JPS63240983A - 角形ワ−クの洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野Ｊ 本発明は、フォトマスクなどの角形のワークを洗浄する
ための角形ワークの洗浄装置に関するものである。

［従来の技術］ 多数のディスク形のワークを同時に洗浄できる洗浄装置
として、例えば、実開昭６１−７６５１５号公報に記載
されたものが公知である。これは、キャリヤに一定間隔
で多数のワークを収容しておき、これらのワークを、そ
の側面に当接する駆動ローラで回転させながら隣接する
ワーク間に挿入した多数の回転ブラシによって洗浄する
ようにしたものである。

しかしながら、上記従来の洗浄装置は、磁気ディスク基
板のような円板形のワークの洗浄には適しているが、フ
ォトマスクのような角形のワークの洗浄には適していな
い。即ち、角形のワークの場合には、その周囲に角があ
るため、円板形のワークのように側面に駆動ローラを当
接させて回転させることができず、それを一定の向きに
支持させた状態で洗浄せざるをえない。そのため、ワー
クの表裏面及び周側面を残らず均一に洗浄するのは非常
に困難であり、洗浄むらや洗浄もれを生じ易いという理
由からである。

従って、このような角形のワークの洗浄は、１枚ずつ手
作業で行っているのが実情である。

［発明が解決しようとする問題点］ 本発明の課題は、複数の角形のワークを同時に、しかも
洗浄むらや洗浄もれを生じることなく、その全面を均−
且つ確実に洗浄することのできる洗浄装置を提供するこ
とにある。

【問題点を解決するための手段１ 上記課題を解決するため、本発明の洗浄装置ｄは、複数
の角形ワークを一定間隔で支持する支持手段と、該支持
手段に支持されたワークを挟んで相対向する位置に配設
され、各ワークの表裏面及び側面をそれぞれ一半部ずつ
洗浄する２組のブラシ機構と、上記支持手段に支持され
たワークを上下動させる昇降機構とを備え、上記ブラシ
機構は、複数の回転ブラシを上記昇降機構に連動して逆
転駆動されるブラシ軸に一定間隔で取り付け、該ブラシ
軸を、回転ブラシがワーク間へ挿入する洗浄位置と回転
ブラシがワークから離間する待機位置とに変移可能に支
持させてなることを特徴とするものである。

［作　用］ 多数のワークを収容したキャリヤが載置台上にａ首され
ると、一方のブラシ機構における回転ブラシが一方向に
駆動され、ブラシアームが洗浄位置に前進する。続いて
、昇降機構の動作によりワークがゆっくりと上昇せしめ
られ、上記各回転ブラシによって各ワークの一半部側の
表裏面と上側面及び前側面とが洗浄される。

ワークが上昇端に達したところで回転ブラシの回転方向
が逆転し、上記工程で洗浄されなかったワークの下側面
が洗浄される。

上記洗浄が終ると、ブラシ機構が待機位置に後退すると
共に、回転ブラシが停止し、さらに、昇降機構が原位置
に復帰してワークもはじめの位置まで下降する。

続いて、他方のブラシ機構及び昇降機構が動作し、上述
した場合と同様の工程が繰り返されること罐より、ワー
クの反対側の半部における表裏面、上側面、前側面、下
側面が洗浄される。

〔実施例１ 以下１本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。

第１図及び第２図において、１は洗浄槽を示しており、
この洗浄槽１の内部には、キャリヤ２の底面に対応する
部分が開口するキャリヤ用載置台３が設けられ、該載置
台３上に上記キャリヤ２が取り出し自在に載置されると
共に、該キャリヤ２内に複数のワーク４が一定間隔で縦
向きに収容されており、これらのキャリヤ２と載置台３
とでワー・り４の支持手段が構成されている。

上記キャリヤ２は、搬送用の把手８を備えた一対の端板
７，７間に、複数の溝９ａを一定間隔で備えた２木のワ
ーク支持棒９と、端板７，７の左右雨下端部に位置する
２本のローラ１抽用取付棒１０とを架設し、これらの取
付棒ｌＯに上記各溝９ａと対応する複数のローラＩ柚１
１をそれぞれ立設すると共に、各ローラ＠Ｉ’ｌｌに複
数の溝付きローラ１２をそれぞれ回転自在に取り付けた
もので、これらの支持棒９と溝付きローラ１２とによっ
てワーク４を支持するように構成されており、上記溝付
きローラ１２の案内により各７−ク４が上下動できるよ
うにもなっている。

上記キャリヤ２を載置台３の定位値に保持させるため、
洗浄槽１の内部には、キャリヤ２の一方の端板７か当接
するストッパ１５が・載置台３上に設けられ、キャリヤ
２を挟んで該ストッパ１５とは反対側の槽壁には、該キ
ャリヤ２を上記ストッパ１５に押し付けるための固定機
構１６が設けられており、これら、のストッパ１５と固
定機構１６とによってキャリヤ２の長手方向への変移が
防止されるようになっている。上記固定機構１６は、横
方向に並設されて槽外で互いに連結一体化された２木の
押棒１７．１７と、これらの押棒１７．１７を駆動する
シリンダ１８とによって構成され、上記押棒１７，１７
の尖端１７ａ、１７ａが端板７の穴内に嵌合した状態で
キャリヤ２を押圧するようになっている。一方、キャリ
ヤ２の横方向の変移は、端板７，７の外面に設けられた
係止棒１９と、載置台３に設（すられた谷形の窪み２０
ａを有する係止片２０との係合によって防止されるよう
になっている。

また、上記洗浄槽１の内部には、キャリヤ２に支持され
たワーク４を挟んで相対向する位置に各ワーク４の左右
−半部ずつを交互に洗浄する第１、第２の２組のブラシ
機構２３ａ、２３ｂが配設されると共に、上記ｉｖ！ｉ
、ｍ台３の下部に、キャリヤ２に支持されたワーク４を
上下動させる第１．第２の２．１！ｉの昇降機構２４ａ
、２４ｂにおけるワーク持上げプレート２５．２５が配
設されている。

上記２組のブラシ機構２３ａ、２３ｂは、互いに同じ構
成を有している。即ち１円板２７ａの両側面にスポンジ
などの摺擦片２７ｂを多数突設してなる複数の回転ブラ
シ２７を備え、これらの回転ブラシ２７を上記ワーク４
の配列間隔と同じ間隔でブラシ軸２９に取り付け、該ブ
ラシ軸２９を、ブラシアーム２８の先端に回転自在に取
り付けると共に該ブラシアーム２８上の可逆モータ３０
に連結し、さらに、該ブラシアーム２８の基端部を軸３
１により回動可能に枢支　。

せしめた構成を有しており、これら２組のブラシ機構２
３ａ、２３ｂにおけるブラシアーム２８，２８は１図示
しない駆動源により、回転ブラシ２７がワーク４間へ挿
入される洗浄位置（ｉ２図の鎖線位置）と、回転ブラシ
２７がワーク４から離間する待機位置（第２図の実線位
置）とに交互に回動されるようになっている。

ここで、上記洗浄位置において回転ブラシ２７がワーク
４間へ挿入される距離は、該回転ブラシ２７の先端が少
なくともワーク４の中央部に達するような大きさに設定
されており、その状態で回転ブラシ２７の摺擦片２７ｂ
により、該回転ブラシ２７の両側に位置するワーク４の
一半部の表裏面と側面とが洗浄されるようになっている
。

また、上記ワーク４を上下動させる２、１の昇降機構２
４ａ、２４ｂは１次に述べるように互いに同じ構成を有
している。即ち、ワーク４の下端が嵌合する多数の溝２
５ａを上面に備えた上記持上げプレート２５を、洗浄槽
ｌの底壁に上下動自在に支持された一対の摺動Ｍ３３，
３３の上端に取り付け、該摺動軸３３，３３の下端を連
結板３４により連結一体化すると共に、該連結板３４に
ナツト３５を固定し、該ナツト３５を洗浄槽１と一体の
支持枠３７に回転自在に支持されたポールねじ３６に螺
合させ、該ポールねじ３６を、プーリ３６ａに巻き掛け
られたタイミングベルト３９を介してモータ３８で駆′
動するように構成されている。そして、これらの昇降機
構２４ａ、２４ｂは、それぞれの持上げプレート２５．
２５がワーク４の両側端部寄りに位置するように配設さ
れ、上記いずれかのブラシ機構２３ａ、２３ｂが動作し
ているとき、そのブラシ機構２３ａ　、２３ｂから離れ
た方の昇降機構２４ａ、２４ｂが動作してワーク４を持
上げるように構成されており、これによって、回転ブラ
シ２７と持上げプレート２５．２５が位置競合を生じな
いようになっている。

なお、上記昇降機構２４ａ、２４ｂは、シリンダにより
摺動１ｉｄｉＧ３．３３を上下動させるように構成する
こともできる。

さらに、上記洗浄槽ｌ内には、上昇したワーク４を押え
る棒状のワーク押え４０と、水や洗剤等の洗浄液を噴出
させる複数のノズル４１とが配設されており、上記ワー
ク押え４０は、シリンダ等のＷＡ動千手段連結され、上
昇したワーク４の上面に当接する押え位置（第２図鎖線
位置）と、ワーク４から離間する待機位置（第２図実線
位置）とに回動可能となっている。このワーク押え４０
は、ワーク４が第２図の鎖線位置まで上昇して回転ブラ
シ２７の回転方向が第３図の矢印す方向に逆転したとき
に、各ワーク４がこの回転ブラシ２７によって持上げら
れるのを防止するためのものである。

上記構成を有する洗浄装置において、多数のワーク４を
収容したキャリヤ２が載置台３上に載置されると、該キ
ャリヤ２は、固定機構１６におけるシリンダ１８の動作
により押棒１７．１７とストッパ１５との間に挟持固定
され、同時に、端板７，７の外面に設けられた係止棒１
９と洗浄槽ｌ側に設けられた係止片２０との係合によっ
て横方向の変移が防止される。

次に、第１ブラシ機構２３ａにおける回転ブラシ２７が
モータ３０により第２図の矢印ａ方向に駆動され、ブラ
シアーム２８が同図に鎖線で示す洗浄位置に前進するａ
ｈＧいて、第３図に示すように、第１昇降機構２４ａが
動作し、モータ３８による持上げプレート２５の上昇に
よってワーク４がゆっくりと上昇せしめられ、上記各回
転ブラシ２７によってその両側に位置するワーク４の一
半部の表裏面と上側面及び前側面とが洗浄される。この
とき、ワーク４の上昇開始と同時にワーク押え４ｏが動
作して押え位ｍに前進しており、上昇するワーク４がこ
のワーク押え４０に当接したところでその上昇が停止す
ると共に、回転ブラシ２７の回転方向がｂ方向に逆転し
、上記工程で洗浄されなかったワーク４の下側面が洗浄
される。

上記洗浄が終了すると、第１ブラシ機構２３ａが第２図
の実線の待機位置に後退し、回転ブラシ２７が停止する
。同時に、第１昇降機構２４ａ及びワーク押え４０が原
位置に復帰し、ワーク４もはじめの位置まで下降する・ 次に、第２ブラシ機構２３ｂ及び第２昇降機構２４ｂが
動作し、上述した場合と同様の工程が繰り返されること
により、ワーク４の反対側の半部における表裏面、上側
面、前側面、下側面が洗浄される。

ノズル４１からの洗浄液は、上記洗浄工程中連続的に供
給されているが、ブラシ機構２３ａ、２３ｂの動作に連
動して必要なときのみに供給されるようにしてもよい。

上記実施例では、第１ブラシ機構２３ａによってワーク
４の一半部側を洗浄したあと、第１ブラシ機構２３ａ及
び第１昇降機構２４ａを復帰させ、続いて、第２ブラシ
機構２３ｂ及び第２昇降機構２４ｂによって全く同じ動
作を綴り返させるようにしているが、第１ブラシ機構２
３ａによる洗浄が終了して該第１ブラシ機構２３ａを復
帰させたあと、第１昇降機構２４ａをそのままにして第
２昇降機構２４ｂを動作させ、該第２昇降機構２４ｂで
ワーク４を上昇位置に保持させたまま、第１昇降機構２
４ａ　ｔ−復帰させると共に第２ブラシ機構２３ｂを動
作させ、その状態でワーク４の下側面を洗浄したあと、
ワーク４を下降させてその表裏面、前側面、上側面を洗
浄するようにしてもよい。

なお、上記一連の動作は、マイクロコンピュータ等の制
御装訝によって自動的に行われることは言うまでもない
。

また、上記洗浄装置は、それを独立する装置として構成
してもよいが、ワークの製造ライン中や多槽式洗浄装置
などにその一部として組み込むこともできる。

［発明の効果］ このように本発明によれば、ワークの両側に位置する２
組のブラシ手段と、該ワークを昇降させる昇降手段とに
よって、角形のワークを一半部ずつ交力４に洗浄するよ
うにしたので、多数の角形ワークを同時にしかも洗浄む
らや洗浄もれを生じることなく、その全面を均−且つ確
実に洗浄することができる

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す部分省略縦断正面図、
第２図はそのＡ−Ａ線での部分省略断面図、第３図は動
作状態での要部拡大図である。 ２・・キャリヤ、　　３φ・載置台、 ４　・・ワーク、 ２３ａ、２３ｂ　１１−ブラシ機構、 ２４ａ、２４ｂ　＊　ｅ昇降機構、 ２７・拳回転ブラシ、　２９８・ブラシ軸。 第１ａ ３′　　即

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、複数の角形ワークを一定間隔で支持する支持手段と
   、該支持手段に支持されたワークを挟んで相対向する位
   置に配設され、各ワークの表裏面及び側面をそれぞれ一
   半部ずつ洗浄する２組のブラシ機構と、上記支持手段に
   支持されたワークを上下動させる昇降機構とを備え、上
   記ブラシ機構は、複数の回転ブラシを上記昇降機構に連
   動して逆転駆動されるブラシ軸に一定間隔で取り付け、
   該ブラシ軸を、回転ブラシがワーク間へ挿入する洗浄位
   置と回転ブラシがワークから離間する待機位置とに変移
   可能に支持させてなることを特徴とする角形ワークの洗
   浄装置。