JPS63261501A - スタンパ−製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は各種の情報信号が記録された情報記録媒体の複
製基板を成形するために一般に用いられているスタンパ
−と呼ばれる精密成型用の金型の製造方法に関する。よ
り詳しくは、熱硬化性樹脂あるいは光硬化性樹脂などを
用いて微細な溝を有する各種の情報記録媒体を高精度に
成形することのできるスタンパ−の製造方法に関するも
のである。

（従来の技術） 従来、音声信号がスパイラル状の溝として刻まれたレコ
ード盤あるいはレコード盤に比べ情報記録密度が数百倍
にも達する光ディスクやコンパクトディスク等の情報記
録媒体の成形用として利用されるスタンパ−としては、
ニッケル電鋳型が一般的であるが、このような電鋳型に
は耐久Ｐ１が劣る、製造コストが高い、製造に長時間を
要する等の問題があった。

また、このような電鋳スタンパ−の欠点を解消するもの
として、例えば特開昭６０−１７３７１８号公報のよう
にガラス板上にプレグルーブ付薄膜を形成したスタンパ
−が示されているが、このようなガラススタンパ−では
圧縮成形による情報記録媒体の作成時に圧縮成形用治具
にスタンパ−を取付けるた゛めの加工が容易でないとい
う欠点があった。

更には、上記のような型材に化学エツチングにより溝を
形成してスタンパ−を得る方法も知られているが、化学
エツチングを用いる方法では、エツチング面の表面粗さ
が大きく、高度の加工精度が要求される情報記録媒体用
のスタンパ−としては利用困難であった。

〔発明が解決しようとする問題点〕

本発明は上記のような問題点に鑑みなされたものであっ
て、上記従来例のスタンパ−製造方法の問題点を解消し
たスタンパ−製造方法を提供することを目的とする。

（問題点を解決するための手段） 本発明の上記目的は、以下の本発明によって達成される
。

（１）金属基材上に感光性樹脂のパターンを形成する工
程と、 （２）前記パターン形成した金属基材をリン酸。

リン酸のアルカリ塩およびクロム酸より成る群から選ら
ばれる１種以上を含む水溶液に浸漬、　　し、該パター
ン形成した金属基材を陽極にして電解することにより、
ｎｌｆ記パターン形成部分以外の該基材に溝を形成する
工程と、 （３）　Ｏｆ記感光性樹脂のパターンを除去する工程と
を打することを特徴とするスタンパ−製造方法。

〔作　用〕

上記（＋）ないしく３）の各工程を実施してスタンパ−
を製造する本発明の方法では、従来法における電鋳より
も加工時間の短かい電解を利用してスタンパ−を作成す
るため、耐久性に優れたスタンパ−を単時間で得ること
ができる。また、一般的に加工の容易な金属基材を利用
してスタンパ−を作成するため、従来例におけるような
成形治具への取付けの困難さが解消される。更には、微
細パターンの形成が容易な感光性樹脂を利用してスタン
パ−を作成するため、高蹟度のスタンパ−を経済性よく
得ることができ、また、熱伝導性の良好な金属基材を利
用することにより、情報記録媒体成形時におけるスタン
パ−の温度分布が均一化し、情報記録媒体の特性向上を
はかることもできる。

以下、図面に基づいて本発明の詳細な説明する。

第１図に本発明の一実施態様を説明する模式的断面図を
、また第２図に本発明を実施するに好適な電解装置の一
例を示す。

これらの図に示されるように、本発明の基本的な態様に
おいては、所望の金属基材１上に所望形状の感光性樹脂
のパターン６がまず形成される（第１図（ａ）→第１図
（ｂ））。

ここで、金属基材１としては、例えばＹＡＧ、ＳにＤな
どの加工性に優れた鋼板が好ましく用いられる。また、
このような鋼板にＮｉやＣｒあるいはそれらの合金の皮
膜を形成したものも基材として用いることができる。こ
のような金属基材１は、その表面を鏡面研磨しておくと
よい。

感光性樹脂としては、例えば光や熱などによって硬化す
る各種のフォトレジストを特に限定することなく用いる
ことができる。このような感光性樹脂を用いてのパター
ン形成は、例えばフォトマスクなどを利用しての露光や
、それに続く現像など周知のパターン形成方法を用いて
行なうとよい。

次に、上記パターン６を形成した基材１に、例えば第２
図に例示のような電解装置を用いて電解を施すことによ
り、この基材１のパターン形成部以外に第１図（Ｃ）に
例示のような所望の溝８を形成する。

電解は、次のようにして行なうとよい。すなわち、電解
槽５中に保持した電解液４に上記パターン形成した基材
１および対極２をまず浸漬し、次いでこの基材１を陽極
として、直流電源３を用いて基材１および対極２間に所
望の直流電流を印加して電解を行なう。もちろん印加電
流の強さや印加時間は所望のものとしてよいが、電解中
の電流値は一定値を保持するようにするのが好ましい。

この際の電解液としては、リン酸、リン酸のアルカリ塩
およびクロム酸より成る群から選らばれる１種以上を含
む水溶液が用いられる。なお、バターン６は上記のよう
に溝形成部周辺のみに設ければ十分であるが、溝形成部
以外の基材の全表面を覆うようにパターンを設けてもよ
い。

最後に、゛基材１上のパターン６を上記感光性樹脂のリ
ムーバー液などを用いて除去し、スタンパ−７を得る（
第１図（ｄ））。

〔実施例〕

以下に本発明の実施例を示す。

実施例１ 第２図に例示の電解装置を用いて、第１図（ａ）ないし
くｄ）に例示の手順に準じてスタンパ−を以下のように
作成した。

鏡面研磨したＹＡＧ基板を基材として用い、この基材上
に市販の感光性樹脂（ヘキスト社製、八ＺＩ：１５０）
を用いて溝形成部以外を被覆したレジストパターンを形
成した。

次に、８５％リン酸を５００ｍ１．水を５００−１（：
ｒ０３を５０ｇの割合で調整した電解液中で、上記基材
を陽極とし、ＳＯ５３０４を陰極として電流密度２　八
／ｄｍ２で１０秒間電解を行なった。

次に、上記感光性樹脂の除去剤であるへＺリムーバー（
ヘキスト社製）を用いて上記基材上のレジストを除去し
、第１図（ｄ）に例示のような所望形状の溝を有するス
タンパ−を得た。

このスタンパ−を用い、周知の２２成形することにより
、所望の凹凸パターンを有する光カードを作成した。

本例における２Ｐ成形は、アクリル樹脂板上゛に液状の
紫外線硬化型アクリル樹脂を塗布した後、このアクリル
樹脂の塗布面と上記スタンパ−を接触させ、高圧水銀灯
（オーク社製）で５Ｊ／Ｃｌ１１２の紫外線を照射する
ことにより行なった。

こうして得られた光カードは、複屈折の少ない光学特性
の優れたものであった。

実施例２ ＳにＤ基板上に市販の化学ニッケルメッキ液（日本カニ
ゼン社製、シューマロ８０）を用いて５０ｕ＋の化学ニ
ッケル皮膜を形成した金属基材をまず作成した。

次に、この基材表面を鏡面研磨した後、実施例１と同様
に八″ＺＩ３５０を用いて溝形成部以外を被覆したレジ
ストパターンを形成した。

次に、８５％リン酸を２００　ｍＡ、水を８００　ｔｒ
ｌ、ＣｒＯ３をｌＯｇの割合で調整した電解液中で、上
記基材を陽極とし、ＳＯ５３０４を陰極として電流密度
３　Ａ／ｄｍ２で１０秒間電解を行なった。

次に、実施例１と同様にへＺリムーバーを用いて上記基
材上のレジストを除去することにより、所望形状の溝を
有するスタンパ−を得た。

次に、このスタンパ−を用いてポリカーボネイト樹脂を
圧縮成形することにより、ポリカーボネイト樹脂製の光
カードを得た。

こうして得られた光カードはスタンパ−の凹凸パターン
が高精度に転写された光学特性にも優れるものであった
。

実施例３ 鏡面研磨したＳにＤ基板に真空蒸着により厚さ０．１３
μのＯｒ膜を形成した金属基材をまず作成した。

次に、この基材表面を鏡面研磨した後、実施例１と同様
に八ＺＩ：１５．０を用いて溝形成部以外を被覆したレ
ジストパターンを形成した。

次に、５Ｎ水酸化ナトリウム溶液および８０％リン酸溶
液を用いてｐ１１８に調整したリン酸二ナトリウム濃度
ｔｏｏ　ｇ７ｉの水溶液を電解液として用い、この電解
液中で上記基材を陽極とし、５ＵＳ３０４を陰極として
電流密度３　八／ｄｍ２で１５秒間電解を行なった。

次に、実施例１と同様にへＺ、リムーバーを用いて上記
基材上のレジストを除去することにより、所望形状の溝
を有するスタンパ−を得た。

次に、このスタンパ−を用いてアクリル樹脂を圧縮成形
することにより、アクリル樹脂製の光カートを得た。

こうして得られた光カードはスタンパ−の凹凸パターン
が高粒度に転写された光学特性にも優れるものでありだ
。

（発明の効果〕 以上の説明から明らかなように、本発明の方法では、精
密機械加工や鏡面研磨の容易な金属基材を利用してスタ
ンパ−を作成するなめ、成形治具へ取付けるためのスタ
ンパ−の加工が容易になり、従来例におけるような成形
治具への取付けの困難さを解消することができた。

また、一般にガラスなどに比して１０倍以上も熱伝導率
の大きな金属基材を利用してス、タンパ−を作成してい
るため、情報記録媒体成形時におけるスタンパ−の温度
分布が均一化して、情報記録媒体の光学特性を向上（特
に、特性劣化を引き起す複屈折を減少）させることがで
きた。

更には、従来法に場ける電鋳に比べて加工時間が実質的
に１７１００以下である電解を利用してスタンパ−を作
成するため、耐久性に優れたスタンパ−を単時間で得る
ことができるようになり、また使用装置も簡便であるの
でスタンパ−製造コストの低減化効果も大きい。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施態様を説明する模式的断面図、
第２′図は本発明に用いるに好適な電解装置の一例の概
念図である。 ！・・・金属基材　　　　　２・・・対極３・・・直流
電源　　　　　４・・・電解液５・・・電解槽 ６・・・感光性樹脂のパターン ７・・・スタンパ−８・・・溝

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、（１）金属基材上に感光性樹脂のパターンを形成す
   る工程と、 （２）前記パターン形成した金属基材をリン酸、リン酸
   のアルカリ塩およびクロム酸より成る群から選らばれる
   １種以上を含む水溶液に浸漬し、該パターン形成した金
   属基材を陽極にして電解することにより、前記パターン
   形成部分以外の該基材に溝を形成する工程と、 （３）前記感光性樹脂のパターンを除去する工程とを有
   することを特徴とするスタンパー製造方法。