JPS63231069A - 薬液バルブ - Google Patents
薬液バルブInfo
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- JPS63231069A JPS63231069A JP6540487A JP6540487A JPS63231069A JP S63231069 A JPS63231069 A JP S63231069A JP 6540487 A JP6540487 A JP 6540487A JP 6540487 A JP6540487 A JP 6540487A JP S63231069 A JPS63231069 A JP S63231069A
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- JP
- Japan
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- valve body
- valve
- liquid
- storing portion
- air
- Prior art date
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- Pending
Links
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Landscapes
- Lift Valve (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は液体、特に高粘度薬液を制御するバルブに関す
る。
る。
集積回路の製造工程のホトリソグラフィ工程で基板にレ
ジストが塗布される。
ジストが塗布される。
基板を回転しながらレジストを定量滴下し、基板上に薄
いレジスト膜例えば１μｍの膜を形成する。
いレジスト膜例えば１μｍの膜を形成する。
このレジスト滴下時、パルプ内部に残留する空気が吐出
されるとレジストに空気が巻き込まれるので、基板上に
均一なレジスト膜が形成できな（なるという欠陥がある
。
されるとレジストに空気が巻き込まれるので、基板上に
均一なレジスト膜が形成できな（なるという欠陥がある
。
本発明は上記欠陥を除去した新規な発明であって、その
目的は液体制御時空気吐出のない薬液バルブを提供する
ことである。
目的は液体制御時空気吐出のない薬液バルブを提供する
ことである。
本発明の薬液バルブは、軸と、該軸を駆動する駆動手段
と、該駆動手段と液体を分離する隔離膜と、該隔離膜に
付属する弁体と、該弁体の内部が円錐形状をなし、かつ
その上部に出力ポートを付加した弁本体とからなること
を特徴としたものである。
と、該駆動手段と液体を分離する隔離膜と、該隔離膜に
付属する弁体と、該弁体の内部が円錐形状をなし、かつ
その上部に出力ポートを付加した弁本体とからなること
を特徴としたものである。
このような薬液バルブによれば、弁体内部の空気がすみ
やかに移送され残留空気がなくなり薬液制御時の空気吐
出がないので均一な膜厚のレジスト塗布の実現が期待さ
れる。
やかに移送され残留空気がなくなり薬液制御時の空気吐
出がないので均一な膜厚のレジスト塗布の実現が期待さ
れる。
以下本発明を図面により詳細に説明する。
第１図は本発明になる薬液バルブの第一の実施例の縦断
面図である。
面図である。
軸１は駆動部２により上下に駆動される。駆動部２は圧
縮空気によるエヤオペレート式でも、電気による電磁ソ
、レノイド式であってもよい。
縮空気によるエヤオペレート式でも、電気による電磁ソ
、レノイド式であってもよい。
軸１が駆動されると、軸１に固着されたステンレスのダ
イヤフラム３とダイヤフラム３に固着された弁体４が上
下するので、弁本体５の弁座６がオンオフされて液体が
制御される。
イヤフラム３とダイヤフラム３に固着された弁体４が上
下するので、弁本体５の弁座６がオンオフされて液体が
制御される。
ダイヤフラム３は液体と駆動手段２との隔離膜であり、
かつ弁体４の動きの伸縮機能をもつ。
かつ弁体４の動きの伸縮機能をもつ。
弁本体５の液溜り部７は円錐形状をなし、かつ出力ポー
ト８が上部についているので空気は上部に集まり、出力
ポート８から容易に空気を排出することができる。
ト８が上部についているので空気は上部に集まり、出力
ポート８から容易に空気を排出することができる。
即ち、使用に先立ち十分空気を排出した後、レジスト塗
布を行えば空気を吐出する危険がない。
布を行えば空気を吐出する危険がない。
また、入力ボート９も図示のように上部に付加すれば、
いずれのボートを出力に用いることもできるようになる
。
いずれのボートを出力に用いることもできるようになる
。
レジストは粘性が高いので、空気を上部に集めるために
は弁本体５の液溜り部７の円錐形の頂角１０は１２０度
より小さくする必要がある。
は弁本体５の液溜り部７の円錐形の頂角１０は１２０度
より小さくする必要がある。
また、レジストはケトン系で樹脂の腐蝕性及び溶解性の
高い薬液なので、ダイヤフラム３、弁本体５はステンレ
スが良く、また、弁座６をオンオフする弁体４は腐蝕さ
れることのない弗素杉（脂、例えば三弗化樹脂または四
弗化樹脂を使用し、弁座６との間のシール性を高める。
高い薬液なので、ダイヤフラム３、弁本体５はステンレ
スが良く、また、弁座６をオンオフする弁体４は腐蝕さ
れることのない弗素杉（脂、例えば三弗化樹脂または四
弗化樹脂を使用し、弁座６との間のシール性を高める。
ダイヤフラム３または弁本体５を耐蝕性の高い四弗化樹
脂または三弗化樹脂にすることによっても本発明を実現
することができる。
脂または三弗化樹脂にすることによっても本発明を実現
することができる。
第２図は本発明になる薬液バルブの第二の実施例の縦断
面図である。
面図である。
第一の実施例が液体と駆動手段の隔離膜がダイヤフラム
であるのに対し、二の実施例ではステンレススチールの
ベローズ１３の場合の薬液バルブである。
であるのに対し、二の実施例ではステンレススチールの
ベローズ１３の場合の薬液バルブである。
その他の動作および構成は第一の実施例と全く同様であ
る。
る。
入力ボート１２は第２図の如く下部に付加しても、第１
図の如く上部に付加しても本発明は実現できる。
図の如く上部に付加しても本発明は実現できる。
上記説明では薬液にレジストを用いた場合について述べ
たが、他のどのような液体であっても本発明を実現でき
ることは明らかである。
たが、他のどのような液体であっても本発明を実現でき
ることは明らかである。
以上詳述した如く本発明の薬液バルブによれば、使用に
先立って空気の排出を容易かつ完全に行うことができる
ので、レジスト塗布等の液体制御時に空気吐出のない安
定な動作を達成することができるという顕著な効果を奏
するものである。
先立って空気の排出を容易かつ完全に行うことができる
ので、レジスト塗布等の液体制御時に空気吐出のない安
定な動作を達成することができるという顕著な効果を奏
するものである。
第１図は本発明になる薬液バルブの第一の実施例の縦断
面図、第２図は本発明になる薬液バルブの第二の実施例
の縦断面図である。 １・・・・・・軸、２・・・・・・駆動部、３・・・・
・・ダイヤフラム、４・・・・・・弁体、５・・・・・
・弁本体、６・・・・・・弁座、７・・・・・・液溜り
部、８．１１・・・・・・出力ポート、９．１２・・・
入力ボート、１０・・・・・・頂角、１３・・・・・・
ベロー 。 ズである。 特許出願人 シグマ技術工業株式会社代表者 神
１） 薫 ７１国 オこ図
面図、第２図は本発明になる薬液バルブの第二の実施例
の縦断面図である。 １・・・・・・軸、２・・・・・・駆動部、３・・・・
・・ダイヤフラム、４・・・・・・弁体、５・・・・・
・弁本体、６・・・・・・弁座、７・・・・・・液溜り
部、８．１１・・・・・・出力ポート、９．１２・・・
入力ボート、１０・・・・・・頂角、１３・・・・・・
ベロー 。 ズである。 特許出願人 シグマ技術工業株式会社代表者 神
１） 薫 ７１国 オこ図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、軸と、該軸を駆動する駆動手段と、該駆動手段と液
体を分離する隔離膜と、該隔離膜に付属する弁体と、該
弁体の内部が円錐形状をなし、かつその上部に出力ポー
トを付加した弁本体とからなることを特徴とした薬液バ
ルブ。 ２、前記弁体の円錐形状の頂角が１２０度より小さいこ
とを特徴とした特許請求の範囲第１項記載の薬液バルブ
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6540487A JPS63231069A (ja) | 1987-03-19 | 1987-03-19 | 薬液バルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6540487A JPS63231069A (ja) | 1987-03-19 | 1987-03-19 | 薬液バルブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63231069A true JPS63231069A (ja) | 1988-09-27 |
Family
ID=13286049
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6540487A Pending JPS63231069A (ja) | 1987-03-19 | 1987-03-19 | 薬液バルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63231069A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011117519A (ja) * | 2009-12-02 | 2011-06-16 | Trinity Industrial Co Ltd | バルブ装置 |
| JP2011220422A (ja) * | 2010-04-08 | 2011-11-04 | Koganei Corp | 開閉弁 |
-
1987
- 1987-03-19 JP JP6540487A patent/JPS63231069A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011117519A (ja) * | 2009-12-02 | 2011-06-16 | Trinity Industrial Co Ltd | バルブ装置 |
| JP2011220422A (ja) * | 2010-04-08 | 2011-11-04 | Koganei Corp | 開閉弁 |
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