JPS63259429A - 気密封止試験装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体装置や電子部品、その地気密性を必要と
するデバイスの気密封止試験装置に関する。

〔従来の技術〕

従来より気密封止試験は、試験体にヘリウムガスなどの
検知用ガスを強制封入した後、試験体から漏洩する検知
用ガスを検出することによって行われている。かかる試
験に使用される従来装置は、検知用ガスが強制御４人さ
れた試験体を収納する試験室と、試験室内を約１０ｍｔ
ｏｒｒ以下の真空とするように排気し、これにより試験
体の外部に漏洩する検知用ガスを検出する排気分析手段
とから構成されている。試験に際しては、検知用ガスが
強制封入された試験体を試験室内に収納した後、試験室
を密閉し、排気分析手段で試験室内を真空にすると共に
、検知用ガスを検知することで行っている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら従来装置では、試験室内への試験体のセッ
トを人手によって行っており、ぞの作業が煩わしい。ま
た、使用される試験室が多くても数個程度であり、試験
に長時間を要している。このため、１つの試料室に多数
の試験体を収納することがなされているが、検知用ガス
が漏洩する試料を選出するには、試験回数が多くなり長
時間を要している。

そこで本発明は、気密封止試験を自動的に、且つ短時間
で行うことができる気密封止試験装置を捉供することを
目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明に係る気密封止試験装置は、検知用ガスが強制封
入された試験体を１つづつ収納すると共に一部が開口さ
れた試験室が複数形成された試験ボックスと、各試験室
の開口部と連通ずる排気口が形成され試験ボックスが挿
入される支持枠と、開口部と排気口との連通状態で試験
室内を真空とするように排気し、この排気で試験体の外
部に漏洩する検知用ガスを検出する排気分析手段と、排
気を遮断するバルブを有し排気口と排気分析手段とを接
続するノズルとを媚えることを特徴とする。

〔作用〕

本発明に係る気密封止試験装置は、以上の通りに構成さ
れているので、試験ボックスは気密封止試験を連続的に
行うことができるよう作用する。

〔実施例〕

以下、添付図面を参照して本発明のいくつかの実施例を
説明する。なお、図面の説明において同一要素には同一
符号を付し、重複する説明を省略する。

第１図は実施例に係る装置の斜視図、第２図は試験ボッ
クスの一部破断斜視図、第３図は作動を示す一部破断側
面図である。本実施例は、試験ボックス１と、試験ボッ
クス１が挿入される支持枠２と、支持枠２に取り付けら
れたノズル３と、ノズル３に接続された排気分析手段（
図示せず。）とを備えている。

試験ボックス１は第２図に示すように、ボックス状の本
体４と、本体４上に被せられる蓋体５とからなる。本体
４内には縦横方向に延びた基盤目状の隔壁６が設けられ
て本体４を複数に仕切っており、隔壁６を境界にして多
数の試験室７が形成されている。各試験室７には試験体
Ａが１つづつ収納されるようになっており、全ての試験
室７内に試験体Ａが収納されると、試験ボックス１は気
密封止試験に供される。また、各試験室７の底面にはそ
れぞれ開口部８が形成されており、後述する排気の際に
試験室７内の空気が開口部８から吸い出されるようにな
っている。この開口部８は試験体Ａが落下せず、また効
率のよい排気が可能なように所定の大きさに成形されて
おり、本実施例では開口部８にネットが張設されている
。

なお、蓋体５はパツキン（図示せず。）等を介して本体
４に密着するようになっている。また、開口部８の周辺
には第３図に示すように試験体Ａを支持する突起１３が
形成されて試験体Ａが試験室７底面上に密着するのを防
止し、これにより排気が円滑に行なわれるようになって
いる。

支持枠２はこのような試験ボックス１が挿入可能な大き
さ、寸法に形成されると共に、・試験ボックス１の挿入
口および引出口が対向して開設されている。そして、支
持枠２は第３図に示すように、試験ボックス１を搬送す
るコンベアなどの搬送路９の間に設けられ、搬送路９に
よって試験ボックス１の自動供給が行なわれる。この支
持枠２の底面には第２図のように、試験ボックス１に仕
切り形成された各試験室７の開口部８と連通ずる排気口
１０が形成されており、後述するように試験室７内の脱
気が可能となっている。

ノズル３はかかる排気口１０のそれぞれに取り付けられ
ており、各ノズル３には電磁バルブなどのバルブ１１が
それぞれ設けられている。このノズル３はホース１２に
よって排気分析手段に接続され、排気分析手段の駆動に
よる試験室７内の空気の排気の際の導出路となるもので
ある。なお、バルブ１１はコンピュータ（図示せず。）
等の制御手段により、順次に切替えられるように制御さ
れている。

次に、−［１記実施例に係る試験装置の作動を説明する
。

試験に先立って試験体Ａには、検知用ガスがあらかじめ
強制封入される。検知用ガスとしてはヘリウムガス、ハ
ロゲンガスなどが適宜選択され、また強制封入は従来よ
り行われている方法によって行うことができる。この後
、この試験体Ａを試験ボックス１の本体４に形成された
試験室７内に収納する。この場合、１つの試験室７には
１つの試験体Ａを収納する。

試験体Ａが収納された試験ボックス１は搬送路９によっ
て支持枠２内に挿入され、各試験室７の開口部８と試験
ボックス１の底面の排気口１０が一致し、これらが連通
した時点で排気分析手段が駆動リーる。これにより試験
室７内の排気が行われるが、この排気は複数のバルブ１
１の内の−のバルブのみを開放し、他のバルブは遮断し
た状態で行う。

排気は試験室７内が１０　ｏ＃ｔｏｒｒ以下の真空とな
るように行われ、これにより検知用ガスが漏洩した場合
には、そのガスが排気分析手段のガス分析管、ガス検知
器等により検出され、封止不完全状態の試験体へとの判
断が行われる。一方、ガスが検出されない場合には封止
が完全であるとの判断が行われる。なお、かかる判断結
果はコンピュータ等に記憶され、後の工程での合否の区
分が行われる。

このようにして１つの試験室７の試験体への検査が終了
した後は、その試験室７に接続されているバルブが自動
的に遮断され、次の試験室７のバルブが自動的に遮断さ
れ、次の試験室７のバルブが自動的に開放されて封止試
験が行われる。そして、順次に試験が実行される。従っ
て、本実施例では試験ボックスに多数の試験室を形成し
、この試験ボックスを試験に供するようにしたので、試
験時間が短縮できると共に、バルブの自動切換えにより
試験の自動化が可能となる。

第４図は本発明の別の実施例に係る装置の一部ｒ１１３
′断側面図である。

この実施例では、ノズル３が支持枠１の排気口１０の間
で切換え可能に形成されている。すなわち、ノズル３に
は操作アーム１３が取り付けられ、アーム１３がロボッ
ト等によって２次元方向に駆動制御されており、−の試
験室から他の試験室へ移動するようになっている。従っ
て、この実施例においても多数の試験体の自動試験が可
能でおるが、ノズル３とこれに取りイ」けられるバルブ
１１が少なくなっているので、その分だ【ブ装置を簡略
化することができる。

本発明は上記実施例にれ限定されるものではなく、種々
の変形が可能である。

例えば、試験ボックスの形状や試験室の数は適宜に変更
することが可能である。また、試験ボックスの搬送も、
ロボツ１〜のアーム等で行なってもよい。更に、結果の
集計はコンピュタ−等によらず、手作業で行なうように
してもよい。

（発明の効果〕 以上、詳細に説明したとおり、本発明に係る気密封止試
験装置によれば、多数の試験室を形成した試験ボックス
を単位として試験を行なうことができるから、試験時間
が短縮化でき、また自動化も可能となる効果が必る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の気密封止試験装置の一実施例の斜視図
、第２図は試験ボックスの一部破断斜視図、第３図は作
動を示す一部破断斜視図、第４図は別の実施例の一部破
断側面図である。 １・・・試験ボックス、２・・・支持枠、３・・・ノズ
ル、７・・・試験室、８・・・開口部、１０・・・排気
口、１１・・・バルブ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、検知用ガスが強制封入された試験体を１つづつ収納
   すると共に一部が開口された試験室が複数形成された試
   験ボックスと、 前記試験室のそれぞれの開口部と連通する排気口が形成
   され、前記試験ボックスが挿入される支持枠と、 前記開口部と排気口との連通状態で前記試験室内を真空
   とするよう排気し、この排気により前記試験体の外部に
   漏洩する前記検知用ガスを検出する排気分析手段と、 前記排気を遮断するバルブを有し前記排気口と排気分析
   手段とを接続するノズルと を備えることを特徴とする気密封止試験装置。 ２、前記ノズルが全ての前記排気口に接続されるよう複
   数設けられている特許請求の範囲第１項記載の気密封止
   試験装置。 ３、前記ノズルが少なくとも１つ設けられ、このノズル
   が前記排気口間で切換え自在となつている特許請求の範
   囲第１項記載の気密封止試験装置。