JPH07121912A - 情報記録媒体複製用スタンパーの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 母型の両面に導電化処理を施し、その導電性
皮膜が形成された母型の両面にさらに電鋳を行ない、剥
離を行なって情報記録媒体複製用スタンパーを製造す
る。 【効果】 フラットネスの非常に良好なスタンパーを得
ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、情報記録媒体の基板複
製用のスタンパーの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、情報記録媒体の基板を作製する方
法は、インジェクション法、熱プレス法、２Ｐ法、注型
法などが知られている。

【０００３】これらの基板作製法において、従来知られ
ているスタンパーの製造方法は、フォトリソグラフィー
法により、片側にクロム等の金属材料で微細な凹凸状プ
リフォーマットパターンを形成したガラス基板（母型）
上にＮｉスパッタ膜等の導電性皮膜を形成し、その上に
電鋳を施す。その後、電鋳膜を平面研磨し、裏打材を貼
り合わせて、母型から電鋳膜を剥離してスタンパーとす
る。また、上記スタンパーをマザースタンパーとし、Ｎ
ｉ等の金属スパッタ膜を形成し、電鋳を行なってコピー
スタンパーを作製する方法も知られている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
法では、電鋳膜形成を母型の片側の面だけに行なうた
め、電鋳時の膜応力により母型が変形し、その上に形成
された電鋳膜も同時に変形するという問題があった。そ
のため、母型の基板厚みを厚くしたり、母型に剛性の高
い裏打材を張り合わせるなどの対策が行なわれている。

【０００５】しかしながら、母型の基板厚を厚くする方
法は、フォトリソ工程の製造装置の大型化が必要なた
め、製造コストが非常に高くなる。また、高剛性な裏打
材を貼り合わせたものでは、しばしば電鋳時の応力で剥
がれが生じるという問題があった。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、母型に導電化
処理を施し、形成された導電性皮膜の上に電鋳を施す工
程を有して成る情報記録媒体複製用スタンパーの製造方
法において、母型の導電化処理を該母型の両面に施し、
導電性皮膜が両面に形成された該母型の両面に電鋳を行
なうことを特徴とする情報記録媒体複製用スタンパーの
製造方法を提供する。

【０００７】上記のように、母型の両面に導電化処理を
行なった後、その母型の両面に電鋳を行なって電鋳膜形
成を母型の両面に行なうことにより、母型への電鋳膜の
応力がなくなり、母型の変形が起こらず、平面性の良好
なスタンパーを得ることができる。

【０００８】また、母型の両面にプリフォーマットパタ
ーンを形成させておけば、フラットネスの良好なスタン
パーを同時に２枚製造することができるというメリット
もある。

【０００９】また、片面にプリフォーマットパターンが
形成された母型を２枚、逆方向に貼り合わせたものに電
鋳を施すことによって、同様なスタンパーを得ることが
できる。

【００１０】次に本発明を、その特徴を最も良く表わす
図１（ａ）〜（ｄ）に基づいて詳細に説明する。

【００１１】まずフォトリソグラフィー法により、凹凸
形状のプリフォーマットパターン２をガラス基板１上に
形成する（図１（ａ））。次に、Ｎｉ等の金属の導電膜
３をその基板の両面に形成する（図１（ｂ））。この
際、３と１の間にフッ化化合物等による離型膜を形成す
ると離型性が向上する。

【００１２】次に、図１（ｂ）の基板の両面の導電膜３
を陰極として電鋳を行なう。電鋳膜厚は５〜３００μｍ
が好ましい。また電鋳液の組成、温度、時間および電流
密度等の電鋳時の条件は、電鋳する金属によりそれぞれ
異なるが、例えばＮｉ電鋳の場合は、電鋳液の組成がス
ルファミン酸ニッケル３００〜６００ｇ／リットル、ホ
ウ酸１０〜５０ｇ／リットル、界面活性剤０．０１〜５
ｇ／リットルであり、浴温は４０〜６０℃、電流密度５
〜１５Ａ／ｄｍ²、時間１〜１０時間が好ましい。

【００１３】次に、図１（ｃ）に示されるように、電鋳
により形成された電鋳膜４は図１（ｂ）の基板の両面に
形成され、そのプリフォーマットパターンが転写されて
いる側を剥離して、図１（ｄ）の５で示されるスタンパ
ーを得ることができる。この時、剥離前に電鋳面４ａを
研磨して、所定の膜厚とすることが望ましい。また、ス
タンパー５は４ａ面に裏打材を接合して使用することも
可能である。

【００１４】さらに、スタンパー５はマザースタンパー
として使用も可能である。すなわち、スタンパー５に対
して図１（ｂ）〜（ｄ）の工程を行なうことで、子型を
作製することもできる。

【００１５】

【実施例】以下に実施例により本発明を具体的に説明す
る。

【００１６】（実施例１）図１に示した工程に従って、
ガラス基板１上に、Ｃｒパターン２をフォトリソで形成
した後（図１（ａ））、その両面にＮｉスパッタリング
を行ない、３００Åの導電化膜３を形成した（図１
（ｂ））。次に、両面のＮｉ膜を陰極として２００μｍ
のＮｉ電鋳膜４を両面に形成した（図１（ｃ））。その
際の電鋳の条件は、電鋳浴の組成がスルファミン酸ニッ
ケル５００ｇ／リットル、ホウ酸５０ｇ／リットル、界
面活性剤０．０３ｇ／リットル、電流密度１０Ａ／ｄｍ
²、時間５時間であった。

【００１７】次に、電鋳膜面を平滑化するため、４ａ面
を研磨し、電鋳膜を母型の端面から剥離して、スタンパ
ー５を得た。

【００１８】（実施例２）次に、図２のように両面にプ
リフォーマットパターン２を有するガラス基板１を用意
し（図２（ａ））、その両面にＮｉスパッタリング膜３
を形成した（図２（ｂ））。その後は実施例１と同様の
工程で、電鋳、研磨、剥離を行なって、スタンパー５を
得た（図２（ｃ）、（ｄ））。本実施例では、１回の製
造で２枚のスタンパーを得ることができた。

【００１９】（実施例３）図３のように、片面にプリフ
ォーマットパターン２を有するガラス基板１を２枚用意
し、そのプリフォーマットのない面同士を接着剤６によ
り貼り合わせた（図３（ａ））。接着剤は熱硬化タイ
プ、紫外線硬化タイプ等、電鋳浴で剥離しないものであ
ればどのようなものでも良い。貼り合わせた後、両面に
Ｎｉスパッタリング膜３（図３（ｂ））、Ｎｉ電鋳膜４
（図３（ｃ））を実施例１と同様の条件で形成し、図３
（ｄ）に示すように両面を剥離し、スタンパー５を得
た。また、スタンパー５を剥離する前に、母型（１＋
２）を分離した後、スタンパーを剥離することも可能で
ある（図３（ｅ））。

【００２０】（比較例１）実施例１と同様に母型（図１
（ａ）の１＋２）を用意し、プリフォーマット面のみに
Ｎｉスパッタリング膜を形成した。その後、そのＮｉス
パッタリング膜を陰極として実施例１と同様に電鋳を行
なった後、剥離し、スタンパーを得た。

【００２１】以上、実施例１、２、３および比較例１で
それぞれ得られたスタンパーのフラットネスを測定した
結果、実施例１〜３では０〜３０μｍの範囲にあるのに
対し、比較例１では２００μｍと大きな値となった。

【００２２】

【発明の効果】以上説明したように、母型の両面に導電
膜および電鋳膜を形成してスタンパーを製造することに
よって、フラットネスの非常に良好なスタンパーを得る
ことができる。さらに、両面にプリフォーマットパター
ンを有する母型もしくは片側にプリフォーマットパター
ンを有する２枚の母型を貼り合わせた母型を使用するこ
とにより、１回の製作でフラットネスの良好なスタンパ
ーを２枚得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例１のスタンパー製造工程を示す模式図で
ある。

【図２】実施例２のスタンパー製造工程を示す模式図で
ある。

【図３】実施例３のスタンパー製造工程を示す模式図で
ある。

【符号の説明】

１ ガラス基板 ２ 凹凸状のプリフォーマットパターン ３ 導電性皮膜 ４ 電鋳膜 ５ スタンパー ６ 接着剤

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 母型に導電化処理を施し、形成された導
   電性皮膜の上に電鋳を施す工程を有して成る情報記録媒
   体複製用スタンパーの製造方法において、母型の導電化
   処理を該母型の両面に施し、導電性皮膜が両面に形成さ
   れた該母型の両面に電鋳を行なうことを特徴とする情報
   記録媒体複製用スタンパーの製造方法。