JPS63231019A - 静圧軸受装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は静圧軸受装置に関し、詳しくは加圧空気の静圧
により支持されて移動が行なわれるようにしたスライド
機構における静圧軸受パッドを具えた静圧軸受装置に関
する。

（従来の技術） 従来のこの種の静圧軸受装置は例えば第４図に示すよう
に構成されていた。ここで、１は静圧軸受パッド、２は
複数の静圧軸受パッド１が図示のように配設されたスラ
イド部材、３はスライド部材２が移動するときの案内部
材である。静圧軸受パッド１は多孔質材料で形成された
軸受部材４とそのパッドホルダ５とで構成されており、
その間に形成された空気室６に加圧空気通路７を介して
加圧空気が供給されることにより、その空気が軸受部材
４を経てその軸受面４＾に噴射され、軸受面４Ａと案内
部材３の表面との間に形成される空気膜層を介してスラ
イド部材２を°浮揚状態に保つことができる。

しかしここで、スライド部材２はその下面側に、案内部
材３を通すための開口を有する箱形断面形状をなしてお
り、図示のように上板２Ａ、側板２Ｂおよび下板２Ｃの
３つの部材からなり、固定ねじ８で互いに締結一体化さ
れていた。このように４’／Ｊ成される理由は、軸受部
材４の軸受面４Ａと案内部材３の表面との間のすき間が
正確かつ均等に保たれる必要があり、ために、静圧軸受
パッド１が取付けられるスライド部材２の内面における
仕上げ寸法もまた高い精度が要求されることによる。

（発明が解決しようとする問題点〕 しかしながら、上述したような従来の静圧軸受装置にお
いては、加圧空気が静圧軸受パッドｌに供給されること
によって、案内部材３の表面との間に発生する空気膜の
ためにスライド部材２の側板２Ｂではその上板２Ａとの
結合部を支点とする片持ち染の構造から外開きに撓む傾
向が生じ、下板２Ｇにおいてもまた、側板２Ｂとの結合
部を支点として同様な傾向が生じる。しかもこのときの
結合部に発生する応力は固定ねじ８に集中するので、ス
ライド部材２としては十分な剛性が保たれず、そのため
に、パッド軸受面４＾と案内部材３との間の適正なすき
間寸法が失われる欠点がありた。また、剛性を高めるた
めに、単に、上板２＾と側板２Ｂとの一体化を図るだけ
では、パッド１取付けの基準となる内面の精度仕上げが
難しい上に、パッド１と案内部材３との間のすき間調整
が容易ではない。

本発明の目的は、上述した従来の欠点を除去し、静圧軸
受パッドが取付けられるスライド部材の剛性を高め、か
つ、軸受部材と案内部材との間の空気層形成すき間を適
正に調整することができる静圧軸受装置を提供すること
にある。

（問題点を解決するための手段） かかる目的を達成するために、本発明は、案内部材また
は該案内部材に沿って案内されるＢ動部材のいずれか一
方の部材にホルダを介して保持される複数の静圧軸受を
配設し、該静圧軸受にホルダを介して供給される加圧流
体により案内部材または移動部材のうちの他方の部材と
静圧軸受の軸受面との間に形成される流体膜により移動
部材を案内部材に穆勤自在に支持するようにした静圧軸
受装置において、静圧軸受が配設される部材を一体の成
形体として構成したことを特徴とする。

（作用） 本発明によれば、静圧軸受パッドが取付けられるスライ
ド部材の少なくとも上部および側部を形成する部分を門
型に一体形成したことによってスライド部材の剛性を高
めることができ、静圧軸受パッドの軸受部材を保持して
いるパッドホルダをスライド部材の外側からスライド部
材を貫通して気密に取付けた上、給気手段により静圧軸
受パッドに加圧空気を供給するようにしたことによって
、軸受部材と案内部材との間のすき間をスライド部材の
外面基準として調整することが可能となり、以て、上記
すき間を適正かつ容易に調整することが可能となった。

（実施例〕 以下、図面に基づいて本発明の実施例を詳細かつ具体的
に説明する。

第１図は本発明の一実施例を示す。ここで、１２はスラ
イド部材であり、１２Ａはその上部および側部が一体成
形されている門形部、１２Ｃは１２八に接着若しくは固
定ねし等で接合されている下坂部である。しかし本例で
は、このようにして構成したスライド部材１２の上部、
側部および接続部に貫通孔１３を穿設し、これらの貫通
孔１３に静圧軸受パッド１１を取付ける。すなわち、静
圧軸受パッド１１は第２図に示すように軸受部材４と、
パッド保持体１４と、パッド保持体１４にねじ１５で固
定されると共に、スライド部材１２にねじ１６で固定す
るようにした軸受固定部材１７とで構成される。１Ｂは
パッド保持体１４の周りに設けられた気密用の０リング
である。

なお、本例の場合、パッド保持体１４と軸受部材４とは
接着剤等によって接着されており、その接着面に空気通
路式とした空気室６が配設されている。また、パッド保
持部材１４と軸受固定部材１７とはそれぞれの接合面１
４Ａと１７八との衝合せ形態で接合されるもので、その
接合面１７Ａを調節加工仕上げすることによって軸受部
材４と案内部材３との間のすき間を適切に調整すること
ができる。

第３図は本発明を静圧スライド機構に適用した例を示し
、この種の静圧スライド機構は加工機成や研削機械等に
おいて、その刃物や研削部材を保持して移動させる装置
に好適なものである。

なお、ここではその八−へ断面が第り図に示す形態を有
しており、スライド部材１２を案内部材３に対して浮揚
状態に保ち、案内部材３に沿って本図でその左右方向に
不図示の駆動手段により移動させることができる。なお
、２０は案内部材３が固定されるベースである。

以上、本発明静圧軸装置の実施例について述べてきたが
、本発明の適用はスライド機構における被支持体として
のスライド部材に静圧軸受パッドが設けられる場合に限
られるものではなく、被支持体を支持する支持体、すな
わち案内部材の側に静圧軸受パッドが設けられる形態の
ものでも本発明を適用できることは勿論であり、また、
その静圧軸受パッドが装着される支持体若しくは被支持
体の形状も上述した例のような門型に限られるものでは
ない。

更に、また、そのスライド部材も完全に一体化成形され
たのもであってもよい、また、以上の説明では静圧軸受
パッドの軸受部材に多孔質材料から成るパッドを使用し
たが、これに代えてオリフィス絞り、自戒絞りとした静
圧軸受パッドとした場合にも適用できるもので、更には
作動流体が空気等の気体でなく油等の液体の静圧軸受装
置にも本発明は適用可能である。また、加圧空気通路の
配設経路も上述の例に限られるものでないことはいうま
でもなく、要は静圧軸受にその背面側から流体が供給さ
れるようになされているものであれはどのようであって
もかまわない。

（発明の効果） 以上説明してきたように、本発明によれば、静圧軸受の
取付けられる部材を一体成形体として構成し、一体性形
体の静圧軸受取付は部材に静圧軸受のホルダを嵌合させ
て取付けるようにしたので、静圧軸受取付は部材の剛性
が高められることにより流体膜形成すき間寸法を安定し
た状態に保つことができると共にそのすき間寸法の調整
が容易となった。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明静圧軸受装置の構成の一例を示す断面図
、 第２図はその一部の詳細図、 第３図は本発明を適用したスライド機構の構成図、 第４図は従来の静圧軸受装置の構成の一例を示す断面図
である。 １．１１　、、、静圧軸受パッド、 ３０９．案内部材、 ４１．、軸受部材、 ６６１．空気質、 ７０８．加圧空気通路、 １２）、、スライド部材、 １２八９１．門形部、 １２Ｃ，、、下坂部、 １３．、、貫通孔、 １４、、、パッド保持体、 １５、ＩＱ、、、ねじ、 １７、、、軸受固定部材、 １１１、、、　Ｏ−リング。 第２図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）案内部材または該案内部材に沿って案内される移動
   部材のいずれか一方の部材にホルダを介して保持される
   複数の静圧軸受を配設し、該静圧軸受に前記ホルダを介
   して供給される加圧流体により前記案内部材または前記
   移動部材のうちの他方の部材と前記静圧軸受の軸受面と
   の間に形成される流体膜により前記移動部材を前記案内
   部材に移動自在に支持するようにした静圧軸受装置にお
   いて、 前記静圧軸受が配設される部材を一体の成形体として構
   成したことを特徴とする静圧軸受装置。 ２）特許請求の範囲第１項記載の静圧軸受装置において
   、前記移動部材は前記案内部材をほぼ囲続する形態の門
   型であることを特徴とする静圧軸受装置。 ３）特許請求の範囲第２項記載の静圧軸受装置において
   、前記静圧軸受の個々のホルダが前記移動部材に嵌合し
   た状態で取付けられることを特徴とする静圧軸受装置。