JP2010169515A - テストガスボンビングシステム - Google Patents
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- 238000005507 spraying Methods 0.000 title abstract 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 58
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims description 29
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 22
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 claims description 14
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 3
- 238000004904 shortening Methods 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 61
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 48
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 48
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 48
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 16
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002775 capsule Substances 0.000 description 3
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 230000036544 posture Effects 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 230000011218 segmentation Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
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- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
【解決手段】 キャリア10はロッド状をなし、軸方向に沿う収容凹部12にワークを装填するようになっている。キャリア支持体20は互いに独立した複数のチャンバ21を有している。チャンバ21は、互いに平行をなして直線的に延び同一平面上に配列されている。キャリア支持体20は移動手段によりチャンバ21の配列方向に移動され、1つのチャンバ21が選択的に特定位置に位置させられる。特定位置にあるチャンバ21のキャリア10は搬送手段により出し入れされる。キャリア10が収容位置にある時、チャンバ21の開口端部内周とこれに対応する上記キャリア10の端部外周との間がOリング14によりシールされ、チャンバ21が密閉される。この密閉状態でテストガスがチャンバ21に供給される。
【選択図】 図4
Description
そこで小型ワークを検査する場合、特許文献1に開示されているように、エアリークテストと併用してまたは単独でヘリウムリークテスト(テストガスリークテスト)を行うのが一般的である。
上記構成によれば、ロッド状のキャリアを用いるためチャンバの内周とキャリアの外周とのシールによりテストガスの漏出を防止でき、蓋や蓋をロックする機構が不要となるので、構造が簡単かつ安価になる。
この構成によれば、ロッド状のキャリアを用いるためチャンバの内周とキャリアの外周とのシールによりテストガスの漏出を防止でき、蓋や蓋をロックする機構が不要となるので、構造が簡単かつ安価になる。しかも、キャリア支持体を移動して複数のチャンバのうちの1つを選択的に特定位置に位置させることにより、キャリアをチャンバに対して出し入れする搬送手段の構造と、チャンバへテストガスを供給するテストガス供給手段の構造を簡単にすることができる。
これによれば、接続手段からのテストガス漏出を防止できる。
これによれば、接続手段に弁手段を設けなくて済む。
これによれば、一対のシール手段が両端部に配置されているので、充填されたテストガスの圧力による両方向の力が均衡し、より一層安定したキャリア保持を行うことができる。
これによれば、分割凹部にワークを1個ずつ装填することにより、ワークの供給、排出を容易に行うことができる。
これによれば、ワーク供給位置が特定されているので、ワーク供給手段によるワークの軌跡を単純化でき、ワーク供給手段の構成を簡単にすることができる。
これによれば、キャリアの出し入れを簡単に行うことができる。
これによれば、ワーク供給とワーク搬出の場所が重ならないので、作業が煩雑にならず、両者の干渉を防止するための構成も不要である。
これによれば、キャリアをキャリア支持体から離脱させた状態で、ワークの供給と搬出を行うことができ、供給、搬出の自由度を高めることができる。また、補助支持機構を用いて離脱状態のキャリアを安定して支持することができる。
これら多数の分割凹部12aにより、軸方向に延びる収容凹部12が構成されている。
また、キャリア10の両端には平板形状の把持フランジ15が形成されている。この把持フランジ15にはキャリア10の軸線と直交する係合穴15aが形成されている。
上記キャリア10は、その軸線に沿って所定の高さを維持したまま搬送される。この搬送ラインを図2においてLで示す。
図1、図3に示すように、上記ボンビングステージBは、垂直に配置された矩形の板形状をなすキャリア支持体20と、このキャリア支持体20を昇降させる移動手段30と、ヘリウムガス供給装置40(テストガス供給手段)とを備えている。
上記キャリア支持体20の各チャンバ21に、上記キャリア10が収容されるようになっている。キャリア10の両端部は上記チャンバ21の小径部21bと同径をなしており、チャンバ21への収容位置において、小径部21bに支持される。
上記チャンバ21の大径部21aは、キャリア10より径が大きくヘリウムガス(テストガス)のための充填空間として提供される。
また、上記キャリア10が上記チャンバ21内の収容位置にある時、キャリア10の両端部がキャリア支持体20の両端面から突出している。
図1、図3に示すように、上記移動手段30は、垂直基台31と、この垂直基台31に固定された垂直方向に延びるリニアガイド32と、このガイド32にスライド可能に取り付けられたスライダ33と、ボールねじ機構34と、モータ35とを有している。
上記装置本体46は、ヘリウムガスボンベ、窒素ガスボンベ、真空ポンプ、および必要な通路構成および弁を備えている。
上記プラグ44は、通路ブロック42において上記キャリア支持体20に対向する面に固定され、上記搬送ラインLと同じ高さで搬送ラインLと直交する方向に突出し、搬送ラインL上のチャンバ21に連なるカプラ22と同軸をなして対向している。
上記ヘリウム充填後のチャンバ21では、一対のOリング14によりキャリア10の両端部とチャンバ21の両端部内周との間をシールしているため、密閉状態を維持できヘリウムガスが漏出するのを防止できる。その結果、キャリア10の分割凹部12aに装填されたワークWにピンホール等の傷がある場合には、ヘリウムがワークWの内部空間に侵入する。
図1、図2に示すように、ワーク供給ステージAは、さらにパーツフィーダ60とワーク供給手段70を備えている。
上記ワーク装填作業の途中でキャリア10が搬送ラインL上の特定位置にあるチャンバ21に挿入され始める。ワーク装填作業が完了した後、キャリア10は一気にチャンバ21の収容位置まで送られる。
また、リークテストに関しては従来技術と同様であるので説明を省略する。
図7(A)に示すように、ワークWを装填したキャリア10は、第1搬送機構によりチャンバ21内に搬送されるが、上記テストガス供給の際に上記収容位置と上記第1取出位置との間のガス供給位置において一旦停止し、この位置でヘリウムガスの供給を受ける。この際、一対のOリング14は、キャリア10の両端部外周とチャンバ21の両開口端部の内周とをシールしている。しかも左側(ワーク供給ステージ側)のOリング14は供給ポート24からチャンバ21の開口端側に偏移しており、これにより、供給ポート24を介してチャンバ21にヘリウムガスを供給することができる。
また、キャリアは取出位置においてチャンバから離脱せず、その端部をチャンバに残して、この状態でワークの供給、搬出を行ってもよい。この場合、補助支持機構は不要である。
チャンバが配列される平面は傾斜していてもよいし水平であってもよい。
キャリア支持体は移動しなくてもよい。この場合、搬送手段が固定位置にあるチャンバを選択してキャリアを出し入れする。この場合、チャンバは同一平面上に配列していなくてもよいし、テストガス供給手段は常時全てのチャンバに接続されていてもよい。
A ワーク供給ステージ
B ボンビングステージ
C ワーク搬出ステージ
10 キャリア
12a 分割凹部
12 収容凹部
13 環状溝
14 Oリング(シール手段)
20 キャリア支持体
21 チャンバ
22 カプラ(接続手段)
23 チェック弁(弁手段)
24 供給ポート
30 移動手段
40 ヘリウムガス供給装置(テストガス供給手段)
44 プラグ(供給端)
50A 第1搬送機構(搬送手段)
50C 第2搬送機構(搬送手段)
53 移動台
54 チャック機構
57 補助支持機構
57a エアシリンダ(昇降部)
57c ローラ(支持部)
70 ワーク供給手段
Claims (11)
- (ア)ロッド状をなし、その上面に軸方向に沿う収容凹部を有し、この収容凹部に複数のワークを装填するキャリアと、
(イ)上記キャリアを収容するための複数のチャンバを有し、これらチャンバが互いに独立しかつ平行をなして直線的に延び少なくとも一端部が開口するキャリア支持体と、
(ウ)上記チャンバ内の上記キャリアを、チャンバ内の収容位置と、チャンバ外の取出位置との間で、上記チャンバの軸方向に出し入れする搬送手段と、
(エ)上記キャリアが収容位置にある時、上記チャンバの開口端部内周とこれに対応する上記キャリアの端部外周との間をシールすることにより、上記チャンバを密閉するシール手段と、
(オ)ワーク装填状態のキャリアを収容したチャンバにテストガスを供給するテストガス供給手段と、
を備えていることを特徴とするテストガスボンビングシステム。 - (ア)ロッド状をなし、その上面に軸方向に沿う収容凹部を有し、この収容凹部に複数のワークを装填するキャリアと、
(イ)上記キャリアを収容するための互いに独立した複数のチャンバと、これらチャンバにそれぞれ供給ポートを介して連なるテストガス供給のための複数の接続手段とを有し、上記複数のチャンバが、互いに平行をなして直線的に延び同一平面上に配列されるとともに、少なくとも一端部が開口するキャリア支持体と、
(ウ)上記キャリア支持体を上記チャンバの配列方向に移動させ、上記複数のチャンバのうちの一つを選択的に特定位置に位置させる移動手段と、
(エ)上記特定位置にあるチャンバに対して、上記キャリアを、当該チャンバ内の収容位置と、当該チャンバ外の取出位置との間で、上記チャンバの軸方向に搬送する搬送手段と、
(オ)上記キャリアが収容位置にある時、上記チャンバの開口端部内周とこれに対応する上記キャリアの端部外周との間をシールすることにより、上記チャンバを密閉するシール手段と、
(カ)上記特定位置にあるチャンバに対応する上記接続手段に対して着脱可能に接続する供給端を有し、この供給端から当該チャンバにテストガスを供給するテストガス供給手段と、
を備えていることを特徴とするテストガスボンビングシステム。 - 上記接続手段は弁手段を含み、この弁手段は、上記供給端を上記接続手段に接続してテストガスを供給する際に開き、上記供給端が上記接続手段から離れた状態では閉じることを特徴とする請求項2に記載のテストガスボンビングシステム。
- 上記弁手段はチェック弁からなることを特徴とする請求項3に記載のテストガスボンビングシステム。
- 上記キャリアは、上記テストガス供給の際に上記チャンバ内において上記収容位置から上記取出位置方向に偏移したガス供給位置にあり、テストガス供給終了後に上記収容位置まで移動し、
上記シール手段は、上記キャリアの外周に形成された環状溝に嵌るOリングからなり、このOリングは、上記キャリアが上記ガス供給位置にある時に、上記供給ポートから上記チャンバの開口端側に偏移した位置でキャリアの外周とチャンバの内周とをシールし、上記キャリアが上記収容位置にある時に、上記供給ポートから上記チャンバの開口端の反対側に偏移した位置でキャリアの外周とチャンバの内周とをシールすることにより、上記供給ポートと上記チャンバを遮断することを特徴とする請求項2に記載のテストガスボンビングシステム。 - 上記チャンバが上記キャリア支持体を貫通しており、上記チャンバの両端部内周と上記キャリアの両端部外周との間に、それぞれ上記シール手段が配置されていることを特徴とする請求項2〜5のいずれかに記載のテストガスボンビングシステム。
- 上記キャリアの収容凹部が、キャリアの長手方向に等しいピッチで分割された複数の分割凹部を含むことを特徴とする請求項2〜6のいずれかに記載のテストガスボンビングシステム。
- さらに、所定のワーク供給位置にワークを供給するためのワーク供給装置を備え、
上記搬送手段は、上記キャリアを上記分割凹部のピッチ毎に上記特定位置のチャンバに向かって間欠搬送することにより、上記所定のワーク供給位置に空の分割凹部を順に位置させることを特徴とする請求項7に記載のテストガスボンビングシステム。 - 上記収容位置にあるキャリアにおいて上記チャンバの開口端部側に位置する端部が、上記キャリア支持体から突出しており、上記搬送手段は、上記キャリアの突出端部側に位置する少なくとも1つの搬送機構を有し、
上記搬送機構が上記チャンバの軸方向に移動する移動台と、この移動台に設けられ上記キャリアの突出端部を着脱可能にチャックするチャック機構とを備えていることを特徴とする請求項2〜8のいずれかに記載のテストガスボンビングシステム。 - 上記キャリアの取出位置が、上記キャリア支持体の一方側におけるワーク供給のための第1取出位置と、キャリア支持体の他方側におけるワーク搬出のための第2取出位置とを含み、
上記収容位置にあるキャリアの両端部が上記キャリア支持体から突出しており、
上記少なくとも1つの搬送機構は、上記キャリア支持体の上記一方側に配置されたワーク供給のための第1搬送機構と、上記他方側に配置されたワーク搬出のための第2搬送機構とを含むことを特徴とする請求項9に記載のテストガスボンビングシステム。 - 上記搬送機構は、上記キャリアを上記取出位置において上記チャンバから離脱させるようになっており、
上記搬送機構は、上記チャック機構と上記キャリア支持体との間に配置された補助支持機構を備え、この補助支持機構は、支持部と、この支持部を昇降させる昇降部とを有し、
上記補助支持機構の支持部は、所定の下降位置にあって上記チャック機構の通過を許容し、上記キャリアが上記チャンバから離脱した状態では所定の上昇位置にあって上記キャリアの下側を支持することを特徴とする請求項9または10に記載のテストガスボンビングシステム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009011829A JP5204678B2 (ja) | 2009-01-22 | 2009-01-22 | テストガスボンビングシステム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009011829A JP5204678B2 (ja) | 2009-01-22 | 2009-01-22 | テストガスボンビングシステム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010169515A true JP2010169515A (ja) | 2010-08-05 |
JP5204678B2 JP5204678B2 (ja) | 2013-06-05 |
Family
ID=42701806
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009011829A Active JP5204678B2 (ja) | 2009-01-22 | 2009-01-22 | テストガスボンビングシステム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5204678B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114608759A (zh) * | 2022-05-13 | 2022-06-10 | 常州通合新材料科技有限公司 | 一种用于精密铝铸件的气密性检测设备 |
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