JPS63265626A - 透明ガスバリア性包装用積層フィルム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、透明ガスバリア性積層フィルムに関する。更
に詳しくは、透明性を有し、かつ、水蒸気や酸素等の気
体の透過率が極めて小さい、透明ガスバリア性プラスチ
ックフィルムに関する。

［従来の技術］ 従来、透明ガスバリアフィルムとしては、ポリエステル
やポリプロピレンのようなプラスチックフィルムの表面
に、塩化ビニリデンやエチレン−ビニルアルコール共重
合体などのガスバリア性の優れた樹脂をコーティングあ
るいはラミネートしたもの（特開昭５５−５９９６１　
）や、酸化珪素を蒸着したちのく特公昭５３−１２９５
３　＞が知られており、更に、必要に応じてヒートシー
ル可能な樹脂層を積層したものが知られている。

［発明が解決しようとする問題点］ しかし、かかる従来の透明ガスバリアフィルムには、次
のような問題点があった。

ガスバリア性の樹脂を積層したものについては、■　透
明性は優れているものの、水蒸気、酸素等のガスバリア
性が十分でない。

■　特に、高温では水蒸気、酸素などのガスバリア性が
著しく低下する。このため、レトルト用途などには、使
用できない。

酸化珪素を蒸着したものについては、 ■　水蒸気、酸素等のガスバリア性が優れたものを得よ
うとすると、透明性が低下する。

■　蒸着膜厚が薄いと、ガスバリア性が発現しない。ガ
スバリア性が優れたものを得ようとして、酸化珪素を厚
く蒸着すると、可とう性がなくなり、亀裂や剥離が生ず
る。

■　蒸着層にキズやピンホールがあると、極端にガスバ
リア性が低下する。特に、蒸着層が薄い場合は、摩擦や
折曲げにより容易にキズやピンホールが発生し、ガスバ
リア性が低下する。

本発明者らは、透明で可とう性があり、かつ、ガスバリ
ア性と耐摩耗性に優れ、高温でも特性の低下しないフィ
ルムについて鋭意検討した結果、本発明に到達した。

［問題点を解決するための手段］ 即ち、本発明は、プラスチックフィルムから成る基体の
少なくとも片面に、Ｉｎ、３ｎ、　Ｚｎ。

ｚｒおよびＴｉから成る群から選ばれた少なくとも一種
の金属の金属酸化物層がスパッタリングにより形成され
た透明ガスバリア性フィルムを、２枚以上接着剤を介し
て積層してなることを特徴とする透明ガスバリア性積層
フィルムを提供する。

以下、本発明の詳細について図面を用いて説明する。

第１図は、本発明の透明ガスバリア性積層フィルムの一
例を示す概略断面図である。

第１図において、１はプラスチックフィルムから成る基
体、２はスパッタリングにより形成された金属酸化物層
、３は接着剤層、４はスパッタリングにより形成された
金属酸化物層、５はプラスチックフィルムから成る基体
であり、これらは図示のごとく順次積層されている。

第２図は、本発明の透明ガスバリア性積層フィルムの他
の例を示す概略断面図で、これは第１図に示した透明ガ
スバリア性積層フィルムの基体５の片面にヒートシニル
可能な熱可塑性接着層６を設けたものである。

本発明でいう透明ガスバリア性フィルムとは、プラスチ
ックフィルムから成る基体の少なくとも片面に、Ｉｎ、
Ｓｎ、Ｚｎ、ＺｒおよびＴｉから成る群から選ばれた少
なくとも一種の金属の金属酸化物層がスパッタリングに
より形成されたものをいう。

本発明でいう透明ガスバリア性積層フィルムとは、前記
の透明ガスバリア性フィルムが２枚以上接着積層されて
なるものをいう。

本発明でいうプラスチックフィルムからなる基体とは、
次の代表的有機重合体を溶融または、溶解押出しし、必
要に応じて長手方向および／または幅方向に延伸したも
のである。代表的有機重合体としては、ポリエチレン、
ポリプロピレンなどのポリオレフィン、ポリエチレンテ
レフタレート、ポリエチレン−２，６−ナフタレートな
どのポリエステル、ナイロン６、ナイロン１２などのポ
リアミド、塩化ビニル、塩化ビニリデン、ポリビニルア
ルコール、芳香族ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリ
イミド、ポリエーテルイミド、ポリサルフオン、ポリエ
ーテルサルフオン、ポリエーテルエーテルケトン、ボリ
アリレート、ポリフェニレンサルファイド、ポリフェニ
レンオキサイド、テトラフルオロエチレン、１塩化３弗
化エチレン、弗素化エチレンプロピレン共重合体などが
あげられる。

また、これらの共重合体や、他の有機重合体との共重合
体であっても良く、他の有機重合体を含有するものであ
っても良い。これらの有機重合体に公知の添加剤、例え
ば、帯電防止剤、紫外線吸収剤、可塑剤、滑剤、着色剤
などが添加されていても良い。

本発明のプラスチックフィルムの光線透過率は、包装内
容物のｐＡ認性と美観のため重要であり、白色光線での
全光線透過率が少なくとも４０％以上、好ましくは、６
０％以上、最も好ましくは、８０％以上であることが望
ましい。着色剤など公知の添加剤は、この範囲内で添加
されるのが良い。本発明のプラスチックフィルムは、金
属酸化物層のスパッタリングに先立ち、コロナ放電処理
、プラズマ処理、グロー放電処理、逆スパツタ処理、粗
面化処理などの表面処理や、公知のアンカーコート処理
が施されても良く、また、印刷が施されていても良い。

本発明のプラスチックフィルムの厚さは、特に制限を受
けないが、包装材料としての適性から３〜４００μｍの
範囲が望ましい。機械的特性や可どう性の点では、更に
好ましくは、５〜２００μｍの範囲であることが望まし
い。

かかるプラスチックフィルムから成る基体の少なくとも
片面に、Ｉｎ、Ｓｎ、Ｚｎ、ＺｒおよびＴｉから成る群
から選ばれた少なくとも一種の金属の金属酸化物がスパ
ッタリングにより形成され、透明ガスバリア性フィルム
が得られる。

本発明でいうスパッタリングとは、直流２極スパツタ、
高周波２極スパツタ、直流マグネトロンスパッタ、高周
波マグネトロンスパッタなどの、公知のスパッタリング
法が、全て含まれる。また、スパッタリングの際、酸素
などの反応性ガスを導入する、いわゆる反応性スパッタ
リングも含まれる。

なかでも、プラスチックフィルムを基体として用いた本
発明の場合には、ターゲツト材として、金属板を使用し
、酸素を含んだ反応性ガスを導入した、いわゆる、反応
性スパッタリングが望ましく、更に、反応性直流マグネ
トロンスパッタ、反応性高周波マグネトロンスパッタが
、金属酸化物層の均一性、生産性の点で最も好ましい。

反応性スパッタリングの際の真空装置内の圧力は、金属
酸化物層の透明性やガスバリア性に大きく影響すること
が、本発明により明らかとなっており、好ましくは、８
Ｘ１０”〜８Ｘ１０−３トール、更に好ましくは、２Ｘ
１０″４〜５Ｘ１０−３トール、最も好ましくは、５Ｘ
１０″〜３Ｘ１０−３トールの範囲が望ましい。

反応性スパッタリングの際のガス組成は、使用するター
ゲット材料や投入電力に応じて、適宜、選択される。最
も好ましいガスは、酸素とアルゴンの混合ガスである。

スパッタにより形成される金属酸化物層としては、Ｉｎ
、３ｎ、７−ｎ、　ＺｒおよびＴｉから成る群から選ば
れた少なくとも一種の金属の金属酸化物であり、二種以
上の金属酸化物の混合体あるいは、複合酸化物で必って
も良い。

中でも、ｉｎ、３ｎ、Ｚｎの酸化物およびＩｎ−３ｎの
複合酸化物が好ましく、最も好ましくは、Ｉｎ、３ｎの
酸化物および１ｎ−３ｎの複合酸化物が望ましい。

これらの金属酸化物層は、ＩｎｚＯ３，ｓｎｏ。

ＳｎＯ２，ＺｎＯ，ＺｒＯ２，ＴｉＯ２などの化学母論
的な酸化物であることが好ましいが、金属原子に対して
酸素原子が少なかったり、過剰であったりする、非化学
量論的な酸化物や、未酸化の金属原子が少量含まれてい
ても良い。

金属酸化物層中には、上記の金属原子以外の元素、例え
ば、Ｆｅ、Ｓｂ、Ｃ，Ｍｏ、Ｗ、Ｃｕ。

ＡＩ、Ｓｉ、Ｎｉなどが、微量含まれていても良い。

金属酸化物層の厚さとしては、ガスバリア性および可と
う性などの点で、３０〜２０００人の範囲が好ましい。

厚さが薄いと、ガスバリア性が悪くなり、３０人未満で
は、ガスバリア性、特に、水蒸気バリア性が十分でなく
、厚さが厚いと、可どう性が悪くなり、特に、２０００
人を越えると折曲げなどにより、割れや、剥離が生じや
すくなる。更に好ましくは、５０〜１０００人であり、
特に好ましくは、７０Å以上３００人未満であり、最も
好ましくは、８０Å以上２００Å以下であることが望ま
しい。

このように、３００人未満という極めて薄い膜厚で優れ
たガスバリア性が１ｑられることは、従来の酸化珪素な
どの蒸着ではまったく予想されなかったことであり、本
発明者らによって初めて見出だされたものである。

このようにして金属酸化物層をスパッタした透明ガスバ
リア性フィルムは、透明性やガスバリア性は優れている
が、金属酸化物層が極めて薄いこともあって、摩擦、摩
耗や折曲げによってキズやピンホールが発生すると、著
しくガスバリア性が低下する。この問題を解決するため
、本発明では、次いで、金属酸化物層をスパッタした透
明ガスバリア性フィルムどうしが２枚以上接着剤を介し
て積層された透明ガスバリア性積層フィルムとする。

透明ガスバリア性フィルムが、２枚以上接着積層される
ことにより、キズやピンホールの発生を著しく低減でき
るばかりでなく、キズやピンホールがあり、ガスバリア
性が低いフィルムどうしであっても、２枚以上接着積層
されることにより、著しくガスバリア性が優れたものを
得ることができる。

接着積層されるそれぞれの透明ガスバリア性フィルムの
金属酸化物層の厚さは、それぞれの厚さが、好ましくは
３０〜２０００人の範囲であって、同程度の厚さである
ことが好ましいが、厚さが異なったものどうしが接着積
層されていてもよい。

また、接着積層される透明ガスバリア性フィルムの金属
酸化物層の各々の厚さの和が、１００人〜１０００人の
範囲であることが、可とう性や透明性の点で更に好まし
く、１５０人〜５００人の範囲であることが最も好まし
い。

接着に際しては、金属酸化物層をスパッタした面どうし
が、互いに向き合うように接着積層されることが、優れ
たガスバリア性を高温域でも維持するために有効であり
、望ましい。また、接着積層される透明ガスバリア性フ
ィルムは、少なくとも２枚は必要であるが、３枚以上の
透明ガスバリア性フィルムが接着積層されても良い。

接着の方法としては、接着剤を一方の透明ガスバリア性
フィルムに塗布したのち、もう一方の透明ガスバリア性
フィルムと重ね合せ、加圧あるいは、加熱下で接着する
方法などを用いることができる。

接着に用いられる接着剤として代表的なものは、アクリ
ル樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、ポリエステル樹
脂、ポリアミド、フェノール、ポリオレフィン、アイオ
ノマー、エチレン酢ビ共重合体、ポリビニルアセタール
、などおよび、これらの共重合体や、混合物などがあげ
られるが、必ずしもこれらには限定されない。

中でも、ウレタン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリオレフ
ィン、アイオノマーが接着力および、ガスバリア性の点
で好ましく、最も好ましくは、ウレタン樹脂であること
が望ましい。

接着剤の厚みとしては、０．１〜１０μｍの範囲である
ことが、接着力および、ガスバリア性の点で好ましく、
更に好ましくは、０．３〜８μｍの範囲であり、最も好
ましくは、０．５〜５μｍの範囲であることが望ましい
。

接着剤の厚みが、０．５〜５μｍの範囲にある場合は、
金属酸化物層にピンホールや微細な亀裂がある場合にも
優れたガスバリア性と強固な接着性を発揮できる。また
、接着剤に、ウレタン樹脂を用いた場合にはこの効果が
特に大きく有効である。

こうして得られた透明ガスバリア性積層フィルムは、次
いで、必要に応じて、表面に印刷や易接着層などのコー
ティング層を設けた後、必要に応じて、ヒートシール可
能な熱可塑性接着層と積層される。

本発明でいうヒートシール可能な熱可塑性接着層とは、
加熱および加圧により接着が可能なプラスチック層を表
し、その代表的な例としては、次のようなものがある。

ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレンプロピレン共
重合体などのポリオレフィン、ポリエステル、ポリアミ
ド、アイオノマー、エチレン酢ビ共重合体、アクリル酸
エステル、メタアクリル酸エステルなどのアクリル樹脂
、ポリごニルアセタール樹脂、フェノール樹脂、変成エ
ポキシ樹脂などおよび、これらの共重合体や、混合物な
どがあげられるが、必ずしもこれらには限定されない。

このうち、ポリオレフィン、ポリエステル、ポリアミド
、アイオノマー、エチレン酢ビ共重合体が望ましい。

ヒートシール可能な熱可塑性接着層の厚さは、用途に応
じて選択されるが、接着力やガスバリア性の点で、１〜
２００μｍの範囲が好ましく、さらに好ましくは１０〜
１５０μｍ、最も好ましくは、２０〜１００μｍが望ま
しい。

スパッタにより形成される金属酸化物層の上に熱可塑性
接着層を積層する方法としては、熱可塑性接着層の成分
を有機溶剤に溶解してコーティングする方法や、熱可塑
性接着層の成分を溶融し、押出しラミネートする方法、
あるいは、あらかじめ熱可塑性接着層のシートを作製し
、これをドライラミネートなどにより接着積層する方法
などの公知の方法が採用できる。

熱可塑性接着層のヒートシール温度は、使用する熱可塑
性接着層の特性に合せて適宜、選択することができるが
、８０℃〜１８０℃の温度でヒートシールできるもので
あることが望ましい。

［用途］ 本発明で得られる透明ガスバリア性積層フィルムは、そ
の優れた透明性とガスバリア性を利用して、食品、医薬
品、電子部品、機械部品などの包装材料として広く用い
ることができる。

特に、耐摩耗性や、高温でもガスバリア性が優れている
ことから、重量の大きい物体の包装や、包装侵、高温で
の殺菌処理を行うレトルト包装に適している。

［作用］ 本発明の透明ガスバリア性積層フィルムは、可どう性や
透明性に優れたプラスチックフィルム上に、透明性や高
温でのガスバリア性に優れた金属酸化物薄層が、スパッ
タリングにより形成された透明ガスバリア性フィルムが
、２枚以上接着積層されているため、耐摩耗性にも優れ
、ガスバリア性が長期にわたって維持される。

以下、実施例について説明する。

本発明における特性の測定には、次の方法を用いた。

（イ）光線透過率 分光光度計（日立製作所■、自記分光光度計３２３型）
にて、分光光線透過率を測定し、波長５５０ｎｍでの透
過率を光線透過率とした。

（ロ）酸素透過率 ＡＳＴＭ　　Ｄ−３９８５に準じて、Ｍ素透過率測定装
置（モダンコントロールズ社製、０Ｘ−ＴＲＡＮｌｏｏ
＞を用いて、２０℃、Ｏ％ＲＨの条件にて測定した。

（ハ）水蒸気透過率 水蒸気透過率測定装置（ハネウェル■製　Ｗ８２５型）
を用いて４０℃、１００％ＲＨの条件にて測定した。

（ニ）６０’Ｃでの水蒸気透過率 ＪＩＳ　　Ｚ　　０２０８に準じて、開口部３０ｃｔｉ
の透湿カップを使用し、内部に塩化カルシウムの吸湿剤
を入れ、開口部に、エポキシ系接着剤を用いて本発明の
透明ガスバリア性フィルムを接着した。この透湿カップ
を、６０℃、９５％　Ｒ１−１の恒温恒湿槽に入れ、２
４時間後の透湿カップ全体のｉｉｗｏ　［ｇ］　と９６
時間後（ＤｍｍＷｌ［ｇ］を測定し、次の式から６０℃
での水蒸気透過率を計算した。

（Ｗｌ−Ｗｏ＞／　（３ｘ０．００３Ｘ０．９５）単位
　　：　　［ＣＪ／ｒｄ　−２４ｈｒコ（ホ）耐レトル
ト性 めっ菌装置を用いて、１２０℃の水蒸気中で、３０分間
、フィルムを熱処理した後、（ロ）。

（ハ）と同様にして酸素透過率、水蒸気透過率を測定し
た。

（へ）耐摩耗性 透明ガスバリア性積層フィルムの表面を、学娠型摩耗試
験機（大栄科学精＠（１１製）を用いて、２００　ｇ／
　ｃｒＡの荷重で２００回摩耗した後、（ロ）、（ハ）
と同様にして酸素透過率、水蒸気透過率を測定した。

実施例１〜５．比較例に 軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム（厚さ１２
μｍ）を基体として、この上に反応性直流マグネトロン
スパッタ法により、酸化インジウムの膜を形成した。

スパッタリングは、インジウム金属板（Ｉ！度９９．９
％、サイズ５インチＸ１２インチ）をターゲットとして
、５Ｘ１０−５トールに真空排気した後、アルゴン・酸
素混合ガス（混合比　７０：３０体積％）を導入し、圧
力を１×１０−３トールにした後、直流電圧を印加して
行った。、１化インジウ、ム膜の厚さは、スパッタリン
グ時間を調整し、５０人、１００人、２００人、５００
人、１０００大のものを、作製した。

次いで、これらのスパッタフィルムの金ＷＩＪＩ＜化物
が形成された側に、ウレタン系接着剤（成田薬品；タケ
ラック３８５およびタケネートＡ−５０）を乾燥後の厚
みが約２μｍとなるよう塗布して、ドライラミネート法
により、金属酸化物層の厚さが同一のもう一枚のスパッ
タフィルムの金属酸化物層が形成された面と接着して、
透明ガスバリア性積層フィルムを作製した。

酸化インジウムの厚さが、５０人、１００大。

２００人、５００人、１０００人のものをそれぞれ、実
施例１．２．３．４および５とする。

酸化インジウムを形成していない基体フィルムを比較例
１とする。

それぞれのフィルムの光線透過率、水蒸気透過率、酸素
透過率、６０℃での水蒸気透過率、耐レトルト性および
耐摩耗性を表１に示す。

比較例２〜６ 実施例１〜５において、酸化インジウムを５０大、１０
０人、２００人、５００人、１０００人の厚さだけスパ
ッタしただけのフィルムをそれぞれ、比較例２．３．４
．５および６とする。それぞれのフィルムの光線透過率
、水蒸気透過率、酸素透過率、６０℃での水蒸気透過率
、耐レトルト性および耐摩耗性を表１に示す。

実施例６〜１０ 二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム（厚さ１
２μｍ）を基体として、この上に反応性直流マグネトロ
ンスパッタ法により、酸化錫の膜を形成した。

スパッタリングは、錫の金属板（純度；９９゜９％、サ
イズ５ゴンチ×１２インチ）をターゲットとして、５Ｘ
１０−５トールに真空排気した後、アルゴン・酸素混合
ガス（混合比　６０：４０体積％）を導入し、圧力を１
．８Ｘ１０−３トールにした侵、直流電圧を印加して行
った。酸化錫膜の厚さは、スパッタリング時間を調整し
、３５人。

５０人、１００人、２００人、５００人のものを、作製
した。

次いで、これらのスパッタフィルムの金属酸化物が形成
された側に、ウレタン系接着剤（式日薬品：タケラツク
３１５およびタケネートＡ−１０）を乾燥後の厚みが約
２μｍとなるよう塗布して、ドライラミネート法により
、もう一枚のスパッタフィルムの金属酸化物層が形成さ
れた面と接着して、透明ガスバリア性積層フィルムを作
製した。

続いて、この透明ガスバリア性積層フィルムの片面に、
ウレタン系接着剤（成田薬品；タケラック３１５および
タケネートＡ−１０＞を乾燥後の厚みが約２μｍとなる
よう塗布して、ドライラミネート法により未延伸エチレ
ンプロピレン共重合体フィルム（厚さ５０μｍ）を接着
した。。

酸化錫膜の厚さが、３５人のものと５０人のものを接着
したものを実施例６．５０人と１００人のものを接着し
たものを実施例７．１００大と１００人のものを接着し
たものを実施例８．１００人と２００人のものを接着し
たものを実施例９．２００人と５００人のものを接着し
たものを実施例１０とする。

それぞれのフィルムの光線透過率、水蒸気透過率、酸素
透過率、６０’Ｃでの水蒸気透過率、、耐レトルト性お
よび耐摩耗性を表１に示す。

実施例１１〜１４．比較例７ 基体フィルムとして二軸延伸ポリプロピレンフィルム（
厚さ２０μｍ）を用いた以外は、実施例６と同様にして
、反応性直流マグネトロンスパッタ法により、酸化錫の
膜を形成し、次いで、これらのスパッタフィルムの金属
酸化物が形成された側に、ウレタン系接着剤（成田薬品
；タケラック３１５およびタケネートＡ−１０＞を乾燥
後の厚みが約１μｍとなるよう塗布して、ドライラミネ
ート法により、金属酸化物層の厚さが同一のもう一枚の
スパッタフィルムの金属酸化物層が形成された面と接着
して、透明ガスバリア性積層フィルムを作製した。

続いて、この透明ガスバリア性積層フィルムの片面に、
低密度ポリエチレン（密度、０．９２０＞を厚さが４０
μｍとなるよう押出しラミネート法により積層した。酸
化錫膜の厚さが、５０大、１００人、２００人、５００
人のものを、それぞれ実施例１１．１２．１３および１
４とする。基体として用いた二軸延伸ポリプロピレンフ
ィルム（厚ざ２０μｍ）を比較例７とする。

それぞれのフィルムの光線透過率、水蒸気透過率、酸素
透過率、６０’Ｃでの水蒸気透過率、耐摩耗性を表１に
示す。

比較例８ 実施例１で用いた二軸延伸ポリエチレンテレフタレート
フィルム（厚さ１２μｍ）に塩化ビニリデンを、乾燥後
の、厚みが３μｍとなるように塗１５シた後、実施例６
と同様に、ウレタン系接着剤（底円薬品：タケラック３
１５およびタケネートＡ−１０＞を乾燥後の厚みが約２
μｍとなるよう塗布して、ドライラミネート法により未
延伸エチレンプロピレン共重合体フィルム（厚さ５０μ
ｍ）を接着した。

このフィルムの光線透過率、水蒸気透過率、酸素透過率
、６０℃での水蒸気透過率、耐レトルト性および耐摩耗
性を表１に示す。

比較例９〜１１ 実施例１で用いた二軸延伸ポリエチレンテレフタレート
フィルム（厚さ１２μｍ）に真空蒸着法で酸化珪素の膜
を、蒸着後の厚みが１００人、５００人、１０００大と
なるよう蒸着した。

真空蒸着は、抵抗加熱法を用いて、ＳｉＯを蒸着材料と
して、４Ｘ１０−５トールの真空下で行った。

次いで、実施例６と同様に、ウレタン系接着剤（底円薬
品：タケラック３１５およびタケネートＡ−１０＞を乾
燥後の厚みが約２μｍとなるよう塗布して、ドライラミ
ネート法により未延伸エチレンプロピレン共重合体フィ
ルム（厚さ５０μｍ）を接着した。

酸化珪素の膜厚が１００人、５００人および、１０００
人のものを、それぞれ、比較例９．１０および１１とす
る。

このフィルムの光線透過率、水蒸気透過率、酸素透過率
、６０’Ｃでの水蒸気透過率、耐レトルト性および耐摩
耗性を表１に示す。

［発明の効果］ 本発明の透明ガスバリア性フィルムは、透明性に優れ、
酸素、水蒸気などのガスバリア性に優れ、特に、高温で
のカスバリア性や耐摩耗性に優れているため、内容物の
変質、変色を防止できる、長期保存に適した包装用フィ
ルムである。

【図面の簡単な説明】

゛　　　第１図および第２図は、それぞれ本発明の透明
ガスバリア性積層フィルムの一例を示す概略断面図であ
る。 １ニブラスチツクフイルムからなる基体、２：金属酸化
物層、 ３：接着材層、 ４：金属酸化物層、 ５ニブラスチツクフイルムからなる基体、６：ヒートシ
ール可能な熱可塑性接着剤層。 特許出願人　　東　し　株　式　会　礼節１図 ′第２図

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）プラスチックフィルムから成る基体の少なくとも
   片面に、Ｉｎ、Ｓｎ、Ｚｎ、ＺｒおよびＴｉから成る群
   から選ばれた少なくとも一種の金属の金属酸化物層がス
   パッタリングにより形成された透明ガスバリア性フィル
   ムが、２枚以上接着剤を介して積層されてなることを特
   徴とする透明ガスバリア性積層フィルム。
2. （２）透明ガスバリア性フィルムの金属酸化物層が、互
   いにむき合うように接着積層されてなることを特徴とす
   る特許請求の範囲第（１）項記載の透明ガスバリア性積
   層フィルム。
3. （３）接着剤がウレタン系接着剤であることを特徴とす
   る特許請求の範囲第（１）項または第（２）項記載の透
   明ガスバリア性積層フィルム。
4. （４）透明ガスバリア性積層フィルムが、少なくともそ
   の片面に、ヒートシール可能な熱可塑性接着層を有する
   ことを特徴とする特許請求の範囲第（１）項〜第（３）
   項のいずれかである透明ガスバリア性積層フィルム。