JPS63256454A - インクジエツトノズルの製法 - Google Patents
インクジエツトノズルの製法Info
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- JPS63256454A JPS63256454A JP9231587A JP9231587A JPS63256454A JP S63256454 A JPS63256454 A JP S63256454A JP 9231587 A JP9231587 A JP 9231587A JP 9231587 A JP9231587 A JP 9231587A JP S63256454 A JPS63256454 A JP S63256454A
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Classifications
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- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
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- B41J2/01—Ink jet
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- B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
- B41J2/1643—Manufacturing processes thin film formation thin film formation by plating
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔本発明の目的〕
本発明は、従来のインクジェットノズルに較べて噴射方
向の安定性と泡の排出特性のすぐれたインクジェットノ
ズルの製法を提供することを目的とするものである。
向の安定性と泡の排出特性のすぐれたインクジェットノ
ズルの製法を提供することを目的とするものである。
従来のインクジェットノズルは、インク中の泡を排出し
やすいようにするため、穴の断面形状は直角に近いエッ
チを持つのを嫌い。
やすいようにするため、穴の断面形状は直角に近いエッ
チを持つのを嫌い。
すべて曲面をもって形成するように努力が重ねられてき
た。この努力の結果インクジェットノズルからインク中
の泡の排出は容易となったが、インクジェットの噴射方
向に安定性を欠くうらみがあった。
た。この努力の結果インクジェットノズルからインク中
の泡の排出は容易となったが、インクジェットの噴射方
向に安定性を欠くうらみがあった。
本発明はインク中の泡の排出がしやすいという従来技術
の長所を生かしつつ、インクの噴出方向を安定化させる
ため、鋭意研究を重ねた結果、特許請求の範囲に記載し
たとおりの特色をもつインクジェットノズルの製法によ
り、課題の解決に成功したものである。
の長所を生かしつつ、インクの噴出方向を安定化させる
ため、鋭意研究を重ねた結果、特許請求の範囲に記載し
たとおりの特色をもつインクジェットノズルの製法によ
り、課題の解決に成功したものである。
研磨して、そして清浄化した金属基板１の両面にフォト
レジストを塗布し、Ａ面には円形レジスト膜２を形成す
ることができるマスクを当て、Ｂ面には円形の穴３を形
成することのできるマスクを当てて、それぞれの面を露
光、ついで現像を行い、Ａ面には円形レジスト膜２をＢ
面には中央に円形の穴を有するレジスト膜４を形成する
（第１図参照）。
レジストを塗布し、Ａ面には円形レジスト膜２を形成す
ることができるマスクを当て、Ｂ面には円形の穴３を形
成することのできるマスクを当てて、それぞれの面を露
光、ついで現像を行い、Ａ面には円形レジスト膜２をＢ
面には中央に円形の穴を有するレジスト膜４を形成する
（第１図参照）。
つぎに、Ａ面に１次メッキを行い、はぼ円形フォトレジ
スト膜の厚みに相応する厚みを有するメッキ層５を円形
フォトレジスト膜部分以外の金属板上に形成する（第２
図参照）。
スト膜の厚みに相応する厚みを有するメッキ層５を円形
フォトレジスト膜部分以外の金属板上に形成する（第２
図参照）。
このメッキ層５は金属基板への接着性が重要であるから
、必要によりあらかじめ金属基板表面に接着性改善のた
めの前処理をほどこすことが好ましい、前処理はメッキ
における通常の方法で充分である。
、必要によりあらかじめ金属基板表面に接着性改善のた
めの前処理をほどこすことが好ましい、前処理はメッキ
における通常の方法で充分である。
１次メッキはたとえばスルファミン酸ニッケル浴よりな
る電折浴を用い、浴の攪拌と、ワークの揺動を併用しな
がら行うのが好ましい。
る電折浴を用い、浴の攪拌と、ワークの揺動を併用しな
がら行うのが好ましい。
つぎに、後の工程においてメッキ層５が破壊されないよ
うに保護するための保護層６を形成する（第３図参照）
。保護層６は、後の工程からメッキ層５を保護できるこ
とと、後でこの保護層６をメッキ層５から剥離するとき
。
うに保護するための保護層６を形成する（第３図参照）
。保護層６は、後の工程からメッキ層５を保護できるこ
とと、後でこの保護層６をメッキ層５から剥離するとき
。
メッキ層５を痛めないで剥離できる性質のものなら何で
もよい。
もよい。
メッキ層５がニッケルメッキ層であるときには、保護層
６をニッケルメッキ層で形成すると、メッキ層５と保護
層６との接着性が非常に低いため、温度変化を与えただ
けで容易に剥離できるので好都合である。
６をニッケルメッキ層で形成すると、メッキ層５と保護
層６との接着性が非常に低いため、温度変化を与えただ
けで容易に剥離できるので好都合である。
このような保護層６を形成した後、Ｂ面をエッチングす
ることにより第３図にみられるようにスリバチ状の穴７
を形成する。エッチングとしてはたとえばスプレーエッ
チングを行うことができる。
ることにより第３図にみられるようにスリバチ状の穴７
を形成する。エッチングとしてはたとえばスプレーエッ
チングを行うことができる。
つぎに、フォトレジスト４をたとえば溶剤で除去した後
、両面に所望の厚みのメッキを行い、メッキ層８および
９を形成する（第４図）。
、両面に所望の厚みのメッキを行い、メッキ層８および
９を形成する（第４図）。
最後に温度ショックを与えてメッキ層６゜９を剥離し、
フォトレジスト２を溶剤で除去して本発明のインクジェ
ットノズルを形成する（第５図）。
フォトレジスト２を溶剤で除去して本発明のインクジェ
ットノズルを形成する（第５図）。
本発明の方法を採用することにより
（１）インクジェットノズルの内側はインクの中の泡を
排出しやすい曲面形状のノズルで （２）インクジェットノズルの外側は直角に近いエツジ
をもつ形状のノズル を形成することができた。
排出しやすい曲面形状のノズルで （２）インクジェットノズルの外側は直角に近いエツジ
をもつ形状のノズル を形成することができた。
第１図ないし第５図は、本発明の製造方法を順を追って
図示したものである。
図示したものである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、（１）金属製基板の両面にフォトレジストを塗布す
る工程 （２）一面（以下Ａ面という）にはインクジェットノズ
ルのインク出口先端部の円形外 孔に相当する直径を有する円形フォトレ ジスト膜を、他の一面（以下Ｂ面という） にはインクジェットノズルのインク入口 部を形成するスリバチ形の穴をエッチン グにより形成できるような円形穴をもつ レジスト膜を常法のフォトレジスト法に より形成する工程 （３）Ａ面上に一次メッキを行い、円形フォトレジスト
膜部分以外の面を均一にメッキ する工程 （４）その上に一次メッキ層から容易に剥離することの
できる材料を選んで保護被膜を 形成する工程 （５）Ｂ面からインクジェットノズル形成のための通常
のエッチングを行い、Ｂ面にス リバチ状の穴を形成する工程 （６）基板全体をメッキする工程 （７）Ａ面の側を保護膜を剥離する工程 （８）Ａ面の円形フォトレジスト膜を除去する工程 よりなることを特徴とするインクジェットノズルの製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9231587A JPS63256454A (ja) | 1987-04-14 | 1987-04-14 | インクジエツトノズルの製法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9231587A JPS63256454A (ja) | 1987-04-14 | 1987-04-14 | インクジエツトノズルの製法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63256454A true JPS63256454A (ja) | 1988-10-24 |
Family
ID=14050965
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9231587A Pending JPS63256454A (ja) | 1987-04-14 | 1987-04-14 | インクジエツトノズルの製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63256454A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7568785B2 (en) | 2003-06-27 | 2009-08-04 | Sharp Kabushiki Kaisha | Nozzle plate and method of manufacturing the same |
-
1987
- 1987-04-14 JP JP9231587A patent/JPS63256454A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7568785B2 (en) | 2003-06-27 | 2009-08-04 | Sharp Kabushiki Kaisha | Nozzle plate and method of manufacturing the same |
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