JP4361618B2 - 洗浄装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は被洗浄物の上下両面を同時に洗浄するための洗浄装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
たとえば半導体装置の製造工程においては、被洗浄物としての半導体ウエハを高い清浄度で洗浄することが要求される工程がある。このような半導体ウエハを洗浄する方式としては、洗浄液中に複数枚の半導体ウエハを浸漬するデイップ方式や半導体ウエハに向けて洗浄液を噴射して一枚ずつ洗浄する枚葉方式があり、最近では高い清浄度が得られるとともに、少ロッドなどではコスト的に有利な枚葉方式が採用されることが多くなってきている。
【0003】
枚葉方式の1つとしてロ−ルブラシやペンシルブラシを用いて上記半導体ウエハを洗浄する洗浄装置が知られている。その場合、上記ロ−ルブラシやペンシルブラシを回転させるだけでなく、半導体ウエハも回転させることで、上記各ブラシを半導体ウエハにむらなく接触させて洗浄効果を高めるということが行われている。
【0004】
一方、半導体ウエハを洗浄する場合、回路パタ−ンが形成される上面だけでなく、下面も洗浄し、半導体ウエハを搬送したり、カセットに格納された状態などで、他の半導体ウエハにパ−ティクルが転移するのを防止するということが行われている。
【0005】
従来、ロ−ルブラシを用いて半導体ウエハの上下面を同時に洗浄するということは行われていた。その場合、半導体ウエハを保持機構によって回転駆動できるように保持するとともに、この保持機構に保持された半導体ウエハの上面側と下面側に、それぞれ回転駆動されるロ−ルブラシを軸線が上記半導体ウエハの板面と平行になるよう配置し、各ロ−ルブラシを上記半導体ウエハの上下両面に接触させることで洗浄するようにしている。
【0006】
しかしながら、このような洗浄方式によると、半導体ウエハの板面に対してロ−ルブラシを線接触させて洗浄するようにしている。そのため、ロ−ルブラシの寸法精度やロ−ルブラシと半導体ウエハの板面との平行度が高精度に設定されていないと、上記ロ−ルブラシが軸方向全長にわたって半導体ウエハの板面に均一に接触しないため、洗浄むらが生じるということがあった。
【0007】
しかも、ブラシ洗浄の前工程あるいは後工程で、保持機構に保持された半導体ウエハを薬液処理したい場合がある。そのような場合、上述した構成ではロ−ルブラシを保持機構に保持された半導体ウエハの板面に対して上下方向だけにしか退避させることができないから、そのロ−ルブラシに薬液が付着することが避けられない。
【0008】
したがって、ロ−ルブラシには耐薬品性を備えた材料だけしか使用できなくなるから、そのような材料の選択が難しく、たとえば洗浄用として好適するPVA(ポリビニ−ルアルコ−ル)などの材料は薬品の種類によっては使用できないことがあり、不便である。
【0009】
洗浄むらをなくすために、ロ−ルブラシに代わりペンシルブラシを半導体ウエハの径方向に旋回させて洗浄するという洗浄方式が開発されている。その場合、上記ペンシルブラシは旋回ア−ムの先端に設け、この旋回ア−ムを旋回および上下運動させることで保持機構に保持されて回転駆動される半導体ウエハを洗浄するようにしている。保持機構としては複数本の支持軸や円筒体が用いられ、これらの上端部に上記半導体ウエハが周縁部を係合させて支持される。
【0010】
このような構成によれば、ペンシルブラシは半導体ウエハに面接触するから、ロ−ルブラシに比べて均一な洗浄を行うことができる。しかしながら、旋回ア−ムを旋回させる構成上、保持機構に保持された半導体ウエハの上面側には旋回ア−ムを旋回可能に設けることができても、下面側は保持機構があるため、旋回ア−ムを半導体ウエハの径方向に沿って旋回可能に設けることができない。
【0011】
そのため、ペンシルブラシを用いた洗浄方式においては、半導体ウエハの上下両面を同時に洗浄することができないから、両面洗浄を行う場合には一方の面を洗浄してから半導体ウエハを反転させ、ついで他方の面を洗浄しなければならなず、洗浄に多くの時間がかかるということがあるばかりか、半導体ウエハを反転させる装置が必要になるなどのことがある。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
このように、従来は、ロ−ルブラシやペンシルブラシによって被洗浄物の上下両面を同時に、しかもむらなく均一に洗浄することができないということがあった。
この発明は、ペンシルブラシを用いて被洗浄物の上下両面を同時に、しかもむらなく均一に洗浄できるようにした洗浄装置を提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】
請求項1の発明は、被洗浄物の上下両面を同時に洗浄するための洗浄装置において、
上記被洗浄物の周縁部を保持するとともにこの被洗浄物を回転駆動する保持機構と、
この保持機構に保持された被洗浄物の上下両面にそれぞれ対向して配置された一対のペンシルブラシと、
このペンシルブラシを回転駆動するとともに上記被洗浄物の板面に対して接離する上下方向および径方向中心部から外方に向かって駆動する駆動機構と、
上記被洗浄物と上記ペンシルブラシとが接触する部分に洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、
上記保持機構による上記被洗浄物の保持状態を解除する解除機構とを具備し、
上記保持機構は、
接離方向にスライド自在に設けられ接近方向に弾性的に付勢された一対の可動部材と、
各可動部材にそれぞれ軸線をほぼ垂直にして回転自在に支持された複数の保持軸と、
各保持軸の上端部に取付けられ外周面に上記被洗浄物の周縁部に係合する係合溝が形成された保持ロ−ラと、
上記可動部材の下面側に配置され上記保持軸を回転駆動することで上記保持ロ−ラを介して上記被洗浄物を回転させる保持軸駆動手段とを具備し、
上記解除機構は、
接近方向に弾性的に付勢された一対の上記可動部材を、その付勢力に抗して離反する方向に駆動する解除駆動手段からなることを特徴とする。
【0016】
請求項2の発明は、請求項1の発明において、上記駆動機構は、
上記保持機構の上面側と下面側に配置されそれぞれ上記ペンシルブラシを回転自在に支持した一対のヘッドと、
各ヘッドに回転自在に設けられたペンシルブラシをそれぞれ回転駆動するブラシ回転手段と、
上記保持機構から外れた位置で、上記被洗浄物の径方向に沿って配置されたガイド体と、
このガイド体にスライド自在に設けられ上記上面側のヘッドが上下方向に移動自在に設けられた上部可動体と、
この上部可動体に連結され上記下面側のヘッドが上下方向に移動自在に設けられた下部可動体と、
上記上部可動体を上記ガイド体に沿って往復駆動する往復駆動手段と、
各可動体に設けられたそれぞれのヘッドをこれら可動体の往復動に応じて上下方向に駆動し各ヘッドに設けられたペンシルブラシを上記保持機構に保持された被洗浄物に接離させる上下駆動手段とを具備したことを特徴とする。
【0017】
請求項3の発明は、請求項2の発明において、上部可動体に設けられた上側のヘッドは、上部位置調整手段によって下降位置が調整され、下部可動体に設けられた下側のヘッドは下部位置調整手段によって上昇位置が調整されることを特徴とする。
【0018】
請求項4の発明は、請求項1の発明において、上記保持機構と駆動機構との間には、上記ペンシルブラシが上記保持機構に保持された被洗浄物の径方向外方に退避したときに、上記ペンシルブラシと上記保持機構とを遮断するシャッタが設けられていることを特徴とする。
【0025】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の一実施の形態を図面を参照して説明する。
この発明の洗浄装置は、図1と図2に示すように架台1を備えている。この架台1の上面にはベ−ス板2が設けられ、このベ−ス板2上には箱型状の洗浄槽3が配設されている。
【0026】
上記洗浄槽3内部の長手方向一端部側には被洗浄物としての半導体ウエハUを保持して回転駆動する保持機構4が設けられている。この保持機構4は下面側に上記洗浄槽3の幅方向に対して分割された一対の板状の可動部材5を有する。この可動部材5の上面には係合溝6が形成され、この係合溝6は上記ベ−ス板2の下面に上記洗浄槽3の幅方向に沿って設けられたガイド部材7にスライド自在に係合している。したがって、一対の可動部材5は洗浄槽3の幅方向に沿って移動可能となっている。一対の可動部材5の両端部はばね8によって連結され、互いに接近する方向に付勢されている。
【0027】
各可動部材5にはそれぞれ3本の支持円筒11が立設されている。各支持円筒11は上記ベ−ス板2と上記洗浄槽3の底部に、洗浄槽3の幅方向に沿って長く形成された長孔2a、3aから上記洗浄槽3内に突出している。
【0028】
各支持円筒11には保持軸12が回転自在に支持されている。各保持軸12の上端部には外周面にV字状の係合溝13aが形成された保持ロ−ラ13が嵌着されていて、これら保持ロ−ラ13の係合溝13aに周縁部を係合させて上記半導体ウエハUが保持されている。
【0029】
上記一対の可動部材5は解除機構を構成する一対の解除シリンダ115によって上記ばね8の付勢力に抗して離反する方向に駆動されるようになっている。つまり、図1と図2に示すように、上記ベ−ス板2の下面の一対の可動部材5の端面間には一対の取付部材116が垂設され、各取付部材116にはそれぞれ解除シリンダ115が取付けられている。
各解除シリンダ115のロッド115aの先端は各可動部材5から垂設された作動部材117に当接している。したがって、一対の解除シリンダ115のロッド115aを突出方向に駆動すれば、作動部材117が押圧されて一対の可動部材5がばね8の付勢力に抗して図2に矢印Xで示す離反する方向に駆動されることになる。
【0030】
一対の可動部材5を離反させれば、各可動部材5に設けられたそれぞれ3本の保持軸12も離反する方向にスライドするから、各保持軸12の保持ロ−ラ13による半導体ウエハUの保持状態を解除することができる。逆に、上記解除シリンダ115のロッド115aを没入方向に駆動すれば、一対の可動部材5がばね8の復元力によって接近方向に駆動されるから、各保持軸12の保持ロ−ラ13によって半導体ウエハUを保持することができるようになっている。
【0031】
図1に示すように、上記支持円筒11の洗浄槽3内に突出した上部には上記洗浄槽3の底部に形成された長孔3aを覆う下部カバ−14が固着され、上記保持軸12には上記支持円筒11の上端面および下部カバ−14の外周面を覆う上部カバ−15が固着されている。したがって、後述するごとく洗浄槽3内で飛散する洗浄液や薬液が上記保持軸12を伝わって長孔3aから洗浄槽3の外部に漏れるのが防止されている。
【0032】
上記各可動部材5の下面側に突出した上記保持軸12の下端部にはそれぞれ従動プ−リ16が嵌着されている。洗浄槽3の長手方向一端に位置する保持軸12(図1における左端)には1つの従動プ−リ16が嵌着され、他の2つの保持軸12には2つの従動プ−リ16が嵌着されている。
【0033】
一対の可動部材5のそれぞれ3本の保持軸12に設けられた従動プ−リ16には、図1に示すように各3本の保持軸12が連動して回転するようベルト17aが順次掛け渡されている。
【0034】
洗浄槽3の長手方向中途部の下面側には駆動モ−タ18が配設されている。この駆動モ−タ18の駆動軸18aには一対の駆動プ−リ19が嵌着されている。一方の駆動プ−リ19と一方の可動部材5の右端の保持軸12に設けられた従動プ−リ16とにはベルト17bが張設され、同様に、他方の駆動プ−リ19と他方の可動部材5の右端の保持軸12に設けられた従動プ−リ16とにはベルト17bが張設されている。
【0035】
したがって、上記駆動モ−タ18が作動して駆動軸18aが回転駆動されれば、一対の可動部材5に支持されたそれぞれれ3本の保持軸12が同方向に回転駆動されることになる。それによって、各保持軸12の上端部に設けられた保持ロ−ラ13の係合溝13aに周縁部が係合保持された半導体ウエハUが上記係合溝13aとの摩擦抵抗によって回転駆動されることになる。
【0036】
上記洗浄槽3の長手方向一端面には開閉シャッタ3bによって開閉される供給排出口3cが形成され、この供給排出口3cから未洗浄の半導体ウエハUが供給され、洗浄済み半導体ウエハUが排出されるようになっている。
【0037】
なお、半導体ウエハUは周縁部がV字状の係合溝13aに係合保持されていることで、上下方向にがた付くのが防止されている。
上記保持機構4に供給保持された半導体ウエハUの上面側にはPVAなどによってディスク状に成形された上部ペンシルブラシ21が配設され、下面側には同じく下部ペンシルブラシ22が配設されている。各ペンシルブラシ21、22はそれぞれ上部ホルダ23と下部ホルダ24との端面に取着されている。
【0038】
なお、各ペンシルブラシ21、22は外径寸法に制限を受けるものでない。つまり、ペンシル状の小径なものであってもよく、ディスク状の大径なものであってもよい。
【0039】
上部ホルダ23は箱型状の上部ヘッド25に回転自在に支持されている。この上部ヘッド25内には上部駆動モ−タ26が内蔵されている。この上部駆動モ−タ26の駆動軸26aには第1の歯車27が嵌着され、この第1の歯車27は上記上部ホルダ23の上端に設けられた第2の歯車28に噛合されている。したがって、上記駆動モ−タ26が作動することで、上記上部ホルダ23とともに上部ペンシルブラシ21が回転駆動されるようになっている。
【0040】
上記下部ホルダ24は箱型状の下部ヘッド31に回転自在に支持され、この下部ヘッド31内に位置する下端部には第3の歯車32が嵌着されている。下部ヘッド31内には軸受33が設けられ、この軸受33には軸線をほぼ水平にした従動軸34の一端部が回転自在に支持されている。上記軸受33から突出した従動軸34の末端には上記第3の歯車32に噛合した第4の歯車35が嵌着されている。
【0041】
上記従動軸34は上記下部ヘッド31の外部へ突出し、その他端は下部駆動モ−タ36の駆動軸36aに連結されている。したがって、下部駆動モ−タ36が作動すれば、従動軸34および第4、第3の歯車35、32を介して上記下部ホルダ24とともに下部ペンシルブラシ22が回転駆動されるようになっている。
【0042】
なお、上記下部駆動モ−タ36は後述するように半導体ウエハUの径方向外方で、その径方向に沿って往復駆動される下部可動体56に取付けられている。
上記洗浄槽3内の長手方向他端側、つまり保持機構4の反対側には、上記一対の駆動モ−タ26、36によって回転駆動される上記各ペンシルブラシ21、22を、さらに上下方向および上記半導体ウエハUの径方向に沿って駆動する上下駆動手段と往復駆動手段とが設けられている。
【0043】
すなわち、上記洗浄槽3内の他端側の高さ方向中途部、つまり保持機構4によって保持された半導体ウエハUとほぼ同じ高さ位置には、洗浄槽3の長手方向に沿って取付部材41がほぼ水平に架設されている。この取付部材41の上面には、図3に示すように上記半導体ウエハUの径方向、つまり洗浄槽3の長手方向に沿って一対の水平ガイド体42が設けられている。この水平ガイド体42には上部可動体43が下面側を係合させてスライド自在に設けられている。
【0044】
上記上部可動体43の上面には上部支持板44が垂直に立設され、この上部支持板44の板面には一対の上部上下ガイド体45が上下方向に沿って設けられている。この上部上下ガイド体45には上部取付部材46がスライド自在に設けられていて、その一側下端と上記上部支持板44の上端との間に張設された上部付勢ばね47によって上昇方向に付勢されている。
【0045】
上記上部可動体43の上記上部取付部材46の他側側には上部シリンダ48が配設されている。この上部シリンダ48の一対のロッド48aにはストッパ部材49が設けられている。このストッパ部材49の端部には調整ねじ50が螺合されている。この調整ねじ50の下端は上記上部取付部材46の端面に設けられた位置決め部材51に当接している。
【0046】
それによって、上記上部取付部材46が上部付勢ばね47の付勢力によって上昇方向にスライドするのを規制し、かつその規制位置は上記調整ねじ50によって調整できるようになっている。
【0047】
上記上部シリンダ48のロッド48aが突出方向に駆動されれば、調整ねじ50と位置決め部材51との当接が解除される。それによって、上記上部取付部材46は上記上部付勢ばね47の付勢力により、上部上下ガイド体45に沿って上昇方向にスライドする。
【0048】
上部シリンダ48のロッド48aが没入方向に付勢されれば、ストッパ部材49に設けられた調整ねじ50が位置決め部材51を押圧しながら下降するから、その下降に上部取付部材46が連動する。
【0049】
上記上部取付部材46の板面には一対の連結ロッド52が軸線を水平にして一端を固着している。この連結ロッド52の他端には上記上部ヘッド25が取付けられている。したがって、上部ヘッド25は上記上部取付部材46とともに上下駆動されるようになっている。つまり、上部ペンシルブラシ21は上下方向に駆動されるようになっている。
【0050】
上記上部取付部材46には上部ダイヤルゲ−ジ53が設けられている。この上部ダイヤルゲ−ジ53のスピンドル53aの先端は上部可動体43と一体的な部分の上面に接触している。したがって、上部ダイヤルゲ−ジ53は、上記調整ねじ50によって上部取付部材46を上下動させたときに、基準位置からの移動量を表示できるようになっている。つまり、調整ねじ50による上部取付部材46の上下位置の調整を、上記上部ダイヤルゲ−ジ53によって精密に設定することができるようになっている。
【0051】
上記上部可動体43の四隅部には吊り下げ部材55の上端が連結固定されている。これら吊り下げ部材55の下端は上記取付部材41の下面側に位置し、その下端は下部可動体56の四隅部上面に連結固定されている。
【0052】
上記下部可動体56の先端部には下部支持板57が垂設されている。この下部支持板57の板面には一対の下部上下ガイド体58が上下方向に沿って設けられていて、この下部上下ガイド体58には下部取付部材59がスライド自在に設けられている。
【0053】
上記下部取付部材59の一側下端と上記下部支持板57の上端との間には下部付勢ばね61が張設されている。この下部付勢ばね61は上記下部取付部材59を上昇方向に付勢している。
【0054】
上記下部取付部材59の他側側には上記下部支持板57と一体的に下部シリンダ62が配設されている。この下部シリンダ62のロッド62aにはストッパ部材63が取付けられ、このストッパ部材63の先端部には調整ねじ64が螺合されている。調整ねじ64の先端は上記下部取付部材59の端面に設けられた位置決め部材65に当接している。
【0055】
それによって、上記下部取付部材59は下部付勢ばね61の付勢力によって上昇方向にスライドするのが規制され、かつその規制位置は上記調整ねじ64によって調整できるようになっている。
【0056】
上記下部シリンダ62のロッド62aが突出方向に付勢されると、調整ねじ64と位置決め部材65との当接が解除されるから、上記下部取付部材59は下部付勢ばね61の付勢力によって位置決め部材65が調整ねじ64の先端に当接するまで上昇する。その上昇位置は調整ねじ64によって微調整することができ、その調整はスピンドル66aを下部支持板57側に当接させた下部ダイヤルゲ−ジ66によって設定できるようになっている。
【0057】
上記下部取付部材59には一対の連結ロッド67の一端が固着されている。この連結ロッド67は軸線を水平にして設けられ、他端には上記下部ヘッド31が連結されている。
【0058】
上記上部可動体43の下面には、図1に示すようにナット体68が設けられている。このナット体68にはねじ軸69が螺合されている。このねじ軸69は上記取付部材41に回転自在に支持されているとともに、その一端は上記取付部材41の一端に設けられた駆動モ−タ71の駆動軸71aに連結されている。
【0059】
したがって、上記駆動モ−タ71が作動してねじ軸69が回転駆動されれば、上記ナット体68を介して上記上部可動体43が水平ガイド体42に沿って駆動されるようになっている。
【0060】
上記上部可動体43が後退方向に駆動されて一対のヘッド25、31に設けられた上部ペンシルブラシ21と下部ペンシルブラシ22とが保持機構4に保持された半導体ウエハUの上下面から外れる位置まで退避すると、保持機構4に保持された半導体ウエハUと、一対のペンシルブラシ21、22の間に防滴シャッタ73が入り込むようになっている。
【0061】
つまり、上記洗浄槽3の上部には図1に示すようにスリット孔74が形成されていて、このスリット孔74に上記防滴シャッタ73がスライド自在に設けられている。この防滴シャッタ73は図示しない駆動シリンダによって上下駆動されるようになっていて、下降方向に駆動されることで、上記一対のペンシルブラシ21、22と保持機構4とを遮断する。
【0062】
それによって、保持機構4に保持された半導体ウエハUを薬液処理する場合に、その薬液が一対のペンシルブラシ21、22に飛散するのを防止するようになっている。
【0063】
なお、上記上部ヘッド25と下部ヘッド31には、上記保持機構4に保持された半導体ウエハUの上面と下面との、上記上部ペンシルブラシ21と下部ペンシルブラシ22とに接触する部分に向けてそれぞれ洗浄液を供給する上部ノズル体75と下部ノズル体76とが設けられている。
【0064】
つぎに、上記構成の洗浄装置によって半導体ウエハUを洗浄する場合について説明する。
まず、洗浄槽3の供給排出口3cを開放して保持機構4に未洗浄の半導体ウエハUを供給し、この半導体ウエハUの周縁部を保持軸12の上端部に設けられた保持ロ−ラ13の係合溝13aに係合させて保持し、駆動モ−タ18を作動させて各保持軸12を回転駆動する。それによって、半導体ウエハUは係合溝13aとの摩擦によって回転駆動される。
【0065】
ついで、駆動モ−タ71を作動させて上部可動体43と下部可動体56とを水平ガイド体42に沿って往復駆動するとともに、その往復駆動に連動させて上部ヘッド25と下部ヘッド31とを上下駆動し、それと同時に上部ペンシルブラシ21と下部ペンシルブラシ22とを回転駆動しながら上部ノズル体75と下部ノズル体76とから半導体ウエハUに向けて洗浄液を供給する。
【0066】
つまり、各可動体43、56が前進駆動されてヘッド25、31に設けられた各ペンシルブラシ21、22が半導体ウエハUの径方向中心部にきたときに、上部ヘッド25を下降させ、下部ヘッド31を上昇させることで、各ペンシルブラシ21、22を半導体ウエハUの上下面に所定の接触圧で接触させる。
【0067】
その状態で、各可動体43、56を後退方向、つまり半導体ウエハUの径方向中心部から外方に向かって駆動することで、この半導体ウエハUの上下面が各ペンシルブラシ21、22との接触によって洗浄されることになる。
【0068】
各ペンシルブラシ21、22が半導体ウエハUの上下面から外れたならば、上部ヘッド25を上昇させ、下部ヘッド31を下降させてこれらを前進方向に駆動し、再び各ペンシルブラシ21、22を半導体ウエハUの径方向中心部の上面と下面とに接触させて各ヘッド25、31を後退方向に駆動するということを繰り返すことで、半導体ウエハUの上下面を洗浄することができる。
【0069】
つまり、回転駆動される半導体ウエハUの上下面に一対のペンシルブラシ21、22を接触させ、このペンシルブラシ21、22を半導体ウエハUの径方向に沿って直線運動させてその上下面を洗浄するようにしたことで、上記ペンシルブラシ21、22を半導体ウエハUの上下面にむらなく接触させることができる。それによって、半導体ウエハUの上下面を確実かつ良好に洗浄することができる。
【0070】
また、一対のペンシルブラシ21、22を半導体ウエハUの径方向中心部でその上面と下面とに接触させて径方向外方へ移動させるようにしたことで、半導体ウエハUの上下面に付着したパ−ティクルは上記ペンシルブラシ21、22で除去されながら半導体ウエハUの径方向外方へ洗浄液とともに排出される。そのため、各ペンシルブラシ21、22によって洗浄除去されたパ−ティクルが半導体ウエハUの上下面に再付着しにくいから、そのことによっても洗浄効果を高めることができる。
【0071】
上記上部ペンシルブラシ21と下部ペンシルブラシ22とが半導体ウエハUの上面と下面とに接触する圧力はそれぞれれ調整ねじ50、64によって調整することができる。そのため、各ペンシルブラシ21、22を半導体ウエハUの上下面に所定の圧力で確実に接触させることができるから、そのことによっても洗浄効果を高めることができる。
【0072】
上記半導体ウエハUは保持ロ−ラ13の保持溝13に周縁部を係合させて保持されているから、半導体ウエハUの上下面にペンシルブラシ21、22を接触させても、上下方向にずれ動くのが規制される。そのため、各ペンシルブラシ21、22は半導体ウエハUの上下面に所定の接触圧で確実に接触するから、そのことによっても、洗浄効果を高めることができる。
【0073】
保持機構4に保持された半導体ウエハUの保持状態は、一対の解除シリンダ115を作動させて一対の可動部材5をばね8の付勢力に抗して離反する方向へ駆動することで解除することができ、また上記解除シリンダ115の作動を解除して一対の可動部材5をばね8の復元力によって接近方向へスライドさせることで、半導体ウエハUを保持ロ−ラ13の保持溝13aによって保持することができる。
【0074】
つまり、保持機構4による半導体ウエハUの保持や保持状態の解除は、一対の可動部材5を付勢したばね8および一対の可動部材5をばね8の付勢力に抗して離反する方向に駆動する解除シリンダ115によって行うことができるから、簡単な構成で迅速に行うことができる。
【0075】
上部ペンシルブラシ21を半導体ウエハUの径方向に沿って直線駆動する上部可動体43に、下部ペンシルブラシ22を同じく半導体ウエハUの径方向に沿って直線駆動する下部可動体56を連結することで、この下部可動体56を上部可動体43に連動させるようにした。
【0076】
そのため、1つの駆動モ−タ71によって2つの可動体43、56を駆動することができるから、別々に駆動する場合に比べて部品点数を少なくし、構成を簡略化することができる。
【0077】
しかも、各可動体43、56が連動することで、上部ペンシルブラシ21と下部ペンシルブラシ22とを精密に同期させることができる。つまり、各ペンシルブラシ21、22によって半導体ウエハUの上下面の同一部分を一対のペンシルブラシ21、22によって洗浄することができる。
【0078】
そのため、半導体ウエハUを上面側へたわましたり、下面側へたわませることなく、半導体ウエハUと各ペンシルブラシ21、22との接触圧を一定に維持して洗浄できるため、一定の洗浄効果を得ることができる。
【0079】
半導体ウエハUを一対のペンシルブラシ21、22によって洗浄する前工程あるいは後工程で、上記半導体ウエハUを薬液で処理する場合がある。その場合、まず、上部ヘッド25と下部ヘッド31とを後退限まで駆動し、各ヘッド25、31に設けられた上部ペンシルブラシ21と下部ペンシルブラシ22とを保持機構4に保持された半導体ウエハUの径方向外方に退避させる。
【0080】
ついで、防滴シャッタ73を下降方向に駆動し、半導体ウエハUと各ヘッド25、31に設けられた各ペンシルブラシ21、22との間に侵入させ、上記半導体ウエハUとペンシルブラシ21、22とを遮断する。その状態で、上記半導体ウエハUに図示しないノズル体から薬液を散布して処理するようにすれば、上記防滴シャッタ73によって薬液がペンシルブラシ21、22に付着するのを防止することができる。
【0081】
そのため、各ペンシルブラシ21、22を、たとえばPVAなどのように洗浄作用は優れているが、耐薬品性に劣る材料を用いても、半導体ウエハUを薬液処理する場合に上記ペンシルブラシ21、22が薬品によって損傷されるのを防止することができる。
【0082】
つまり、従来は、洗浄ブラシが耐薬品性を備えていない材料で作られることが多いため、半導体ウエハUの洗浄と薬液処理とは別々の工程で行われていたが、洗浄装置に防滴シャッタ73を設けることで、その洗浄装置でペンシルブラシ21、22を損傷させることなく半導体ウエハUの薬液処理を行うことが可能となる。
【0083】
さらに、下部ペンシルブラシ22を回転駆動するための下部駆動モ−タ36を下部ヘッド31に設けずに、下部可動体56の下面側に設けるようにした。そのため、下部ペンシルブラシ22が半導体ウエハUの径方向中心部まで前進しても、上記下部駆動モ−タ36は半導体ウエハUから離れた位置にあるから、この下部駆動モ−タ36に洗浄液がかかるのを防止することができる。
【0084】
なお、この発明は上記一実施の形態に限定されず、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形可能である。たとえば、上部可動体43をねじ軸69によって駆動するようにしたが、ねじ軸69に代わりリニアモ−タによって駆動するようにしてもよく、要は上部可動体43を半導体ウエハUの径方向に沿って直線的に往復駆動できる構成であればよい。
【0085】
また、被洗浄物としては半導体ウエハUに限定されず、保持機構4によって回転駆動することができる円盤状のものであればよく、要は円盤状で、上下面を同時に洗浄することが要求されるものであればよい。
【0086】
【発明の効果】
請求項1の発明によれば、被洗浄物の周縁部を保持するとともにこの被洗浄物を回転駆動する保持機構に保持されて回転駆動される被洗浄物の上下両面にそれぞれペンシルブラシを対向して配置し、これらペンシルブラシを上記被洗浄物の径方向中心部から外方に向かって駆動するようにした。
【0087】
そのため、被洗浄物の上下両面をペンシルブラシによって同時に、しかもむらなく均一に洗浄することができる。
請求項2の発明によれば、保持機構は、被洗浄物の周縁部に係合する係合溝が形成された保持ロ−ラを有するから、被洗浄物を上下方向にがた付くことなく確実に保持することができる。
【0088】
しかも、保持ロ−ラが取付けられた複数の保持軸は接近方向に弾性的に付勢された一対の可動部材に支持したから、一対の可動部材を接離する方向にスライドさせるという簡単な動作で、被洗浄物を保持したり、保持状態を解除することができる。
【0089】
請求項3の発明によれば、被洗浄物の保持状態を解除する解除機構は、接近方向に弾性的に付勢された一対の可動部材を、その付勢力に抗して離反する方向へ駆動する構成であるから、被洗浄物の保持状態の解除を簡単な機構で迅速に行うことができる。
【0090】
請求項4の発明によれば、上下一対のペンシルブラシを駆動する駆動機構は、被洗浄物の径方向に沿って駆動される上部可動体に下部可動体を連結したので、上部可動体を駆動するだけで、下部可動体を連動させることができる。
【0091】
つまり、下部可動体を駆動するための駆動源や駆動機構を必要としないから、部品点数を少なくし、構成の簡略化やコストの低減を計ることができる。
請求項5の発明によれば、上部可動体と下部可動体とにペンシルブラシが設けられたそれぞれのヘッドの高さ位置を調整できるようにしたので、被洗浄物に対する各ペンシルブラシの接触圧を精度よく調整することができる。
【0092】
請求項6の発明によれば、ペンシルブラシが被洗浄物の径方向外方へ退避したときに、シャッタによってペンシルブラシと保持機構とを遮断できるようにしたので、ブラシ洗浄の前工程や後工程で被洗浄物を薬液処理する場合に、その薬液がペンシルブラシにかかるのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施の形態の全体構成を縦断面図。
【図2】同じく一部破断した平面図。
【図3】同じく上部ヘッドと下部ヘッドとを往復駆動および上下駆動する駆動機構を示す斜視図。
【符号の説明】
5…可動部材
12…保持軸
13…保持ロ−ラ
13a…係合溝
18…駆動モ−タ
21、22…ペンシルブラシ
25…上部ヘッド
26…上部駆動モ−タ
31…下部ヘッド
36…下部駆動モ−タ
42…水平ガイド体
43…上部可動体
47…上部付勢ばね
48…上部シリンダ
50…上部調整ねじ
56…下部可動体
61…下部付勢ばね
62…下部シリンダ
64…下部調整ねじ
71…駆動モ−タ
73…防滴シャッタ
75、76…ノズル体
115…解除シリンダ
Claims (4)
- 被洗浄物の上下両面を同時に洗浄するための洗浄装置において、
上記被洗浄物の周縁部を保持するとともにこの被洗浄物を回転駆動する保持機構と、
この保持機構に保持された被洗浄物の上下両面にそれぞれ対向して配置された一対のペンシルブラシと、
このペンシルブラシを回転駆動するとともに上記被洗浄物の板面に対して接離する上下方向および径方向中心部から外方に向かって駆動する駆動機構と、
上記被洗浄物と上記ペンシルブラシとが接触する部分に洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、
上記保持機構による上記被洗浄物の保持状態を解除する解除機構とを具備し、
上記保持機構は、
接離方向にスライド自在に設けられ接近方向に弾性的に付勢された一対の可動部材と、
各可動部材にそれぞれ軸線をほぼ垂直にして回転自在に支持された複数の保持軸と、
各保持軸の上端部に取付けられ外周面に上記被洗浄物の周縁部に係合する係合溝が形成された保持ロ−ラと、
上記可動部材の下面側に配置され上記保持軸を回転駆動することで上記保持ロ−ラを介して上記被洗浄物を回転させる保持軸駆動手段とを具備し、
上記解除機構は、
接近方向に弾性的に付勢された一対の上記可動部材を、その付勢力に抗して離反する方向に駆動する解除駆動手段からなることを特徴とする洗浄装置。 - 上記駆動機構は、
上記保持機構の上面側と下面側に配置されそれぞれ上記ペンシルブラシを回転自在に支持した一対のヘッドと、
各ヘッドに回転自在に設けられたペンシルブラシをそれぞれ回転駆動するブラシ回転手段と、
上記保持機構から外れた位置で、上記被洗浄物の径方向に沿って配置されたガイド体と、
このガイド体にスライド自在に設けられ上記上面側のヘッドが上下方向に移動自在に設けられた上部可動体と、
この上部可動体に連結され上記下面側のヘッドが上下方向に移動自在に設けられた下部可動体と、
上記上部可動体を上記ガイド体に沿って往復駆動する往復駆動手段と、
各可動体に設けられたそれぞれのヘッドをこれら可動体の往復動に応じて上下方向に駆動し各ヘッドに設けられたペンシルブラシを上記保持機構に保持された被洗浄物に接離させる上下駆動手段とを具備したことを特徴とする請求項1記載の洗浄装置。 - 上部可動体に設けられた上側のヘッドは、上部位置調整手段によって下降位置が調整され、下部可動体に設けられた下側のヘッドは下部位置調整手段によって上昇位置が調整されることを特徴とする請求項2記載の洗浄装置。
- 上記保持機構と駆動機構との間には、上記ペンシルブラシが上記保持機構に保持された被洗浄物の径方向外方に退避したときに、上記ペンシルブラシと上記保持機構とを遮断するシャッタが設けられていることを特徴とする請求項1記載の洗浄装置。
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