JPS63210087A - 熱分解炭素被覆黒鉛材 - Google Patents
熱分解炭素被覆黒鉛材Info
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- JPS63210087A JPS63210087A JP62042176A JP4217687A JPS63210087A JP S63210087 A JPS63210087 A JP S63210087A JP 62042176 A JP62042176 A JP 62042176A JP 4217687 A JP4217687 A JP 4217687A JP S63210087 A JPS63210087 A JP S63210087A
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- graphite material
- coated graphite
- carbon coated
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- Pending
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Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は各稲用途に用いられる寿命の長い熱分解炭素被
覆黒鉛材に関する。
覆黒鉛材に関する。
（従来の技術）
熱分解炭素被櫃材の製法は通常熱ＣＶＤ法であり、被覆
温度は４００〜２１００℃である。被覆される熱分解炭
素の膜のかさ密度＃ｉ１．４〜２．２９／ｃｍ”であり
、膜の結晶子の大きさＬｃ（００２）は１０〜１５０へ
の範囲である。Ｌｃ（００２）の小さい例は特公昭５６
−３５６０３号公報に示される２５Ａであり、大きい例
は特公昭４７−９０８３号公報に示される１１０〜１５
０Ａである。
温度は４００〜２１００℃である。被覆される熱分解炭
素の膜のかさ密度＃ｉ１．４〜２．２９／ｃｍ”であり
、膜の結晶子の大きさＬｃ（００２）は１０〜１５０へ
の範囲である。Ｌｃ（００２）の小さい例は特公昭５６
−３５６０３号公報に示される２５Ａであり、大きい例
は特公昭４７−９０８３号公報に示される１１０〜１５
０Ａである。
使用原料の例としては、たとえば特公昭５６−３５６０
３号公報ではハロゲン化炭化水素であり。
３号公報ではハロゲン化炭化水素であり。
特公昭４７−９０８３号公報ではメタンである。
（発明が解決しようとする問題点）
炭素材料は酸化に対して抵抗力が小さい欠点がある。炭
素材料に熱分解炭素を被覆すると耐酸化性は向上するが
、従来のＬｃ（００２）が２００Ａ未満の熱分解炭素を
被覆した材料では耐酸化性は不十分である。このため、
各種ヒータ、るつぼ、治具等として使用した場合に寿命
が期待する程長くない問題点がある。
素材料に熱分解炭素を被覆すると耐酸化性は向上するが
、従来のＬｃ（００２）が２００Ａ未満の熱分解炭素を
被覆した材料では耐酸化性は不十分である。このため、
各種ヒータ、るつぼ、治具等として使用した場合に寿命
が期待する程長くない問題点がある。
本発明は従来材のこのような問題点を改善し。
耐酸化性のさらに良好な熱分解炭素被覆黒鉛材を提供す
ることを目的とするものである。
ることを目的とするものである。
（問題点を解決するための手段）
熱分解炭素は炭素材料であるため酸化を完全に防止する
ことはできないが、耐酸化性をさらに向上させることは
可能である。
ことはできないが、耐酸化性をさらに向上させることは
可能である。
本発明者らは熱分解炭素の耐酸化性について研究を重ね
た結果、熱分解炭素のカサ密度を２．０ｇ／ｃｆ１１３
以上、見掛の結晶子の大きさＬｃ（００２）を２００λ
以上にすることにより、耐酸化性を大幅に向上できるこ
とを見い出し、た。
た結果、熱分解炭素のカサ密度を２．０ｇ／ｃｆ１１３
以上、見掛の結晶子の大きさＬｃ（００２）を２００λ
以上にすることにより、耐酸化性を大幅に向上できるこ
とを見い出し、た。
本発明は黒鉛基材にカサ密度２．０ｇ／ｃｍ”以上。
見掛の結晶子の大きさＬｃ（００２）が２０ＯＡ以上の
熱分解炭素を被覆してなる熱分解炭素被覆黒鉛材に関す
る。
熱分解炭素を被覆してなる熱分解炭素被覆黒鉛材に関す
る。
ここで見掛の結晶子の大きさＬｃ＜ ｏ Ｏ２＞はＸ＃
ｊ回折装置を用いて、（００２）の回折ピークから次式
で得られるＣ軸方向の結晶子の大きさのことである。
ｊ回折装置を用いて、（００２）の回折ピークから次式
で得られるＣ軸方向の結晶子の大きさのことである。
ここでβは００２回折ピークの半価幅である。
本発明において、黒鉛基材は人造黒鉛が用いられ、この
中では等方性の黒鉛材が好ましい。被覆される熱分解炭
素は、かさ密度が２６／ａｍ”未満及び見掛の結晶子の
大きさＬｃ（００２）が２００Ａ未満であると耐酸化性
向上の効果がない。
中では等方性の黒鉛材が好ましい。被覆される熱分解炭
素は、かさ密度が２６／ａｍ”未満及び見掛の結晶子の
大きさＬｃ（００２）が２００Ａ未満であると耐酸化性
向上の効果がない。
上記のような熱分解炭素被覆黒鉛材を得る手段としでは
９例えば熱ＣＶＤ法を用い、ＣＶＤの温度を２３００℃
以上とすることが好ましい。熱分解炭素生成用の原料と
し５て用いる炭素化合物は。
９例えば熱ＣＶＤ法を用い、ＣＶＤの温度を２３００℃
以上とすることが好ましい。熱分解炭素生成用の原料と
し５て用いる炭素化合物は。
特に制限はないが、メタン、プロパン、ベンゼン等の炭
化水素、ジクロロエチレン、トリクロロエタン等のハロ
ゲン化炭化水素が好ましい。
化水素、ジクロロエチレン、トリクロロエタン等のハロ
ゲン化炭化水素が好ましい。
（実施例）
次に本発明の詳細な説明する。
通常の間接加熱減圧方式のＣＶＤ炉により、原料にベン
ゼンを用い、炉内圧力を２０ Ｔｏｒｒ以下に保ちなが
ら第１表に示す温度で、１０薗角Ｘ厚さ２ｍｍに加工し
た等方性黒鉛基材（日立化成主業製、ＰＯ−３２０）の
全面に熱分解炭素の膜を４０μｍの厚さに被覆した。こ
の場合の膜の特性及び酸化速度を第１表に示す。
ゼンを用い、炉内圧力を２０ Ｔｏｒｒ以下に保ちなが
ら第１表に示す温度で、１０薗角Ｘ厚さ２ｍｍに加工し
た等方性黒鉛基材（日立化成主業製、ＰＯ−３２０）の
全面に熱分解炭素の膜を４０μｍの厚さに被覆した。こ
の場合の膜の特性及び酸化速度を第１表に示す。
以下余白
第 １ 表
ｍ１表における酸化速度は、７００℃に加熱された炉内
に試料を入れ、空気を通じて毎時１ ｃｍ”当りの重量
減を求めたものである。
に試料を入れ、空気を通じて毎時１ ｃｍ”当りの重量
減を求めたものである。
第１表から実施例のものけ、比較例のものに較べて耐酸
化速度が格段に向上しているのがわかる。
化速度が格段に向上しているのがわかる。
（発明の効果）
本発明によれば、熱分解炭素被覆黒鉛材の耐酸化性が大
幅に向上し、耐熱性を要求されるヒータ。
幅に向上し、耐熱性を要求されるヒータ。
るつぼ、治鴎等に用いてその寿命を延長できる。
Claims (1)
- １、黒鉛基材にかさ密度が２ｇ／ｃｍ＾３以上、見掛の
結晶子の大きさＬｃ＿（＿０＿０＿２＿）が２００Å以
上の熱分解炭素を被覆してなる熱分解炭素被覆黒鉛材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62042176A JPS63210087A (ja) | 1987-02-25 | 1987-02-25 | 熱分解炭素被覆黒鉛材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62042176A JPS63210087A (ja) | 1987-02-25 | 1987-02-25 | 熱分解炭素被覆黒鉛材 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63210087A true JPS63210087A (ja) | 1988-08-31 |
Family
ID=12628673
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62042176A Pending JPS63210087A (ja) | 1987-02-25 | 1987-02-25 | 熱分解炭素被覆黒鉛材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63210087A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0268312A (ja) * | 1988-09-02 | 1990-03-07 | Tokyo Gas Co Ltd | 複合炭素繊維およびその製造方法 |
| JP2007309668A (ja) * | 2006-05-16 | 2007-11-29 | Biologica:Kk | レーザー脱離イオン化質量分析用サンプルプレート |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6330385A (ja) * | 1986-07-21 | 1988-02-09 | 東洋炭素株式会社 | 加熱用保護炭素質材料 |
-
1987
- 1987-02-25 JP JP62042176A patent/JPS63210087A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6330385A (ja) * | 1986-07-21 | 1988-02-09 | 東洋炭素株式会社 | 加熱用保護炭素質材料 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0268312A (ja) * | 1988-09-02 | 1990-03-07 | Tokyo Gas Co Ltd | 複合炭素繊維およびその製造方法 |
| JP2007309668A (ja) * | 2006-05-16 | 2007-11-29 | Biologica:Kk | レーザー脱離イオン化質量分析用サンプルプレート |
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