JPS63266615A - 薄膜磁気ヘツド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、薄膜磁気ヘッドに係り、特に高密度記録再生
に適した薄膜コイル及び磁気コアを有する薄膜磁気ヘッ
ドに関する。

〔従来の技術〕

磁気記録の高密度化に伴い、センダスト、アモルファス
、パーマロイなどの高ｉ３ｍ率・高飽和磁束密度金属磁
性ｍｓをコア材料とする薄膜磁気ヘッドが開発されてい
る。この種の磁気ヘッドにおいては、狭トラツク幅の精
度向上や、安定したヘッド特性を得る為、そのコアや巻
線コイル（以下コイルと記す）の形成に薄膜形成技術、
フォトリソグラフ技術を用いたパターニング技術が導入
されている。

従来の薄膜磁気ヘッドは、特開昭５５−８４０１９号公
報に記載のように、磁気ギャップ以外の磁気コアの接合
部は１ケ所であり、コイルは１つのらせん形コイルから
成っている（以下、このようなコイルをシングル巻コイ
ルと記す）。

これに対し、特開昭６０−１６４９１３号公報に記載の
薄膜磁気ヘッドは、接合部が２ケ所となっているが、コ
イルはシングル巻コイルである。

コイルをバランス巻きにした薄膜磁気ヘッドに関して、
特開昭６０−８３２０７号公報に記載されたものは、コ
イルをコアの上下に順次交互に形成したジグザグ巻コイ
ルである。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記従来技術においては、コイルがシングル巻きである
ため、外来電波により誘導電流が生じ、妨害信号が発生
したり、外周になる程、１ターン当りの長さが長くなり
、コイル全体の導体抵抗が増加し、インピーダンスノイ
ズが増加するという問題がある。

また、コイルをコアの上下にジグザグ巻きにした例では
、コイルの接合部が、コイル１ターンにつき２ケ所必要
となるため、全体としてコイルの導体抵抗が大となる。

また製造時の信顛性も低下する。

本発明は、導体抵抗の小さいバランス巻き構造の薄膜コ
イルを持つ、ＶＴＲ等の高密度記録に最適な薄膜磁気ヘ
ッドを提供することを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的は、磁気ギャップ以外の接合部が複数個となる
様に磁気コアを分割形成し、このうち２つのコア接合部
をほぼ中心として薄膜コイルを展開することによりバラ
ンス巻きを可能とし、かつ、コア接合部近傍のコイル接
続部を磁気ギャップを中心軸としてコア接合部の内方で
ない位置で、また、コア接合部、コイル接続部の形状を
、はぼ半円形状、又は、はぼ直角２等辺三角形、又はそ
れらの組合せとし、おのおのの直径又は長辺を合わせ、
かつその直径、又は長辺が磁気ギャップ位置に対して、
おおむね垂直に向く様に配置することによりｌターン当
りの平均コイル長を短くし、低抵抗化することによって
達成される。

〔作用〕

磁気ギャップ以外の接合部を、それが複数個となる様に
磁気コアを分割形成し、このうち、２つの接合部をほぼ
中心にして薄膜コイルを展開することにより、バランス
巻きが可能となる。これによって、外来電波妨害による
電磁誘導雑音が減少される。加えて、コア接合部近傍の
コイル接続部を、磁気ギャップを通る綿を中心軸として
コア接合部の内方でない位置に、また、コア接合部、コ
イル接続部の形状を、はぼ半円形、又はほぼ直角２等辺
三角形、又はそれらの組合せとし、おのおのの直径及び
長辺を合わせ、かつその直径又は長辺が磁気ギャップに
対して、おおむね垂直に向く様に配置することにより、
１ターン当りの平均コイル長を短くし、導体抵抗を小さ
くすることでインピーダンスノイズの低減をはかる。

これを、図面を用いて説明する。

第５図はコア接合部とコイル接続部の形状説明図であっ
て、（ａｌは従来のほぼ長方形のもの、中）。

（Ｃ）は本発明によるほぼ半円のもの、はぼ直角２等辺
三角形のものである。

さて、コイル導体抵抗は Ｒ−ρム Ｓｃ ρ：比延抗値　Ω・口 １ｃ　：コイル長 Ｓｃ　：コイル断面積 の関係となるため、同じ材料で導体抵抗を下げる為には
、Ｓｃを増加させるか、ｌｃを短くすることになる。

ＳｃＯ値は現在のヘッドプロセスでは数μｍの厚さでプ
ロセス的に限界に近（なっている、が、ｌｃはコア接合
部とコイル接続部の形状変更により両者に必要な面積を
占有しても尚、その外周長を短（できる。

第６図は第５図（ａ）、　（ｂ）、　（Ｃ１の場合につ
いて、コア接合部及びコイル接続部の面積を一定にして
、その両者の外周長の比較を示す説明図であって、半円
と半円の組合せ（（ｂ）の場合）が最も短く、ついで（
Ｃ）であり、従来の外周長（（ａ）の場合）に比べ、（
ｂ）、　（Ｃ）では約１割短くなる。このため、コイル
全体として１ターン当りのコイル長も約１割減らすこと
ができる。

次に、この形状のコア接合部とコイル接続部の配置につ
いて説明する。

第７図はコイル接続部の位置の説明図であって、２ａ、
２ｂはフロントコア、３はギャップ、２ａ−１，２ａ−
２はコア接合部である。同図に示す様に、コイル接続部
が磁気ギャップ３を通る線を中心軸としてコア接合部２
ａ−１，２ａ−２の内方でない位置（図では理解を容易
にするためにハツチングを施した）の領域にあるのが良
い、ハツチング外の場所にコイル接続部がある場合には
コイルスペースをとる為に必然的に磁気ギャップを含む
コア接続部間距離を広げることになりヘッド効率を落と
す。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面を用いて説明する。

第１図は本発明による薄膜磁気ヘッドの一実施例を示す
部分平面図であって、１は非磁性基板、２ａは第１フロ
ント磁気コア、２ｂは第２フロント磁気コア、３は磁気
ギャップ、４はコイル、４ａはポンディングパッド、５
はリア磁気コア、６は保護膜である。

第２図は本発明の主要部分である下層コイルの平面図で
あって、２ａ−１，２ｂ−１はフロント磁気コア２ａ、
２ｂとリア磁気コア５の接合部である。コイル４は、２
つのらせん形コイルを、磁気コア２ａ、２ｂ、５の中に
磁束が同一方向に励磁するように、４−１．４−２の接
続部により直列に接続した形で配置されている。

ここで、磁気コアの接合部２ａ−１，２ｂ−１及びコイ
ルの接続部４−１．４−２は、共に、はぼ、直角２等辺
三角形の形であり、互いの長辺を合わせた状態で、その
長辺が磁気ギャップ３に対して、おおむね垂直に向くよ
うに配置されている。

上記実施例において、コイルの巻数は、各々５タ一ン２
層の計２０ターンとした。

次に、上記のように構成した薄膜磁気ヘッドの製造方法
を説明する。

第３図は本発明による薄膜磁気ヘッドの製造工程図であ
って、第１図、第２図と同一符号は同一部分に対応する
。同図において、まず、非磁性基板ｌ上に磁性膜２をス
パッタ装置により膜厚２０μｍに形成しくａ）、第１フ
ロント磁気コア２ａとなる片側を残し、他をイオンミリ
ング法により除去する（ｂ）。次に、非磁性材３゛を０
．３μｍの厚さに蒸着またはスパッタにより形成し、磁
気ギャップ３を形成し、さらに第２フロント磁気コア２
ｂとなる磁性膜２°をスパッタ形成する（Ｃ）。二重に
被着した部分をラッピングにより除去して平坦化した後
、イオンミリング法にてフロントコアをパターニングし
て、フロントコア２ａ、２ｂを形成する（ｄ）。続いて
絶縁層７を２μｍの厚さに蒸着またはスパッタ等により
形成した後、導体層を蒸着またはスパッタ等により形成
し、下層コイル４゛のパターニングを行ない（ｅ）、再
び絶縁層（図示せず）を２μｍ形成した後、コイル接続
部４−１．４−２にスルーホールを設け、導体層を蒸着
またはスパッタ等により形成し、上層コイル４のパター
ニングを行なう（ｆ）。さらに絶縁層（図示せず）を蒸
着またはスパッタ等により、２μｍの厚さに形成、平坦
化した後、フロント磁気コア２ａ、２ｂとリア磁気コア
５との接合部２ａ−１，２ｂ−１にスルーホールを設は
磁性膜をマスクスパッタ等により、リア磁気コア５を形
成する（ｇ）。最後に、ポンディングパッドに被着した
絶縁層等を除去し、フロント磁気コア２ａ、２ｂ上に保
護膜６（第１図）を形成し、チップカット、円筒研削を
行ない、薄膜磁気ヘッドが完成する。

尚、上記説明では、コイル構造の理解を容易にする為、
コイルを２層８ターン構造で示したが、第１図に示した
２層２０ターン構造による発明者の試作では、コイル膜
厚４μｍ（材料Ｃｕ）において、約５Ωの導体抵抗値と
なり、従来のバルク張り合わせ手巻きコイルヘッドのコ
イル導体抵抗値の約２倍におさえられた。またバランス
巻きによる外来電波特に中波妨害の抑圧は、従来の手巻
きバランス巻きと同等のレベルが得られた。

また、上記の製造工程では、フロント磁気コア。

コイル、リア磁気コアの順でヘッドを形成したが、これ
に替えてリア磁気コア、コイル、フロント磁気コアの順
に形成しても同等の効果が得られることは明らかである
。

又、コイルを３層以上の多層としても同様の効果が得ら
れることは明らかである。

又、これまでの説明では、コイルが多層の場合であった
が、単層の場合には、次のように第２図で示したコイル
を形成することによりバランス巻きとなる。

第４図は本発明による薄膜磁気ヘッドの他の実施例を示
す上面図であって、８は引き出しパターン、第１図、第
２図と同一符号は同一部分に対応する。同図において、
コイル接続部４−１．４−２より引き出しパターン８を
形成する。これにより所望の性能を得ることができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、導体抵抗の小さ
い薄膜コイルのバランス巻きを行なうことができるため
、外来電波妨害に強く、インピーダンスノイズの低い優
れた性能の薄膜磁気ヘッドを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による薄膜磁気ヘッドの一実施例の部分
平面図、第２図は第１図における下層コイルの平面図、
第３図は本発明の薄膜磁気ヘッドの製造方法を説明する
工程図、第４図は本発明による薄膜磁気ヘッドの他の実
施例の上面図、第５図はコア接合部とコイル接続部の形
状説明図、第６図は外周長の比較説明図、第７図はコイ
ル接続部の位置の説明図である。 １−・−−−一非磁性基板、２　ａ　−１、２ｂ　−１
・−−−−−−−コア接合部、４−１．４−２．−・−
コイル接続部、３−・・−磁気ギャップ。 第３図 Ｃσ）　　　　　　　　　　　　　　（θ１（ｄ） 第４図 第５図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、基板上に磁性薄膜を順次形成してなる磁気コアをも
   ち、磁気ギャップ以外の磁気コアの接合部を複数個有す
   る薄膜磁気ヘッドにおいて、前記磁気ギャップから見て
   、磁気的にほぼ対称な位置にある２個の接合部をほぼ中
   心として金属薄膜からなるらせん形コイルを設け、該ら
   せん形コイルは電磁気的に見て、磁束を前記磁気コア内
   に同一方向に励磁するよう、磁気コア接合部近傍で直列
   に接続、配置されて成ることを特徴とする薄膜磁気ヘッ
   ド。 ２、特許請求の範囲第１項記載の薄膜磁気ヘッドにおい
   て、前記らせん形コイルの接続部を、前記磁気ギャップ
   を通る線を中心軸としてコア接合部の内方でない位置に
   配置したことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。