JPS63242601A - グリ−ンシ−トの製法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　要〕 剥離剤を塗布していないキャリヤテープ上にグリーンシ
ートを成形し、好ましくは乾燥雰囲気中で、冷却して結
合剤を硬化させた後に、キャリヤテープから剥離する。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、多層配線回路基板の製造に適するグリーンシ
ートの製法に関する。

〔従来の技術〕

コンピュータに使用する多層セラミック基板は、回路パ
ターンを設けたグリーンシートを積層して焼結する。グ
リーンシートは、キャリヤテープにシリコーンなどの剥
離剤を塗布した上に成形して剥離する。このときグリー
ンシートに剥離剤が付着するので、積層して焼結した基
板に不純物として残留する。

〔発明が解決しようとする問題点〕

キャリヤテープに剥離剤を塗布しないと、この上に成形
したグリーンシートを剥離することができない。

〔問題点を解決するための手段〕

上記問題点は、セラミック成分と有機成分とを含むスラ
リーをキャリヤテープ上に成形し、乾燥して溶剤を飛散
させてグリーンシートを形成し、これをキャリヤテープ
から剥離するグリーンシートの製法において、キャリヤ
テープに剥離剤を塗布せず、かつグリーンシートを冷却
して結合剤を硬化させた後に、キャリヤテープから剥離
することを特徴とする、グリーンシートの製造方法によ
って解決することができる。

なお、硬化させるには、乾燥雰囲気中で冷却することが
好ましい。

〔実施例〕

１隻斑 次表に重量部で示す組成のスラリーを調製した。

第１図に示すように、マイラーシート１とドクターブレ
ード２との間隙を３００μｍとし、マイラーシート１を
２．５ｍ／ｗｉｎで移動させて上記組成のスラリー２を
引き出し、乾燥ゾーンでスラリー中の溶剤を飛散させて
、厚み１００μｍ、幅２２Ｇのグリーンシート４とし、
次に一２０℃に冷却した冷却ブレード５上を通過させた
後に、マイラーシート１を剥離した。なおこの冷却ゾー
ンはグリーンシート上に霜が降りるのを防止するために
乾燥雰囲気とした。終りに、加熱ゾーンで、グリーンシ
ートを常温まで温めてロールに巻き取った。

北較■ 冷却ゾーンの温度を２２℃としたことの他は、実施例と
同様にしてグリーンシートを作製しようとしたが、剥離
することができなかった。

〔発明の効果〕

不純物の混入しないグリーンシートをキャリヤシートか
ら容易に剥離することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の方法を実施する装置の１例の説明図で
ある。 １・・・キャリヤシート、　　２・・・ドクターブレー
ド、３・・・スラリー、　　　　　４・・・グリーンシ
ート、５・・・冷却ブレード。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、セラミック成分と有機成分とを含むスラリーをキャ
   リヤテープ上に成形し、乾燥して溶剤を飛散させてグリ
   ーンシートを形成し、これをキャリヤテープから剥離す
   るグリーンシートの製法において、キャリヤテープに剥
   離剤を塗布せず、かつグリーンシートを冷却して結合剤
   を硬化させた後に、キャリヤテープから剥離することを
   特徴とする、グリーンシートの製造方法。 ２、乾燥雰囲気中でグリーンシートを冷却する、特許請
   求の範囲第１項記載の方法。