배열되어 있는 것을 특징으로 한다.

상기 청구항 4 기재의 천정주행 반송장치에 의하면, 각 회귀반사형의 장애물 검지센서의 감시영역의 합에 의해 호이스트 부착 대차 및 로드포트사이에 광범위한 면형상의 감시범위가 형성된다. 여기에서 장애물의 유무가 감시되어 장애물을 발견한 경우에는 반송물이 이와 간섭하기 전에 반송물의 달아내리는 동작이 정지된다.

도 1을 참조하면서 본 발명의 제1 실시형태에 대하여 이하에 설명한다. 게다가, 종래의 기술에서 설명한 도 6과 같은 구성요소에는 같은 번호를 붙이고 그 설명을 생략한다.

본 발명의 천정주행 반송장치는, 천정에 설치된 궤도(1)와, 이 궤도(1)에 연하여 주행하는 호이스트 부착 대차(3)와를 구비한 천정주행 반송장치에 있어서, 호이스트 부착 대차(3)가 각 반도체 제조장치(7)의 로드포트(8)로의 웨이퍼 캐리어(6)를 매달을 때에, 당 대차(3)와 각 반도체 제조장치(7)의 로드포트(8)사이의 승강경로를 광탐색하고, 장애물(21)의 유무를 검지하는 장애물 검지센서(22)를 구비하고 있는 것이 종래와 특히 다른 것이므로 이 점을 중심으로 설명을 한다.

이 장애물 검지센서(22)는 도시되지 않은 발광부와 수광부가 일체로 된 광학식 거리센서이고, 당해 장애물 검지센서(22)를 중심에 부채꼴 형상의 스캔범위(20a)를 스캔함과 함께 그 스캔범위(20a)를 2매의 서로 평행한 연직방향 가상평면(도시하지 않음)으로 구획절단하도록 하여 감시범위(20)로 하고, 이 감시범위(20)안의 데이터를 메모리에 저장하고, 다른 범위의 데이터는 제거하는 것이다.

이러한 조정에 의해 장애물 검지센서(22)와 로드포트(8)의 사이에 형성되는 대략 5각형상의 광막이 감시범위(20)로써 형성된다. 감시범위(20)를 이러한 형상으로 한 이유와 장애물 검지센서(22)를 측벽(3a)쪽에 설치한 이유는 웨이퍼 캐리어(6)의 이동범위에 장애물(21)이 가장 접근할 우려가 있는 자기앞쪽에 감시범위(20)를 중점적으로 설치하여 덮음으로써 효율좋게 감시를 행하기 위함이다. 또한, 감시범위(20)의 폭 t는 상기 발광부에서 광선의 경로로 결정되는 것이고, 레이저빔을 사용하면 극히 엷게 할 수 있게 된다.

더구나, 감시범위(20)는 반도체 제조장치(7)의 로드포트(8)의 높이에 응하여 가변되고 있다. 즉, 장애물 검지센서(22)가 검지를 행하는 범위인 감시범위(20)의 연직방향 최대길이 Lmax는 장애물 검지센서(22)에서 각 로드포트(8)의 상면까지의 연직방향길이 La에 응하여 각 반도체 제조장치(7)마다 가변되고 있고, 어느 반도체 제조장치(7)에도 대응할 수 있도록 되어 있다.

이상에 설명한 본 실시형태의 천정주행 반송장치에 의한 웨이퍼 캐리어(6)를 매달을 때에는 장애물 검지센서(22)에 의한 감시범위(20) 안에서 장애물(21)의 유무가 비접촉으로 감시되어 장애물(21)을 발견한 경우에는 웨이퍼 캐리어(6)가 이와 간섭하기 전에 웨이퍼 캐리어(6)의 매다는 동작을 정지시킨다. 장애물 검지센서(22)는 반도체 제조장치(7)보다도 대수가 작은 호이스트 부착 대차(3)쪽에 설치하는 것으로 그 소요 대수가 적어지게 된다.

따라서, 본 실시형태의 천정주행 반송장치에 의하면, 반도체 제조장치(7)보다도 훨씬 대수가 적은 호이스트 부착 대차(3)쪽에 장애물 검지센서(22)를 설치하여서 매달을 때에 웨이퍼 캐리어(6)가 사람과 부주의하게 방치된 물건등의 장애물(21)과 접촉하기 전에 이를 검지하여 피하는 대책을 저렴하게 강구할 수 있는 천정주행 반송장치를 제공하는 것이 가능하게 된다.

또한, 장애물 검지센서(22)로써 광학식의 센서를 채용하는 것으로 비접촉으로 장애물(21)의 유무가 확인되므로 장애물(21)을 손상하지 않고 감시를 행할 수 있는 천정주행 반송장치로 하는 것도 가능하게 된다.

또한, 감시범위(20)의 설정에서 당해 감시범위(20)의 연직방향 최대길이 Lmax가 각 반도체 제조장치(7)의 로드포트(8)와 장애물 검지센서(22)의 사이 연직방향길이 La에 합치하도록 미리 설정하여 두므로써 마루면 F에서의 높이 H가 다른 로드포트(8)를 가지는 모든 반도체 제조장치(7)에 적용할 수 있는 천정주행 반송장치로 하는 것도 가능하게 된다.

이어서, 도 2를 참조하면서 제2 실시형태에 대하여 이하에 설명한다. 더욱이, 제1 실시형태에서 설명한 도 1과 같은 구성요소에는 같은 부호를 붙이고 그 설명을 생략한다.

본 실시의 형태에서는 제1 실시형태에서 단일의 장애물 검지센서(22) 대신에 한쌍의 스캔식 장애물 검지센서(24, 25)를 일정간격 W을 두고 측벽(3a)에 설치한 것이다. 이들 장애물 검지센서(24, 25)는 스캐닝 빔과 위치검출소자(PSD)에 의해 그물눈상의 검출에리어를 갖는 장애물 검지용 광전센서이고, 광학적 삼각측 거리검출에 의해 검지를 행하는 것이다.

본 실시의 형태에 있어서도 제1 실시의 형태와 동일한 작용효과를 얻을 수 있다.

이어서, 도 3을 참조하면서 제3 실시형태에 대하여 이하에 설명한다. 더욱이, 제1 실시형태에서 설명한 도 1과 같은 구성요소에는 같은 부호를 붙이고 그 설명을 생략한다.

본 실시의 형태에서는 제1 실시형태에서 스캔식의 장애물 검지센서(22) 대신에 도시하지 않은 광원과 수광소자와 렌즈의 형상에 의해 발광 및 수광범위가 아래쪽으로 향하여 넓게 방사상 외형으로 되도록 감시범위(20)를 형성할 수 있는 장애물 검지센서(26)를 측벽(3a)에 구비한 것이다. 이 장애물 검지센서(26)는 반사광량을 보는 반사형이고, 로드포트(8)의 윗면에서 빛이 반사하여 오작동을 일으키지 않도록 당해 로드포트(8)의 상면에는 무광의 흑색 표면처리(27)가 실시되어 있다.

이어서, 도 4를 참조하면서 제4 실시형태에 대하여 이하에 설명한다. 더욱이, 제1 실시형태에서 설명한 도 1과 같은 구성요소에는 같은 부호를 붙이고 그 설명을 생략한다.

본 실시의 형태에서는 제1 실시형태에서 단일의 스캔식 장애물 검지센서(22) 대신에 3개의 측거(側距)형 장애물 검지센서(28, 29, 30)를 측벽(3a)에 설치한 것이다. 이들 장애물 검지센서(28, 29, 30)는 각각의 감시영역의 합에 의해 감시범위(20)를 형성하도록 되어 있다.

이어서, 도 5를 참조하면서 제5 실시형태에 대하여 이하에 설명한다. 더욱이, 제1 실시형태에서 설명한 도 1과 같은 구성요소에는 같은 부호를 붙이고 그 설명을 생략한다.

본 실시의 형태에서는 제1 실시형태에서 스캔식의 장애물 검지센서(22) 대신에 각 반도체 제조장치(7)의 로드포트(8) 위에 리플렉터 반사판(41)을 설치할 뿐만아니라, 호이스트 부착 대차(3)의 측벽(3a)에 리플렉터 반사판(41) 윗면 소정의 검출영역(42)에 빛을 조사하여 당해 검출영역(42)에서의 반사광을 수광하는 회귀반사형의 장애물 검지센서(40)를 취부한 구성을 채용하고 있다.

게다가, 이 회귀반사형 장애물 검지센서(40)는 도시하지 않은 제어수단에 접속되어 있다. 이 제어수단은 장애물 검지센서(40)가 검출영역(42)의 전면에서 반사광을 수광한 경우에는 출력을 온(0N)으로 하고, 「리플렉터 반사판(41)의 전면에 존재가 확인될 수 있으므로 웨이퍼 캐리어(6)가 이동적재 가능하다」고 판단한다. 역으로, 장애물 검지센서(40)에 있어서 검출영역(42)의 전면에서 반사광이 얻어지지 않는 경우{즉, 장애물 검지센서(40)쪽에서 보아 검출영역(42)의 어느 곳인가 일개소에서도 장애물(21)이 차단되거나, 리플렉터 반사판(41)이 직하에 존재하지 않는 경우}에는 출력을 오프(OFF)로 하고, 웨이퍼 캐리어(6)의 이동적재는 불가하다고 판단한다.

더구나, 이 장애물 검지센서(40)는 반도체 제조장치(7)의 구조에 의해 검출하고 싶은 범위가 협소해져 버리는 경우에는, 이에 구비할 수 있는 검출영역 선택기능을 사용함에 의해 검출영역 폭을 제한시키는 것도 가능하게 되어 있다. 역으로, 대형의 천정주행 반송장치등 검출영역을 넓힐 필요가 있는 경우에는, 장애물 검지센서(40)에 구비할 수 있는 상호 간섭방지기능(투광주파수의 절환기능)을 사용함에 의해 복수의 장애물 검지센서(40)를 사용하여 넓은 검출영역을 커버하는 것도 가능하게 된다.

또한, 본 실시의 형태에서는 리플렉터 반사판(41)을 로드포트(8) 위에 설치하는 구성을 채용하고 있지만, 이 로드포트(8) 위로의 설치가 어려운 경우에는 이 로드포트(8)이 면하고 있는 자기앞쪽의 평면에서 보아 장치(7)에 인접하고 있는 마루면 F 위{도 5에 2점쇄선으로 도시한 설치장소(45)}에 설치하도록 해도 좋다.

더구나, 상기 설명의 제1 내지 제5 실시의 형태에 있어서, 각 장애물 검지센서(22, 24, 25, 26, 28, 29, 30, 40)는 호이스트 부착 대차(3)의 측벽(3a)에 설치한 구성으로 했지만, 이들에 한하지 않고, 웨이퍼 캐리어(6)를 매달을 때 이동범위 또는 당해 이동범위의 근방 어느 곳인가 한쪽 혹은 그 양쪽을 포함하는 감시범위(20) 안에서 장애물(21)을 검지할 수 있으면 좋고, 호이스트 부착 대차(3)의 전후 또는 하단등 기타 위치에 보정하거나 또는 다른 복수개소에 병설하는 구성을 채용해도 좋다.

또한, 상기 설명의 제1 내지 제5 실시의 형태에 나타난 각 장애물 검지센서(22, 24, 25, 26, 28, 29, 30, 40)는 일례이고, 이들에 한하지 않고 기타형태의 광학식 센서를 채용해도 좋다.

또한, 상기 설명한 제4 실시형태에 있어서는, 3개의 측거형 장애물 검지센서(28, 29, 30)를 측벽(3a)에 설치한 구성을 채용했지만, 이 대신에 상기 제5 실시형태에서 설명한 회귀반사형 장애물 검지센서(40)와 동일한 것을 측벽(3a)에 복수개(예컨대, 3개) 설치함과 함께 로드포트(8) 위에 상기 리플렉터 반사판(41)과 동일한 것을 설치하여(도시하지 않음) 이들 장애물 검지센서의 감시영역의 합에 의해 감시범위(20)를 형성하는 구성을 채용해도 좋다. 이 경우에도, 상기 제1 실시의 형태와 동일한 작용효과를 얻을 수 있다. 더욱이, 이 경우의 리플렉터 반사판(41)의 대치로써는 로드포트(8) 위로의 설치가 곤란한 경우에는 이 로드포트(8)가 면하고 있는 자기앞쪽의 평면에서 보아 장치(7)에 인접하고 있는 마루면 F 위에 설치하도록 해도 좋다.

또한, 상기 설명한 제4 실시의 형태에서, 장애물 검지센서(28, 29, 30)의 개수는 3개로 했지만, 이들에 한하지 않고 필요충분한 넓이 또는 크기의 감시범위(20)를 형성할 수 있으면 좋고, 2개 또는 4개 이상으로 해도 좋다.

또한, 상기 설명한 제1 내지 제5 실시형태에서는, 본 발명의 천정주행 반송장치를 반도체 웨이퍼를 처리하여 반도체 디바이스의 제조를 행하는 반도체 제조설비에 설치한 경우를 예로서 설명을 했지만, 이에 한하지 않고 공장에서 공장자동화등 기타 설비에도 적용가능하다.

본 발명의 청구항 1 기재의 천정주행 반송장치에 의하면, 제조장치보다도 훨씬 적은 개수의 호이스트 부착 대차측에 장애물 검지센서를 설치하는 것으로 매달을 때의 반송물이 사람과 부주의하게 방치된 물건등의 장애물과 접촉하기 전에 이를 검지하여 피하는 대책을 저렴하게 강구할 수 있는 천정주행 반송장치를 제공할 수 있게 된다.

또한, 본 발명의 청구항 2 기재의 천정주행 반송장치에 의하면, 감시범위의 설정에서 광탐색범위를 각 제조장치마다 각각의 로드포트 높이에 응하여 미리 설정해두어서 다른 높이의 로드포트를 가지는 모든 제조장치에 적용할 수 있는 천정주행 반송장치로 하는 것도 가능하게 된다.

또한, 본 발명의 청구항 3 및 4 기재의 천정주행 반송장치에 의하면, 상기 청구항 1과 같은 효과를 얻는 것이 가능하게 된다.

Claims

천정에 설치된 궤도와, 이 궤도에 연하여 주행하는 호이스트부착 대차와를 구비한 천정주행 반송장치에 있어서,

상기 호이스트 부착 대차는 이 대차와 각 제조장치의 로드포트사이의 승강경로를 광탐색하여 장애물의 유무를 검지하는 장애물 검지센서를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 천정주행 반송장치.
제 1항에 있어서,

상기 광탐색범위는 상기 제조장치의 로드포트 높이에 응하여 가변하는 것을 특징으로 하는 천정주행 반송장치.
제 1항 또는 제 2항에 있어서,

상기 장애물 검지센서는 상기 로드포트 위 또는 평면에서 보아 상기 제조장치의 상기 로드포트측에 인접하는 마루면 위에 설치된 리플렉터 반사판 위의 소정의 검출영역에 빛을 조사함과 함께 이 검출영역에서의 반사광을 수광하는 회귀반사형이고,

게다가, 이 회귀반사형의 장애물 검지센서가 상기 검출영역의 전면에서 반사광을 수광한 경우에는 상기 호이스트 부착 대차의 캐리어가 이동적재 가능하다고 판단하고, 상기 검출영역의 전면에서 반사광이 얻어지지 않는 경우에는 상기 캐리어의 이동적재는 불가한 것으로 판단하는 제어수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 천정주행 반송장치.
제 3항에 있어서,

상기 회귀반사형의 장애물 검지센서는 상기 호이스트 부착 대차에 복수개 수평방향으로 나란히 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 천정주행 반송장치.