JPS63242982A - セラミツクス−炭素複合材料の製造方法 - Google Patents
セラミツクス−炭素複合材料の製造方法Info
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- JPS63242982A JPS63242982A JP62077028A JP7702887A JPS63242982A JP S63242982 A JPS63242982 A JP S63242982A JP 62077028 A JP62077028 A JP 62077028A JP 7702887 A JP7702887 A JP 7702887A JP S63242982 A JPS63242982 A JP S63242982A
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Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、高強度、高硬度で、摺動特性及び耐摩耗性に
優れたセラミックス−炭素複合材料の製造方法に関する
。
優れたセラミックス−炭素複合材料の製造方法に関する
。
セラミックスは、優れた耐熱性、耐食性をもち、高硬度
、高強度であるためスラリー輸送パイプ内張り、鋳物砂
攪拌羽根等、耐摩耗材料として広く利用されている。し
かしながら、メカニカルシール、ころがり軸受のポール
、リテーナ−1磁気ヘッドスライダ−等の摺動材料とし
て利用する場合、その摺動特性が低い、例えば摩擦係数
が高い等で、広く実用化には至っていない。
、高強度であるためスラリー輸送パイプ内張り、鋳物砂
攪拌羽根等、耐摩耗材料として広く利用されている。し
かしながら、メカニカルシール、ころがり軸受のポール
、リテーナ−1磁気ヘッドスライダ−等の摺動材料とし
て利用する場合、その摺動特性が低い、例えば摩擦係数
が高い等で、広く実用化には至っていない。
これを解決する手段として、特開昭61−281086
号公報に「セラミックス多孔体にフッ素オイルを含浸す
る方法」、特開昭61−251586号公報に「セラミ
ックス多孔体に樹脂を含浸する方法」が開示されている
が、いずれもセラミックスー有機物複合材料で、セラミ
ックスの優れた耐熱性を発現できない。又、セラミック
ス多孔体に有機物を含浸しただけなので、強度、硬度が
不十分である。
号公報に「セラミックス多孔体にフッ素オイルを含浸す
る方法」、特開昭61−251586号公報に「セラミ
ックス多孔体に樹脂を含浸する方法」が開示されている
が、いずれもセラミックスー有機物複合材料で、セラミ
ックスの優れた耐熱性を発現できない。又、セラミック
ス多孔体に有機物を含浸しただけなので、強度、硬度が
不十分である。
又、特開昭61−51614号公報に「Zrotとカー
ボンとの混合物を焼結する方法」が開示されているが、
セラミックス粉末とカーボンを予め混合するということ
は、セラミックス粒子の表面が、カーボンで被覆され、
焼結を阻害され、高密度の焼結体を得ることは困難であ
る。
ボンとの混合物を焼結する方法」が開示されているが、
セラミックス粉末とカーボンを予め混合するということ
は、セラミックス粒子の表面が、カーボンで被覆され、
焼結を阻害され、高密度の焼結体を得ることは困難であ
る。
本発明者らは前述の問題点を解決するため、鋭意研究を
重ねた結果、高密度に焼結し、強度、硬度、摺動特性に
優れるセラミックス−炭素複合材料の製造方法を確立し
、本発明を完成するに到った。
重ねた結果、高密度に焼結し、強度、硬度、摺動特性に
優れるセラミックス−炭素複合材料の製造方法を確立し
、本発明を完成するに到った。
即ち、本発明は、セラミックス圧粉体を焼成収縮率0.
1〜10%で予備焼成した後、その予備焼成体の空隙に
、残炭率20%以上、天分1%以下の有機物を含浸し、
非酸化性雰囲気で、該当セラミックスの焼成温度で本焼
成することを特徴とするセラミックス−炭素複合材料の
製造方法に係わるものである。
1〜10%で予備焼成した後、その予備焼成体の空隙に
、残炭率20%以上、天分1%以下の有機物を含浸し、
非酸化性雰囲気で、該当セラミックスの焼成温度で本焼
成することを特徴とするセラミックス−炭素複合材料の
製造方法に係わるものである。
以下、本発明の詳細な説明する。
本発明で使用するセラミックス粉末は、A1□03゜Z
r0z、 Ti(h、 MgO等の酸化物、SiC+
TiC+ B4.CIWC等の炭化物、ZrB、、 C
rB 、 TiB、等の硼化物、Sl:+Nt+ AI
N+ BN等の窒化物から選ばれる1種あるいは2種以
上である。またこれらの化合物を使用してもよい。これ
らのセラミックス粉末としては純度90%以上、粒径が
0.05〜5−のものが望ましい。純度90%未満では
、該当セラミックスの特性が発現せず、粒径が上記範囲
未満では、粉末が凝集し、均一な圧粉体が出来なく、焼
結体組織が不均一となる。又、粒径が上記範囲を越える
と、焼結性が悪くなり、高密度の焼結体を得ることは難
しい。
r0z、 Ti(h、 MgO等の酸化物、SiC+
TiC+ B4.CIWC等の炭化物、ZrB、、 C
rB 、 TiB、等の硼化物、Sl:+Nt+ AI
N+ BN等の窒化物から選ばれる1種あるいは2種以
上である。またこれらの化合物を使用してもよい。これ
らのセラミックス粉末としては純度90%以上、粒径が
0.05〜5−のものが望ましい。純度90%未満では
、該当セラミックスの特性が発現せず、粒径が上記範囲
未満では、粉末が凝集し、均一な圧粉体が出来なく、焼
結体組織が不均一となる。又、粒径が上記範囲を越える
と、焼結性が悪くなり、高密度の焼結体を得ることは難
しい。
本発明に係わるセラミックス圧粉体は、上記セラミック
ス粉末を該当セラミックス焼結助剤と混合した後、適当
量のバインダーを加えて、金型プレス、鋳込成形、ラバ
ープレス等で圧粉することにより得られる。
ス粉末を該当セラミックス焼結助剤と混合した後、適当
量のバインダーを加えて、金型プレス、鋳込成形、ラバ
ープレス等で圧粉することにより得られる。
得られた圧粉体は、該当セラミックスの焼成雰囲気下で
予備焼成される。予備焼成は、その焼成線収縮率0.1
〜10%の範囲内に抑えなければならない。0.1%未
満では、セラミック粒子の焼きっけが不十分で、後工程
の有機物含浸で予備焼成体が破壊する恐れがある。又、
10%を越えると、セラミックス圧粉体が、焼結し過ぎ
、その空隙が閉鎖され、後工程の有機物含浸が困難とな
る。
予備焼成される。予備焼成は、その焼成線収縮率0.1
〜10%の範囲内に抑えなければならない。0.1%未
満では、セラミック粒子の焼きっけが不十分で、後工程
の有機物含浸で予備焼成体が破壊する恐れがある。又、
10%を越えると、セラミックス圧粉体が、焼結し過ぎ
、その空隙が閉鎖され、後工程の有機物含浸が困難とな
る。
このようにして得られた予備焼成体の空隙はほとんど開
気孔で、有機物の含浸は、真空あるいは、加圧下で容易
に行える。
気孔で、有機物の含浸は、真空あるいは、加圧下で容易
に行える。
本発明で使用するを搬物は、ピッチ、タール、フェノー
ル樹脂、フラン樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂などか
ら選ばれ、残炭率20%以上、天分1%以下である必要
がある。残炭率20%未満のものは本焼成時、未残炭分
が多量に揮発するため、焼成キレツ等が発生し高密度な
、セラミックス−炭素複合材料を得ることは難しい。
ル樹脂、フラン樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂などか
ら選ばれ、残炭率20%以上、天分1%以下である必要
がある。残炭率20%未満のものは本焼成時、未残炭分
が多量に揮発するため、焼成キレツ等が発生し高密度な
、セラミックス−炭素複合材料を得ることは難しい。
また天分が1%を越えるものでは、該当セラミックスの
特性が発現せず好ましくない。
特性が発現せず好ましくない。
前記有機物のセラミックス予備焼成体への含浸は、必要
に応じて、加温下で行うが、易含浸性とするため、該当
有機物を有機溶媒等で希釈し、含浸時、20cp以下に
調整しておく方が望ましい。又、予備焼成体の空隙孔表
面を、シランカップリング剤等で処理してもよい。
に応じて、加温下で行うが、易含浸性とするため、該当
有機物を有機溶媒等で希釈し、含浸時、20cp以下に
調整しておく方が望ましい。又、予備焼成体の空隙孔表
面を、シランカップリング剤等で処理してもよい。
前記有機物が含浸されたセラミックス予備焼成体を、必
要に応じて、乾燥、脱バインダー処理を行い、該当セラ
ミックスの焼成温度、非酸化性雰囲気下で常圧、加圧あ
るいは真空下で本焼成を行う。又、本焼成後、用途に応
じて旧P処理を施してもよい。
要に応じて、乾燥、脱バインダー処理を行い、該当セラ
ミックスの焼成温度、非酸化性雰囲気下で常圧、加圧あ
るいは真空下で本焼成を行う。又、本焼成後、用途に応
じて旧P処理を施してもよい。
本発明のセラミックス−炭素複合材料において、セラミ
ックス−炭素の割合は、セラミックス圧粉体の予備焼成
温度、時間の違いによって、その空隙率制御より行うか
、あるいは含浸有機物の残炭率を20%以上任意に選ぶ
ことにより可能である。
ックス−炭素の割合は、セラミックス圧粉体の予備焼成
温度、時間の違いによって、その空隙率制御より行うか
、あるいは含浸有機物の残炭率を20%以上任意に選ぶ
ことにより可能である。
このような本発明の方法により得られたセラミックス−
炭素複合材料は、セラミックス粒子が焼きついた予備焼
成体に有機物を含浸し、更に、本焼成しているため、セ
ラミックス粒子の焼結性も良好で、セラミックス本来の
高強度、高硬度を保ったまま、炭素が焼結体のセラミッ
クス粒子内及び粒界に均一に分散しているので、摺動特
性も、従来セラミックスに較べ格段に優れる。
炭素複合材料は、セラミックス粒子が焼きついた予備焼
成体に有機物を含浸し、更に、本焼成しているため、セ
ラミックス粒子の焼結性も良好で、セラミックス本来の
高強度、高硬度を保ったまま、炭素が焼結体のセラミッ
クス粒子内及び粒界に均一に分散しているので、摺動特
性も、従来セラミックスに較べ格段に優れる。
次に従来法により調製したセラミックス−炭素複合材料
と、本発明法により調製したセラミックス−炭素複合材
料との物性の差異をジルコニア−炭素系を例にとって示
す。
と、本発明法により調製したセラミックス−炭素複合材
料との物性の差異をジルコニア−炭素系を例にとって示
す。
従来法Aは、平均粒径0.1−のイツトリア安定ジルコ
ニア粉末と炭素源として平均粒径0.05−のカーボン
ブラックを炭素複合割合11%になるように混合し、3
0X6Qx7mmの平板状に1000kg/cm”の圧
力で成形し、真空中1400℃で4時間焼結した。従来
法Bは炭素源としてレゾールタイプのフェノール樹脂を
用い、従来法Aと同様に成形、焼成した。本発明法は、
後述実施例1と同等品である。その嵩密度、強度、硬度
、及び相手材に理論密度99%の炭化ケイ素材を選び、
1kgの荷重下、ピンオンディスク法により200rp
mの回転数でその摩擦係数、摩耗量を測定した。その結
果を第1表に示す。
ニア粉末と炭素源として平均粒径0.05−のカーボン
ブラックを炭素複合割合11%になるように混合し、3
0X6Qx7mmの平板状に1000kg/cm”の圧
力で成形し、真空中1400℃で4時間焼結した。従来
法Bは炭素源としてレゾールタイプのフェノール樹脂を
用い、従来法Aと同様に成形、焼成した。本発明法は、
後述実施例1と同等品である。その嵩密度、強度、硬度
、及び相手材に理論密度99%の炭化ケイ素材を選び、
1kgの荷重下、ピンオンディスク法により200rp
mの回転数でその摩擦係数、摩耗量を測定した。その結
果を第1表に示す。
第 1 表
本発明法によって得られたジルコニア−炭素複合材は、
従来法によって得られたものに較べ、高密度で、強度、
硬度、摺動特性にも優れることがわかる。
従来法によって得られたものに較べ、高密度で、強度、
硬度、摺動特性にも優れることがわかる。
以下に本発明の実施例を示し、本発明を更に詳細に説明
する。
する。
実施例1
平均粒径0.1μのイツトリア部分安定化ジルコニア粉
末100重量部に、ポリビニルアルコールを0.2重量
部、ステアリン酸0.1重量部、水100重量部加え、
混合し、スプレードライ粉末を得た。この粉末を金型プ
レス1000kg/cm”の圧力で30X60X7mm
の平板に成形した。この成形体を1100°cx1時間
空気中子備焼成した。得られた予備焼成体は、収縮率2
.1%で、空隙率56%であった。
末100重量部に、ポリビニルアルコールを0.2重量
部、ステアリン酸0.1重量部、水100重量部加え、
混合し、スプレードライ粉末を得た。この粉末を金型プ
レス1000kg/cm”の圧力で30X60X7mm
の平板に成形した。この成形体を1100°cx1時間
空気中子備焼成した。得られた予備焼成体は、収縮率2
.1%で、空隙率56%であった。
本予備焼成体に、残炎率30%、灰分0.02%の□フ
ラン樹脂を常温、真空下で含浸させ、80℃で硬化処理
を行った後、真空中1400”cで4時間焼成した。
ラン樹脂を常温、真空下で含浸させ、80℃で硬化処理
を行った後、真空中1400”cで4時間焼成した。
得られた焼結体の嵩密度は4.5g/ccで、炭素が1
1.2%複合されていた。これを精密加工し、磁気ヘッ
ドスライダ−として使用したところ、相手メディアを傷
つけなく、耐久性も良好であることが確認された。
1.2%複合されていた。これを精密加工し、磁気ヘッ
ドスライダ−として使用したところ、相手メディアを傷
つけなく、耐久性も良好であることが確認された。
実施例2
平均粒径0.3 taのアルミナ100重量部に焼成助
剤として、正炭酸マグネシウム0.05重量部、ポリア
クリル酸ソーダ0.2重量部、水を30重量部加え、ス
ラリー状態とし、50 X 50 X 50mmの形状
に鋳込成形し、乾燥後、1300℃×1時間空気中で、
予備焼成したところ、収縮率7.8%で、空隙率33%
であった。
剤として、正炭酸マグネシウム0.05重量部、ポリア
クリル酸ソーダ0.2重量部、水を30重量部加え、ス
ラリー状態とし、50 X 50 X 50mmの形状
に鋳込成形し、乾燥後、1300℃×1時間空気中で、
予備焼成したところ、収縮率7.8%で、空隙率33%
であった。
本予備焼成体に、残炭率40%、天分0.3%のフェノ
ール樹脂を60℃、加温、真空下で含浸させ、90℃で
硬化処理を行った後、N2雰囲気中、1700℃で4時
間焼成した。
ール樹脂を60℃、加温、真空下で含浸させ、90℃で
硬化処理を行った後、N2雰囲気中、1700℃で4時
間焼成した。
得られた焼結体の嵩密度は3.57g/ccで、炭素が
4.8%複合されていた。
4.8%複合されていた。
本材料を石炭スラリーの流量調整バルブとして使用した
ところ、スラリーのカットオフがスムーズに行え、摺動
特性が良好で、耐摩耗性も良好であった。
ところ、スラリーのカットオフがスムーズに行え、摺動
特性が良好で、耐摩耗性も良好であった。
実施例3
平均粒径0.5 ttmのβ型炭化ケイ素100重量部
に焼結助剤としてB4C,カーボンブラックをそれぞれ
1重量部添加し、混合した後、外径50mmφ、内径4
0IIIIIIφ、厚さ20IIIll+のリング状に
2000kg/cm”の圧力でラバープレスした。
に焼結助剤としてB4C,カーボンブラックをそれぞれ
1重量部添加し、混合した後、外径50mmφ、内径4
0IIIIIIφ、厚さ20IIIll+のリング状に
2000kg/cm”の圧力でラバープレスした。
この成形体を1800℃×1時間真空中で予備焼成した
。得られた予備焼成体は、収縮率4.8%で、空隙率2
8%であった。
。得られた予備焼成体は、収縮率4.8%で、空隙率2
8%であった。
本予備焼成体に、残炭率50%、灰分0.75%のピッ
チを150℃、10気圧下で含浸させ、脱脂した後、A
r雰囲気下、2000℃で2時間本焼成した。
チを150℃、10気圧下で含浸させ、脱脂した後、A
r雰囲気下、2000℃で2時間本焼成した。
得られた焼結体の嵩密度は2.98g/ccで、炭素が
3.5%複合されていた。本材料をころがり軸受のりテ
ーナーに精密加工し、使用したところ、無潤滑で長時間
の耐久性を示した。
3.5%複合されていた。本材料をころがり軸受のりテ
ーナーに精密加工し、使用したところ、無潤滑で長時間
の耐久性を示した。
実施例4
平均粒径2I!mの硼化ジルコニウム100重量部に焼
結助剤としてB、Cを15重量部添加し、混合した後、
外径30n+mφ、厚さ15R11Dの円板状にラバー
プレスし、1650℃×1時間真空中で予備焼成した。
結助剤としてB、Cを15重量部添加し、混合した後、
外径30n+mφ、厚さ15R11Dの円板状にラバー
プレスし、1650℃×1時間真空中で予備焼成した。
得られた予備焼成体は、収縮率2.1%で、空隙率41
%であった。
%であった。
本予備焼成体に、残炭率22%、灰分0.5%のタール
を100℃、2気圧下で含浸させ、脱脂した後、計容囲
気下1800℃で2時間本焼成した。
を100℃、2気圧下で含浸させ、脱脂した後、計容囲
気下1800℃で2時間本焼成した。
得られた焼結体の嵩密度は5.11g/ccで、炭素が
4.8%含有されていた。
4.8%含有されていた。
本材料を加工し、鋼線の線引きダイスに適用したところ
、鋼線の焼きつき、傷発生もなく、長時間の耐久性を示
した。
、鋼線の焼きつき、傷発生もなく、長時間の耐久性を示
した。
実施例5
実施例1に示すジルコニア粉末を外径60mmφ、内径
50mmφ、厚さ5mmに金型プレスし、1300 ’
C×1時間、空気中で予備焼成した。得られた予備焼成
体は収縮率9.1%で、空隙率17%であった。
50mmφ、厚さ5mmに金型プレスし、1300 ’
C×1時間、空気中で予備焼成した。得られた予備焼成
体は収縮率9.1%で、空隙率17%であった。
本予備焼成体に、残炭率55%、灰分0.1%のフラン
樹脂を常温5気圧下で含浸させ、80’Cで硬化処理し
た後、計容囲気中15oo℃で2時間本焼成を行った。
樹脂を常温5気圧下で含浸させ、80’Cで硬化処理し
た後、計容囲気中15oo℃で2時間本焼成を行った。
得られた焼結体の嵩密度は5.4g/ccで炭素が1.
5%複合されていた。本材料を加工し、撚糸リングとし
て使用したところ、従来のジルコニア単味のものに較べ
、低摩擦、高耐久性を示した。
5%複合されていた。本材料を加工し、撚糸リングとし
て使用したところ、従来のジルコニア単味のものに較べ
、低摩擦、高耐久性を示した。
実施例6
実施例3に示す炭化ケイ素及び焼結助剤を混合した後、
外径100n+mφ、内径85mmφ、厚み7mmに2
000kg/cm”の圧力でラバープレスした後・17
00℃×1時間、真空中で予備焼成した。得られた予備
焼成体は収縮率0.5%で、空隙率55%であった。
外径100n+mφ、内径85mmφ、厚み7mmに2
000kg/cm”の圧力でラバープレスした後・17
00℃×1時間、真空中で予備焼成した。得られた予備
焼成体は収縮率0.5%で、空隙率55%であった。
本予備焼成体に、残炭率45%、天分0.3%のフェノ
ール樹脂を常温、真空下で含浸させ、2050℃×2時
間、Ar雰囲気下で本焼成した。
ール樹脂を常温、真空下で含浸させ、2050℃×2時
間、Ar雰囲気下で本焼成した。
得られた焼結体の嵩密度は2.67g/ccで炭素が1
6.8%複合されていた。
6.8%複合されていた。
本材料をメカニカルシールに適用したところ、従来材料
に較べ、シール性も良好で長時間の耐久性を示した。
に較べ、シール性も良好で長時間の耐久性を示した。
以上述べた如く、本発明により製造されたセラミックス
−炭素系複合材料は、セラミックス圧粉体を予備焼成し
た後、有機物を含浸して本焼成するため、セラミックス
が強固に結合されており、炭素の分散状態も良好である
ことから、高密度で、セラミックス本来の高強度、高硬
度を保ったまま、摺動特性に優れる材料である。
−炭素系複合材料は、セラミックス圧粉体を予備焼成し
た後、有機物を含浸して本焼成するため、セラミックス
が強固に結合されており、炭素の分散状態も良好である
ことから、高密度で、セラミックス本来の高強度、高硬
度を保ったまま、摺動特性に優れる材料である。
それ故、ころがり軸受のボール、リテーナ−、メカニカ
ルシール、磁気ヘッドスライダ−等、すべての摺動部材
として、極めて好適な材料である。そのため、装置の耐
久性、信幀性を著しく向上させることができ、本発明の
セラミックス−炭素複合材料の製造方法は産業上有用で
ある。
ルシール、磁気ヘッドスライダ−等、すべての摺動部材
として、極めて好適な材料である。そのため、装置の耐
久性、信幀性を著しく向上させることができ、本発明の
セラミックス−炭素複合材料の製造方法は産業上有用で
ある。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、セラミックス圧粉体を焼成収縮率0.1〜10%で
予備焼成した後、その予備焼成体の空隙に、残炭率20
%以上、灰分1%以下の有機物を含浸し、非酸化性雰囲
気で、該当セラミックスの焼成温度で、本焼成すること
を特徴とするセラミックス−炭素複合材料の製造方法。 2、前記セラミックス圧粉体が、酸化物、炭化物、硼化
物、窒化物の1種あるいは2種以上と、該当セラミック
スの焼結助剤とから構成されている特許請求の範囲第1
項記載のセラミックス−炭素複合材料の製造方法。 3、前記有機物が、ピッチ、タール、フェノール樹脂、
フラン樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂から選ばれるも
のである特許請求の範囲第1項又は第2項記載のセラミ
ックス−炭素複合材料の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62077028A JPH075403B2 (ja) | 1987-03-30 | 1987-03-30 | セラミツクス−炭素複合材料の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62077028A JPH075403B2 (ja) | 1987-03-30 | 1987-03-30 | セラミツクス−炭素複合材料の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63242982A true JPS63242982A (ja) | 1988-10-07 |
JPH075403B2 JPH075403B2 (ja) | 1995-01-25 |
Family
ID=13622291
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62077028A Expired - Lifetime JPH075403B2 (ja) | 1987-03-30 | 1987-03-30 | セラミツクス−炭素複合材料の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH075403B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0369575A (ja) * | 1989-08-07 | 1991-03-25 | Shinagawa Refract Co Ltd | カーボン又は活性炭担持セラミックスの製造方法 |
JP2013159818A (ja) * | 2012-02-03 | 2013-08-19 | Eagle Industry Co Ltd | 放電表面処理用電極及び放電表面処理用電極の製造方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60191077A (ja) * | 1984-03-07 | 1985-09-28 | 太陽誘電株式会社 | 焼成成形品の製造方法 |
-
1987
- 1987-03-30 JP JP62077028A patent/JPH075403B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60191077A (ja) * | 1984-03-07 | 1985-09-28 | 太陽誘電株式会社 | 焼成成形品の製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0369575A (ja) * | 1989-08-07 | 1991-03-25 | Shinagawa Refract Co Ltd | カーボン又は活性炭担持セラミックスの製造方法 |
JP2013159818A (ja) * | 2012-02-03 | 2013-08-19 | Eagle Industry Co Ltd | 放電表面処理用電極及び放電表面処理用電極の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH075403B2 (ja) | 1995-01-25 |
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