JPS6323682B2 - - Google Patents
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- JPS6323682B2 JPS6323682B2 JP15636978A JP15636978A JPS6323682B2 JP S6323682 B2 JPS6323682 B2 JP S6323682B2 JP 15636978 A JP15636978 A JP 15636978A JP 15636978 A JP15636978 A JP 15636978A JP S6323682 B2 JPS6323682 B2 JP S6323682B2
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- JP
- Japan
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- electrode
- acoustic wave
- surface acoustic
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- frequency
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- Expired
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- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 claims description 19
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 244000126211 Hericium coralloides Species 0.000 claims 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 230000001131 transforming effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
- H03H9/02842—Means for compensation or elimination of undesirable effects of reflections
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
本発明はUHF帯において使用する電極内反射
を阻止した弾性表面波装置に関するものである。 電極内反射を軽減する従来技術には、電極構成
として第１図に示すスプリツトタイプ電極指を利
用する技術や、電極幅と電極ピツチとの比を30％
ないし70％とするという技術があり、IFフイル
タ等に対してはそれなりに有効であつた。 他方、現在のホトマスクの製造技術、すなわち
ホトリゾクラフイの技術レベルは電極ピツチにし
て2.0μｍが限界であり、この場合の電極幅は0.7
〜1.3μｍとなる。 したがつて、UHF帯（500〜900MHz）で動作
する弾性表面波装置においては、弾性表面波の波
長は３ないし7μｍであり、スプリツトタイプの
電極構成はほとんど採用できない。また、電極幅
と電極ピツチとの比を単純に変更を行なうと電極
内反射の周波数がずれるだけであり、特にこの比
を大きくすると電極形成時に、電極内でのシヨー
ト、オーブン等が生じやすくなる。 このため、従来技術においては、電極内反射を
少なくした、UHF帯で動作する重み付き電極を
構成することはできないという欠点を有してい
た。 本発明の目的は、上記した従来技術の欠点をな
くし、電極内反射を少なくした、UHF帯で動作
する重み付き電極を提供するにある。 本発明は周波数特性を実現する弾性表面波装置
においては、入、出力電極を構成する櫛歯状配列
をなす電極指の幅の変化の周波数特性に対する影
響が僅小であることに鑑みて、電極内反射を生起
する電極指幅を僅かに変更して周波数f1からf2ま
での通過帯域内での反射による影響を阻止しよう
とするものであり、弾性表面波速度ｖにより定ま
る電極指幅d1（＝ｖ／4f1）およびd2（＝ｖ／4f2）
の間にある１つの幅ｄを有する電極指の本数が20
％以下、かつ電極幅が上記電極幅d1およびd2の間
にある電極指の総本数が50％以下になるようにし
たことを特徴とするものである。 この技術的思想を簡単に述べるならば、圧電性
基板表面部を伝搬する弾性表面波（波長；λ、速
度；ｖとする）は、電極指幅ｄを有する電極指の
前縁および後縁においてその一部がそれぞれ反射
される。 この場合、反射波は電極指幅ｄに対してｄ＝
λ／４の条件を満たすとき、前縁部および後縁部か らの反射波は同相となり、相互に強め合うように
作用する。 この時の周波数ｆはｆ＝ｖ／4dとなり、周波
数特性、特に通過帯域内にこの周波数ｆが存在す
るならば、この周波数ｆの特性値は減少すること
になる。 そこで、本発明は、通過帯域内にある周波数ｆ
（＝ｖ／4d）に対応する電極指幅を個々に多少修
正するばかりでなく、電極指全体としても電極指
幅の分布を修正することによつて、反射波の影響
を阻止しようとするものである。 以下、本発明による弾性表面波装置の実施例に
ついて、図面を用いて説明する。 第２図は本発明による弾性表面波装置の上面構
造の概略図を示すもので、UHF帯域で使用して
も電極内反射の少ない重み付き電極を有するもの
である。同図で、２は入力電極、３は出力電極、
４は負荷、５は圧電性基板、６はシールド電極で
ある。 本発明の弾性表面波装置に係わる入、出力電極
２，３について、さらに詳細に述べるならば、入
力電極２は121本の電極指から構成される重み付
き電極であり、出力電極３は中心周波数602.5M
Hz、７対の正規型電極で、全体の通過周波数帯域
は530〜660MHzである。 上記重み付き入力電極２について本発明に係わ
る技術思想の適用を述べると、表に示したようで
ある。
を阻止した弾性表面波装置に関するものである。 電極内反射を軽減する従来技術には、電極構成
として第１図に示すスプリツトタイプ電極指を利
用する技術や、電極幅と電極ピツチとの比を30％
ないし70％とするという技術があり、IFフイル
タ等に対してはそれなりに有効であつた。 他方、現在のホトマスクの製造技術、すなわち
ホトリゾクラフイの技術レベルは電極ピツチにし
て2.0μｍが限界であり、この場合の電極幅は0.7
〜1.3μｍとなる。 したがつて、UHF帯（500〜900MHz）で動作
する弾性表面波装置においては、弾性表面波の波
長は３ないし7μｍであり、スプリツトタイプの
電極構成はほとんど採用できない。また、電極幅
と電極ピツチとの比を単純に変更を行なうと電極
内反射の周波数がずれるだけであり、特にこの比
を大きくすると電極形成時に、電極内でのシヨー
ト、オーブン等が生じやすくなる。 このため、従来技術においては、電極内反射を
少なくした、UHF帯で動作する重み付き電極を
構成することはできないという欠点を有してい
た。 本発明の目的は、上記した従来技術の欠点をな
くし、電極内反射を少なくした、UHF帯で動作
する重み付き電極を提供するにある。 本発明は周波数特性を実現する弾性表面波装置
においては、入、出力電極を構成する櫛歯状配列
をなす電極指の幅の変化の周波数特性に対する影
響が僅小であることに鑑みて、電極内反射を生起
する電極指幅を僅かに変更して周波数f1からf2ま
での通過帯域内での反射による影響を阻止しよう
とするものであり、弾性表面波速度ｖにより定ま
る電極指幅d1（＝ｖ／4f1）およびd2（＝ｖ／4f2）
の間にある１つの幅ｄを有する電極指の本数が20
％以下、かつ電極幅が上記電極幅d1およびd2の間
にある電極指の総本数が50％以下になるようにし
たことを特徴とするものである。 この技術的思想を簡単に述べるならば、圧電性
基板表面部を伝搬する弾性表面波（波長；λ、速
度；ｖとする）は、電極指幅ｄを有する電極指の
前縁および後縁においてその一部がそれぞれ反射
される。 この場合、反射波は電極指幅ｄに対してｄ＝
λ／４の条件を満たすとき、前縁部および後縁部か らの反射波は同相となり、相互に強め合うように
作用する。 この時の周波数ｆはｆ＝ｖ／4dとなり、周波
数特性、特に通過帯域内にこの周波数ｆが存在す
るならば、この周波数ｆの特性値は減少すること
になる。 そこで、本発明は、通過帯域内にある周波数ｆ
（＝ｖ／4d）に対応する電極指幅を個々に多少修
正するばかりでなく、電極指全体としても電極指
幅の分布を修正することによつて、反射波の影響
を阻止しようとするものである。 以下、本発明による弾性表面波装置の実施例に
ついて、図面を用いて説明する。 第２図は本発明による弾性表面波装置の上面構
造の概略図を示すもので、UHF帯域で使用して
も電極内反射の少ない重み付き電極を有するもの
である。同図で、２は入力電極、３は出力電極、
４は負荷、５は圧電性基板、６はシールド電極で
ある。 本発明の弾性表面波装置に係わる入、出力電極
２，３について、さらに詳細に述べるならば、入
力電極２は121本の電極指から構成される重み付
き電極であり、出力電極３は中心周波数602.5M
Hz、７対の正規型電極で、全体の通過周波数帯域
は530〜660MHzである。 上記重み付き入力電極２について本発明に係わ
る技術思想の適用を述べると、表に示したようで
ある。
【表】
本表を説明するならば、第１カラムの電極指
幅、第２カラムの電極指幅分布は、弾性表面波装
置で実現すべき、周波数特性をフーリエ変換し、
インパルスレスポンス法によつてほゞ１：１に対
応ずけられて決定された電極の電極指幅分布を示
すものである。電極指幅分布の欄における括弧は
総本数121本に対する本数の百分率である。 第３カラムの本発明を適用した電極指幅分布、
第４カラムは対応する周波数（ｆ＝λ／4d）、第５ カラムは通過周波数帯域内、外の区別を、それぞ
れ整理したものである。 本実施例の場合、通過周波数帯域は前記したご
とく、530〜660MHzであるから、第１カラムにお
いて電極指幅として1.4μｍ〜1.6μｍが対応するも
のである。これらの電極指幅に対応する電極指幅
の全体に対する割合は表示の如く、69.4％である
が、これに対して本発明の技術思想を適用し、
個々の度数20％を超えるものについて電極指幅
1.4μｍの本数34本（28.1％）を17本（14.1％）に、
1.5μｍの本数32本（26.5％）を16本（13.3％）に、
1.6μｍの本数18本（14.9）は変更せずにおいて、
通過周波数帯域内の電極指幅1.4μｍ〜1.6μｍの全
本数を51（42.2％）に補正した。すなわち、本発
明の他の要件である総本数に対する割合を50％以
下にした。 かかる本発明の技術を適用しない場合、すなわ
ち表示の第１カラム、第２カラムの場合、周波数
特性から得られる電極指幅分布、そのまゝの場合
には、1.4μｍ〜1.5μｍの電極指幅のものが多く、
608MHz近傍の周波数に対して電極内反射波が発
生し、損失として約9dB程度の影響があつた。 これに対して本発明の技術を適用し、上記表で
述べた変更を行い、具体的に1.4μｍ、1.5μｍの電
極指幅をそれぞれ２本：１本の割合で1.2μｍ、
1.3μｍと修正し、通過周波数帯域外の電極指幅と
して寄与するものとした結果、電極内反射は逆に
３乃至4dB程度軽減された。この修正によつては
ほとんど通過周波数帯域における周波数特性は変
化しなかつた。 以上述べたごとく、本発明によれば、従来技術
によれば通過周波数帯域内において約9dB程度の
電極内反射を有していたものが、本発明を適用す
ることにより、３乃至4dBだけ軽減され、弾性表
面波装置のUHF帯への適用が可能となつた。
幅、第２カラムの電極指幅分布は、弾性表面波装
置で実現すべき、周波数特性をフーリエ変換し、
インパルスレスポンス法によつてほゞ１：１に対
応ずけられて決定された電極の電極指幅分布を示
すものである。電極指幅分布の欄における括弧は
総本数121本に対する本数の百分率である。 第３カラムの本発明を適用した電極指幅分布、
第４カラムは対応する周波数（ｆ＝λ／4d）、第５ カラムは通過周波数帯域内、外の区別を、それぞ
れ整理したものである。 本実施例の場合、通過周波数帯域は前記したご
とく、530〜660MHzであるから、第１カラムにお
いて電極指幅として1.4μｍ〜1.6μｍが対応するも
のである。これらの電極指幅に対応する電極指幅
の全体に対する割合は表示の如く、69.4％である
が、これに対して本発明の技術思想を適用し、
個々の度数20％を超えるものについて電極指幅
1.4μｍの本数34本（28.1％）を17本（14.1％）に、
1.5μｍの本数32本（26.5％）を16本（13.3％）に、
1.6μｍの本数18本（14.9）は変更せずにおいて、
通過周波数帯域内の電極指幅1.4μｍ〜1.6μｍの全
本数を51（42.2％）に補正した。すなわち、本発
明の他の要件である総本数に対する割合を50％以
下にした。 かかる本発明の技術を適用しない場合、すなわ
ち表示の第１カラム、第２カラムの場合、周波数
特性から得られる電極指幅分布、そのまゝの場合
には、1.4μｍ〜1.5μｍの電極指幅のものが多く、
608MHz近傍の周波数に対して電極内反射波が発
生し、損失として約9dB程度の影響があつた。 これに対して本発明の技術を適用し、上記表で
述べた変更を行い、具体的に1.4μｍ、1.5μｍの電
極指幅をそれぞれ２本：１本の割合で1.2μｍ、
1.3μｍと修正し、通過周波数帯域外の電極指幅と
して寄与するものとした結果、電極内反射は逆に
３乃至4dB程度軽減された。この修正によつては
ほとんど通過周波数帯域における周波数特性は変
化しなかつた。 以上述べたごとく、本発明によれば、従来技術
によれば通過周波数帯域内において約9dB程度の
電極内反射を有していたものが、本発明を適用す
ることにより、３乃至4dBだけ軽減され、弾性表
面波装置のUHF帯への適用が可能となつた。
第１図は従来の電極内反射を防止する電極指形
状であるスプリツトタイプ電極の上面形状説明
図、第２図は本発明の弾性表面波装置の実施例の
上面構成図である。 １……信号源、２……重み付き入力電極、３…
…正規型出力電極、４……負荷、５……圧電性基
板。
状であるスプリツトタイプ電極の上面形状説明
図、第２図は本発明の弾性表面波装置の実施例の
上面構成図である。 １……信号源、２……重み付き入力電極、３…
…正規型出力電極、４……負荷、５……圧電性基
板。
Claims (1)
- １ 圧電性基板上に電気信号を弾性表面波に変換
する第１の電極と、弾性表面波が一定の速度ｖを
もつて伝搬する弾性表面波の伝搬路と、上記弾性
表面波を電気信号に変換する第２の電極とが設け
られており、これらの電極は周波数f1から周波数
f2（f1＜f2）を通過帯域とする周波数特性を有する
ごとく定められた電極指間隔を有して櫛歯形状を
なし、交互に交叉して組み合せ構成された弾性表
面波装置において、上記周波数f1およびf2に対応
する電極指幅d1（＝ｖ／4f1）およびd2（＝v4f2）が
決まり、上記幅d1およびd2の間にある一つの幅ｄ
を有する電極指幅ｄを有する電極指の本数が全体
の20％以下であり、かつ電極幅が上記幅d1および
d2の間にある電極指の総本数が全体の50％以下で
あることを特徴とする弾性表面波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15636978A JPS5583317A (en) | 1978-12-20 | 1978-12-20 | Elastic surface wave device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15636978A JPS5583317A (en) | 1978-12-20 | 1978-12-20 | Elastic surface wave device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5583317A JPS5583317A (en) | 1980-06-23 |
| JPS6323682B2 true JPS6323682B2 (ja) | 1988-05-17 |
Family
ID=15626237
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15636978A Granted JPS5583317A (en) | 1978-12-20 | 1978-12-20 | Elastic surface wave device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5583317A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01171392U (ja) * | 1988-05-24 | 1989-12-05 |
-
1978
- 1978-12-20 JP JP15636978A patent/JPS5583317A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01171392U (ja) * | 1988-05-24 | 1989-12-05 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5583317A (en) | 1980-06-23 |
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