JPS61197816A - 静圧軸受パツド - Google Patents
静圧軸受パツドInfo
- Publication number
- JPS61197816A JPS61197816A JP60035268A JP3526885A JPS61197816A JP S61197816 A JPS61197816 A JP S61197816A JP 60035268 A JP60035268 A JP 60035268A JP 3526885 A JP3526885 A JP 3526885A JP S61197816 A JPS61197816 A JP S61197816A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- porous member
- bearing pad
- porous
- static pressure
- hydrostatic bearing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0603—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion
- F16C32/0614—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion the gas being supplied under pressure, e.g. aerostatic bearings
- F16C32/0618—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion the gas being supplied under pressure, e.g. aerostatic bearings via porous material
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0662—Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load
- F16C32/0666—Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load of bearing pads
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/02—Sliding-contact bearings
- F16C29/025—Hydrostatic or aerostatic
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の利用分野］
本発明は、工作機械や測定機械などの移動テーブルの静
圧直線支持案内に用いられる静圧軸受パッドに関する。
圧直線支持案内に用いられる静圧軸受パッドに関する。
［従来の技術］
従来のこの種の静圧軸受パッドの構造の代表例を第３図
および第４図に示す。図において、１１は □
多孔質材料からなる軸受部材であり、その上面は支承対
象部材のための軸受支持面１１ａとなってお
′□す、リング状に外周を囲む固定部材１２内に収容さ
れたうえでネジ１６によってベース１４に固定されてい
る。ベース１４は図示しないスライダ等の静圧案内部材
にネジ穴１４ａにおいてネジ締結され、その下面の給気
孔１４ｂから内部室１３に加圧流体、例えば高圧空気を
導入可能である。軸受部材１１の外周部には、固定部材
１２およびベース１４との間の間隙からの空気漏れを防
ぎ且つ各部材の接合力を強化するために接着剤１５が塗
布されている。
および第４図に示す。図において、１１は □
多孔質材料からなる軸受部材であり、その上面は支承対
象部材のための軸受支持面１１ａとなってお
′□す、リング状に外周を囲む固定部材１２内に収容さ
れたうえでネジ１６によってベース１４に固定されてい
る。ベース１４は図示しないスライダ等の静圧案内部材
にネジ穴１４ａにおいてネジ締結され、その下面の給気
孔１４ｂから内部室１３に加圧流体、例えば高圧空気を
導入可能である。軸受部材１１の外周部には、固定部材
１２およびベース１４との間の間隙からの空気漏れを防
ぎ且つ各部材の接合力を強化するために接着剤１５が塗
布されている。
静圧軸受パッドと支承対象部材との支持間隙は通常数μ
−程度であり、従って従来の静圧軸受パッドの構成に３
３いては、各部材の平面度、平行度、１Ｎ隙方向の絶対
寸法が厳密に要求され、加工が極めで困難であった。ま
た軸受支持面１１ａ以外からの加圧流体の漏洩を完全に
防止するには、接着剤１５を均一に隙間なく塗布する必
要があり、更にこの接着剤が多孔質部材１１に浸透して
多孔質部材の周辺部位の流体透過率に変化を起たし、軸
受特性が初期の特性から変ってしまうという欠点もあっ
た。
−程度であり、従って従来の静圧軸受パッドの構成に３
３いては、各部材の平面度、平行度、１Ｎ隙方向の絶対
寸法が厳密に要求され、加工が極めで困難であった。ま
た軸受支持面１１ａ以外からの加圧流体の漏洩を完全に
防止するには、接着剤１５を均一に隙間なく塗布する必
要があり、更にこの接着剤が多孔質部材１１に浸透して
多孔質部材の周辺部位の流体透過率に変化を起たし、軸
受特性が初期の特性から変ってしまうという欠点もあっ
た。
［発明の目的ｊ
本発明は、前述の従来技術の欠点を除去して最低の部品
点数で加工と組立を容易にし、しかもパッド形状精度の
劣化を防止すると共に接着剤を使用せずに不要な加圧流
体漏洩を起こすことのない特性の安定した静圧軸受パッ
ドを提供しようとするものである。
点数で加工と組立を容易にし、しかもパッド形状精度の
劣化を防止すると共に接着剤を使用せずに不要な加圧流
体漏洩を起こすことのない特性の安定した静圧軸受パッ
ドを提供しようとするものである。
本発明による静圧軸受パッドでは、支承対象部材との支
持間隙に加圧流体を導入するための支持面を構成する多
孔質部材と、スライダ等の静圧案内部材に固定されて前
記多孔質部材を固定保持する非孔質部材とが一体成形さ
れるものであり、この場合、好ましくは両部材は同一材
料からなる。
持間隙に加圧流体を導入するための支持面を構成する多
孔質部材と、スライダ等の静圧案内部材に固定されて前
記多孔質部材を固定保持する非孔質部材とが一体成形さ
れるものであり、この場合、好ましくは両部材は同一材
料からなる。
ひとつの実施態様において両部材は同一組成の金属酸化
物の焼結体からなり、多孔質部材は焼成時に消失する樹
脂粉笠の連通性空隙形成材を添加した粉末成形体から出
発し、非孔質部材は空隙形成材を含まない粉末成形体か
ら出発し、両者を組立てた後に焼成して一体成形品とす
るものである。
物の焼結体からなり、多孔質部材は焼成時に消失する樹
脂粉笠の連通性空隙形成材を添加した粉末成形体から出
発し、非孔質部材は空隙形成材を含まない粉末成形体か
ら出発し、両者を組立てた後に焼成して一体成形品とす
るものである。
本発明の構成と作用の一層の理解のために、本発明の実
施例を示せば以下の通りである。
施例を示せば以下の通りである。
［実施例］
第１図および第２図は本発明の実施例を示す平面図と縦
断面図であり、１は多孔質部材、２は非孔質部材で、こ
れら両者は成形後、同時に焼成されて一体部品とされて
いる。
断面図であり、１は多孔質部材、２は非孔質部材で、こ
れら両者は成形後、同時に焼成されて一体部品とされて
いる。
多孔質部品１は焼成前には樹脂粉や油脂等の熱分解消失
する空隙形成材を混入したディスク状素材であり、一方
、非孔質部材２は焼成前にはＩｙｒ記空隙形成材を含ま
ない鍔付きリング状の素材であって、画素材を正しく嵌
め合わせてから焼成することにより一体部品を得ている
。この結果、多孔質部材１はその周囲を非孔質部材２に
より密に取り囲まれ、両者が一切の介在物なく接合する
ことになる。非孔質部材２の底面側で四方に張り出す鍔
２ｂは、ネジ穴２ａを有する取付７ランジの役目を果し
、これによりスライダ等へネジ締結されるようになって
いる。この場合、非孔質部材２の底面２Ｃよりも多孔質
部材１の下面１ｂのほうが上方へ位置するように両部材
の厚さ寸法が定められており、その結果生じる内部室３
には、スライダ等の導孔を介して加圧空気が供給され、
それが多孔質部材１を介してその上面の軸受支持面１ａ
に噴出するようになっている。尚、多孔質部材１の支持
面１ａ以外の表面は、空気を通さない非孔質部材２で囲
まれているので、空気の漏洩は生じない。
する空隙形成材を混入したディスク状素材であり、一方
、非孔質部材２は焼成前にはＩｙｒ記空隙形成材を含ま
ない鍔付きリング状の素材であって、画素材を正しく嵌
め合わせてから焼成することにより一体部品を得ている
。この結果、多孔質部材１はその周囲を非孔質部材２に
より密に取り囲まれ、両者が一切の介在物なく接合する
ことになる。非孔質部材２の底面側で四方に張り出す鍔
２ｂは、ネジ穴２ａを有する取付７ランジの役目を果し
、これによりスライダ等へネジ締結されるようになって
いる。この場合、非孔質部材２の底面２Ｃよりも多孔質
部材１の下面１ｂのほうが上方へ位置するように両部材
の厚さ寸法が定められており、その結果生じる内部室３
には、スライダ等の導孔を介して加圧空気が供給され、
それが多孔質部材１を介してその上面の軸受支持面１ａ
に噴出するようになっている。尚、多孔質部材１の支持
面１ａ以外の表面は、空気を通さない非孔質部材２で囲
まれているので、空気の漏洩は生じない。
このような構成の本発明に係る静圧軸受パッドにおいて
は、部品点数は唯の二つであり、また加工時に高い精度
が要求されるのは軸受支持面１ａと非孔質部材２の底面
２Ｃの平面度および平行度だけであり、両者とも平面加
工であるので簡単な仕上げ加工により達成できるもので
ある。また加圧空気は支持面１ａの裏側の室３から均等
に拡がって支持面１ａ側に噴出し、脇から漏れることが
ないから軸受支持面１ａ上での部分的なＲ」のバラツキ
がなく、流量調整をしな（でも軸受特性は安定なものと
なる。
は、部品点数は唯の二つであり、また加工時に高い精度
が要求されるのは軸受支持面１ａと非孔質部材２の底面
２Ｃの平面度および平行度だけであり、両者とも平面加
工であるので簡単な仕上げ加工により達成できるもので
ある。また加圧空気は支持面１ａの裏側の室３から均等
に拡がって支持面１ａ側に噴出し、脇から漏れることが
ないから軸受支持面１ａ上での部分的なＲ」のバラツキ
がなく、流量調整をしな（でも軸受特性は安定なものと
なる。
［発明の効果］
以上に述べた如く、本発明によれば、多孔質部材と非孔
質部材とを一体成形するので、パッド形状が比較的容易
に精度よく加工でき、また周囲かからの空気漏れも生じ
ないので安定した軸受特性を発揮でき、接着剤を使用し
なくてすむので、多孔質部材への接着剤の浸透による流
体透過の部分的な偏よりも生じることはなく、複数個製
作したときの個々のパッドの特性の不揃いも僅かとなる
ものである。
質部材とを一体成形するので、パッド形状が比較的容易
に精度よく加工でき、また周囲かからの空気漏れも生じ
ないので安定した軸受特性を発揮でき、接着剤を使用し
なくてすむので、多孔質部材への接着剤の浸透による流
体透過の部分的な偏よりも生じることはなく、複数個製
作したときの個々のパッドの特性の不揃いも僅かとなる
ものである。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の実施例を示す平面図、第２図は同じ（
縦断面図、第３図は従来例を示す平面図、第４図は同じ
く縦断面図である。 １：多孔質部材、２：非孔質部材、３：内部室。
縦断面図、第３図は従来例を示す平面図、第４図は同じ
く縦断面図である。 １：多孔質部材、２：非孔質部材、３：内部室。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、第１部材に固定され、第２部材を滑動可能に支承す
るように第２部材を支持する面から支持間隙に加圧流体
を導入するようにした静圧軸受パッドにおいて、 加圧流体導入用の支持面を構成する多孔質部材と、該多
孔質部材と一体成形されて第１部材に固定される非孔質
部材とからなることを特徴とする静圧軸受パッド。 ２、多孔質部材と非孔質部材とが同一材料からなる特許
請求の範囲第１項に記載の静圧軸受パッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60035268A JPS61197816A (ja) | 1985-02-26 | 1985-02-26 | 静圧軸受パツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60035268A JPS61197816A (ja) | 1985-02-26 | 1985-02-26 | 静圧軸受パツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61197816A true JPS61197816A (ja) | 1986-09-02 |
Family
ID=12437048
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60035268A Pending JPS61197816A (ja) | 1985-02-26 | 1985-02-26 | 静圧軸受パツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61197816A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63231020A (ja) * | 1987-03-19 | 1988-09-27 | Canon Inc | 静圧軸受パツド |
| CN104220752A (zh) * | 2011-11-16 | 2014-12-17 | 惠而浦股份公司 | 限流器和气体压缩机 |
-
1985
- 1985-02-26 JP JP60035268A patent/JPS61197816A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63231020A (ja) * | 1987-03-19 | 1988-09-27 | Canon Inc | 静圧軸受パツド |
| CN104220752A (zh) * | 2011-11-16 | 2014-12-17 | 惠而浦股份公司 | 限流器和气体压缩机 |
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