JPS63215083A - 太陽電池 - Google Patents

太陽電池

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Publication number
JPS63215083A
JPS63215083A JP62047738A JP4773887A JPS63215083A JP S63215083 A JPS63215083 A JP S63215083A JP 62047738 A JP62047738 A JP 62047738A JP 4773887 A JP4773887 A JP 4773887A JP S63215083 A JPS63215083 A JP S63215083A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
solar cell
layer
transparent electrode
type layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP62047738A
Other languages
English (en)
Inventor
Shoji Morita
章二 森田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Heavy Industries Ltd filed Critical Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority to JP62047738A priority Critical patent/JPS63215083A/ja
Publication of JPS63215083A publication Critical patent/JPS63215083A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/04Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
    • H01L31/06Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers
    • H01L31/075Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers the potential barriers being only of the PIN type, e.g. amorphous silicon PIN solar cells
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
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    • H01L31/036Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by their crystalline structure or particular orientation of the crystalline planes
    • H01L31/0392Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by their crystalline structure or particular orientation of the crystalline planes including thin films deposited on metallic or insulating substrates ; characterised by specific substrate materials or substrate features or by the presence of intermediate layers, e.g. barrier layers, on the substrate
    • H01L31/03921Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by their crystalline structure or particular orientation of the crystalline planes including thin films deposited on metallic or insulating substrates ; characterised by specific substrate materials or substrate features or by the presence of intermediate layers, e.g. barrier layers, on the substrate including only elements of Group IV of the Periodic Table
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、グロー放電法によって製作されるアモルファ
スシリコン太陽電池(以下a −83太陽電池と略す)
K関する。
〔従来の技術〕
グロー放電法によって製作される1−8i太陽電池にお
いて、従来は、基板材料としてガラス、ステンレス鋼、
不透明な高分子フィルム、セラミックスなどが用いられ
ている0第2図及び第3図けJ−hp召舐*のイラス乃
tトステンレス鋼を其篇とするa=8i太陽電池の典型
的な構成を示す図であ夛、1は基板(ガラス)、2は透
明電極、3はPffi%4はJ層、5はn層、6は裏面
電極、7は基板(ステンレス鋼)、8はP層、9は1層
、10はn層、11は透明電極を示す。
〔発明が解決しようとする問題点〕
従来のa−8i太陽電池は、第2図あるいは第3図に示
したように、基板上に電極及びa−8層層を成膜した薄
膜素子であシ、その機械的強度及び素子特性は、基板材
料の影響を大きく受ける。
基板材料は、透光性を有するものとそうでないものとに
大別することができる。以下では、それぞれの基板材料
を用いたa=8に太陽電池の問題点について記述する。
(1)透光性を有する基板 透光性を有する基板材料として、ガラスが広く用いられ
ている。ガラス基板上のa−8i太陽電池を使用する場
合には、第2図に示した構成において、ガラス側から光
が入射する。このllI成の素子では、ガラスは素子の
表面保護の機能も果たしている。しかし、ガラスは可と
り性を有していないため、ガラス基板上のa−8+太陽
電池は、基本的には平面であシ、曲面には適用できない
という不具合点がある。
(2)透光性のない基板 透光性のない基板のうちステンレス鋼薄板、不透明な高
分子フィルムは可とり性を有するため、曲面に貼シ付け
て使用できるという利点がある。
しかし、この種の太陽電池では、第3図に構成を示した
ように、透明電極1ノの形成という複雑な工程を素子製
作の最終段階で行なわなければならない。またこの構成
の太陽電池では、表面保護のため、透明電極11側を透
光性梅脂やがラスで覆わなければならないことがある。
本発明は上記従来の問題点を解消し、可とう性を有し、
かつ基板側から光を入射することができる太陽電池を提
供することを目′的とする。
〔問題点を解決するための手段〕 上記従来のa −8i太陽電池の不具合点を解決するた
めKは、基板として、下記の条件を満足する材料を用い
ればよい。
(1)透光性を有すること。
(2)可とり性を有すること。
(8) 230℃付近まで耐熱性があること。
本発明による太陽電池は上記の点を考慮し、グロー放電
法によって製作されるa=si太陽電池において、可視
光領域で十分な透光性を有するポリイミドフィルムの如
き高分子フィルムを基板に用い、この基板側から元を入
射させるようにしてなることを特徴とする。
〔作用〕
本発明によれば、送元性高分子フィルムを基板として用
いることにより、可とう性を有し、基板側から光を入射
することができる太陽電池が得られ、太陽電池の適用範
囲の拡大を図ることができるO 〔実施例〕 第1図は本発明の一実施例の構成を示す図、第4図は本
発明の一実施例における透光性ポリイミドフィルムの可
視光付近の透過スペクトルを示す図、第5図は従来の不
透明高分子フィルムの透過スペクトルを示す図である。
第1図において、12は透光性高分子フィルム例えば透
光性ポリイミドフィルムからなる基板、13は透明電極
、14はP層、15は1層、16はn層、17は裏面電
極を示す。
第1図に示す本発明の一実施例においては、基板12と
して厚さ50μmの透光性ポリイミドフィルムを使用し
ている。この基板12の可視光付近の透過スペクトルは
、第4図に示すように、従来(第5図々示)のものと比
較し十分な透過率を有していることがわかる。
第1図に示す本発明の一実施例の太陽電池を製作するた
め、基板12に用いられる透光性ポリイミドフィルムを
有機溶媒を用いて洗浄した後、電子ビーム蒸着法によシ
、ITOを約200OA成膜して透明電極13を形成し
た。次にグロー放電法によシ、2層14(はう素添加a
=sic)、1層15(無添加a=8i)、n履ノロ(
リン添加a ” 8 + )をそれぞれ200A、48
00A、400A成膜した。最後に、電子ビーム蒸着法
によシ、裏面電極11として、アルミを成膜して太陽電
池とした。
上記本発明の一実施例による太陽電池の変換効率は、7
.5%でありた。変換効率は各層の膜厚及び成膜条件を
最適化することによりさらに改善される。また、上記の
太陽電池は、十分な可とり性を有しており、曲面に貼)
付けて使用できる。
〔発明の効果〕
本発明によれば、透光性高分子フィルムを基板として用
いることによシ、可とり性を有し、基板側から光を入射
することができるa=8i太陽電池が得られる0このこ
とKよ、9.a−81太陽電池の適用°範囲の拡大が期
待できる。また、本発明のa−84太陽電池は、従来の
ガラス基板上のa−8i太陽電池の製作技術が応用でき
るとともK。
自動巻取υ方式の連続生産への対応も可能である等の優
れた効果が奏せられる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例の構成を示す模式図、第2図
および第3図はそれぞれ従来例を示す模式図、第4図は
本発明の一実施例における基板の透過スペクトルを示す
図、第5図は従来例の基板の透過スペクトルを示す図で
ある。 12・・・基板、13・・・透明電極、14・・・P層
、J5・・・1層、16・・・n層、17・・・裏面電
極。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第1図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. グロー放電法によつて製作されるアモルファスシリコン
    太陽電池において、可視光領域で十分な透光性を有する
    高分子フィルムを基板に用い、この基板側から光を入射
    させるようにしてなることを特徴とする太陽電池。
JP62047738A 1987-03-04 1987-03-04 太陽電池 Pending JPS63215083A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62047738A JPS63215083A (ja) 1987-03-04 1987-03-04 太陽電池

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62047738A JPS63215083A (ja) 1987-03-04 1987-03-04 太陽電池

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS63215083A true JPS63215083A (ja) 1988-09-07

Family

ID=12783685

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62047738A Pending JPS63215083A (ja) 1987-03-04 1987-03-04 太陽電池

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JP (1) JPS63215083A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0299010U (ja) * 1989-01-27 1990-08-07
KR100333123B1 (ko) * 1998-01-28 2002-04-18 하루타 히로시 태양 전지 장치의 제조 방법

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0299010U (ja) * 1989-01-27 1990-08-07
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