JPH04119990U

JPH04119990U - ウエ−ハ状積層セラミツクスヒ−タ−

Info

Publication number: JPH04119990U
Application number: JP3186191U
Authority: JP
Inventors: 昇木村; 芳宏久保田; 今朝治原田
Original assignee: 信越化学工業株式会社
Priority date: 1991-04-09
Filing date: 1991-04-09
Publication date: 1992-10-27

Abstract

(57)【要約】（修正有）【目的】本考案は、ヒ−タ−部の形状、構造を変える
ことによって、ヒ−タ−部の面内温度分布を均一にする
ようにしたウエ−ハ状積層セラミックスヒ−タ−の提供
を目的とするものである。【構成】本考案のウエ−ハ状積層セラミックスヒ−タ
−は、熱分解窒化ほう素および熱分解炭素よりなるウエ
−ハ状積層セラミックスヒ−タ−において、熱分解炭素
からなるヒ−タ−部パタ−ンが中心から外周にいくにし
たがってその電気抵抗が徐々に増加するようにしてなる
ことを特徴とするものである。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案はウエ−ハ状積層セラミックスヒ−タ−、特にはヒ−タ−部の形状、構造を変えることによってヒ−タ−の面内温度分布を均一にするようにしたウエ− ハ状積層セラミックスヒ−タ−に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

電子部品、半導体工業などにおいては、基板上に耐熱性の薄膜を形成する工程が多く、これは化学気相蒸着法（ＣＶＤ法）、分子線エピタキシ−法（ＭＢＥ法）、スパッタ−法などによっ行なわれているが、この際における基板の加熱には円形のセラミックス基板上に炭素や金属体などからなるヒ−タ−部分を設置したウエ−ハ状積層セラミックスヒ−タ−が汎用されている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかし、この従来公知のウエ−ハ状セラミックスヒ−タ−では、通常このヒ− タ−部分が中心から外周に渦巻状に配置されているために通電時に外周にいくにしたがって温度が低下し、したがって得られる薄膜の特性値がバラツキ易いという欠点がある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

本考案はこのような不利を解決したウエ−ハ状積層セラミックスヒ−タ−に関するものであり、これは熱分解窒化ほう素と熱分解炭素とからなるウエ−ハ状積層セラミックスヒ−タ−において、熱分解炭素からなるヒ−タ−部パタ−ンを中心から外周にいくにしたがってその電気抵抗が徐々に増加するようにしてなることを特徴とするものである。

【０００５】すなわち、本考案者らは面内温度分布が均一になるようにしたウエ−ハ状積層セラミックスヒ−タ−を開発すべく種々検討した結果、熱分解窒化ほう素と熱分解炭素とよりなるウエ−ハ状積層セラミックスヒ−タ−において、この熱分解炭素からなるヒ−タ−部パタ−ンを均一とせずに、このヒ−タ−パタ−ンを中心から外周にいくにしたがってその電気抵抗が徐々に増加するようにすれば、通電時における発熱が中心から外周にしたがって徐々に上昇するようになるので、面内温度分布が均一になることを見出し、この電気抵抗を徐々に増加させる方法などについての研究を進めて本考案を完成させた。以下にこれをさらに詳述する。

【０００６】

【作用】

本考案は面内温度分布が均一になるようにしたウエ−ハ状積層セラミックスヒ −タ−に関するものであり、これはヒ−タ−部パタ−ンを中心から外周にいくにしたがってその電気抵抗が徐々に増加するようにしてなることを特徴とするものである。

【０００７】本考案になるウエ−ハ状積層セラミックスヒ−タ−自体は熱分解窒化ほう素からなるウエ−ハ状セラミックスヒ−タ−基体の表面部に熱分解炭素からなるヒ− タ−部を中心から外側に渦巻状に配置したものとされる。この基体はそれが高純度であり、耐熱性、ヒ−トショック性がよく、また脱ガスもないということから化学気相蒸着法（ＣＶＤ法）で作られた熱分解窒化ほう素で作られたものとされ、このヒ−タ−部も高純度で、加熱処理時に不純物により被処理物を汚染することがないものとするということから、純度の高い合成有機化合物、例えば熱硬化性樹脂などの高温焼成で作られた熱分解炭素で作られたものとされる。

【０００８】本考案のウエ−ハ型積層セラミックスヒ−タ−ではこのヒ−タ−部パタ−ンが中心から外周にいくにしたがって徐々に電気抵抗が増加するようにされ、これによって通電時には従来品では中心から外周にいくにしたがって発熱量が徐々に低下するのを面内で均一になるようにしたものである。

【０００９】本考案のウエ−ハ状積層セラミックスヒ−タ−では上記したようにヒ−タ−部パタ−ンが中心から外周にいくにしたがって電気抵抗が徐々に増加するようにされるのであるが、これには1)このヒ−タ−部を構成する熱分解炭素を全体にわたって均質のものとせず、この熱分解炭素自体を中心から外側にいくにしたがって電気抵抗が徐々に上昇したものとする方法、例えばこの熱分解炭素に含有されるシリカ(SiO₂)、酸化ほう素(B₂O₃)、窒化ほう素(BN)などの量を中心から外周にいくにしたがって徐々に増加させればよいし、これはまた、2)この熱分解炭素で作られたヒ−タ−部の断面積を中心から外周にいくにしたがって徐々に小さくする方法、例えばこのヒ−タ−部を中心から外側にいくにしたがって徐々に細くするか、徐々に薄くするようにすればよい。

【００１０】本考案によるヒ−タ−部の電気抵抗を中心から外周にいくにしたがって徐々に増加させるには、上記したようにこのヒ−タ−部の断面積を徐々に小さくすればよいのであるが、これは例えばヒ−タ−部を構成する厚さが一定の熱分解炭素層の幅を中心から外周にいくにしたがって徐々に細くすればよく、これによればヒ −タ−部の電気抵抗が中心から外周にいくにしたがって徐々に増加するので、通電時における発熱量が中心から外周にいくにしたがって徐々に増加し、結果において中心から外周にいくにしたがって面積が増加してもヒ−タ−の面内温度分布を均一にすることができるという有利性が与えられるが、この実施態様の例については図１〜図６に示されている。

【００１１】

【実施例】

つぎに本考案の実施例、比較例をあげる。実施例、比較例直径100mm φ、厚さ１mmの熱分解窒化ほう素製のセッラミックス基板に熱ＣＶＤ法で厚さ50μm の熱分解炭素層を形成し、これを機械加工して図１、図２に示したようにパタ−ニングをして熱分解炭素層が中心から外周にいくにしたがって徐々に細くなるようにして(11mm →9mm、 16mm →9mm、）、ウエ−バ型積層セッラミックスヒ−タ−Ａを作ると共に、比較のためにこのヒ−タ−部としての熱分解炭素層の幅を10mmと一定とした以外は実施例と同一の方法でウエ−ハ型積層セッラミックスヒ−タ−Ｂを作った。

【００１２】つぎにこのウエ−ハ型積層セッラミックスヒ−タ−Ａ、Ｂに電流を流して加熱させ、このものの表面温度を測定したところ、第７図に示したとおりの結果が得られ、本考案によるウエ−ハ型積層セッラミックスヒ−タ−Ａは表面全体にわたって均一な温度分布を示したけれども比較例としてのウエ−ハ型積層セッラミックスヒ−タ−Ｂは外周にいくにしたがって温度が低下し、均一な温度分布を示さないことが確認された。

【００１３】

【考案の効果】

本考案はウエ−ハ状積層セッラミックスヒ−タ−に関するものであり、これは熱分解窒化ほう層および熱分解炭素よりなるウエ−ハ状積層セッラミックスヒ− タ−において、熱分解炭素からなるヒ−タ−部パタ−ンが中心から外周にいくにしたがってその電気抵抗が徐々に増加するようにされていることを特徴とするものであるが、これによればそのヒ−タ−部パタ−ンが中心から外周にいくにしたがってその電気抵抗が徐々に増加するようにされているので、これに通電するとこのヒ−タ−部は中心から外周にいくにしたがって徐々にその発熱量が増加し、結果においてヒ−タ−面が中心から外周にいくにしたがって徐々に表面積が増加しているが面内温度分布が均一になるという有利性が与えられる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案のウエ−ハ型積層セッラミックスヒ−タ
−の平面図である。

【図２】図１に示した本考案のウエ−ハ型積層セッラミ
ックスヒ−タ−の縦断面図である。

【図３】本考案のウエ−ハ型積層セッラミックスヒ−タ
−の他の実施例の平面図である。

【図４】図３に示した本考案のウエ−ハ型積層セッラミ
ックスヒ−タ−の縦断面図である。

【図５】本考案のウエ−ハ型積層セッラミックスヒ−タ
−のさらに他の実施例の平面図である。

【図６】図５に示した本考案のウエ−ハ型積層セラミッ
クスヒ−タ−の縦断面図である。

【図７】本考案の実施例、比較例で作られたウエ−ハ型
積層セッラミックスヒ−タ−の通電時におけるヒ−タ−
位置とヒ−タ−表面温度との関係図である。

【符号の説明】

１・・・セラミックス基体（熱分解窒化ほう素製）２・・・ヒ−タ−部（熱分解炭素製）３・・・電気端
子部。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｈ０５Ｂ 3/84

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】熱分解窒化ほう素および熱分解炭素より
なるウエ−ハ状積層セラミックスヒ−タ−において、熱
分解炭素からなるヒ−タ−部パタ−ンが中心から外周に
いくにしたがってその電気抵抗が徐々に増加するように
してなることを特徴とするウエ−ハ状積層セラミックス
ヒ−タ−。
【請求項２】分解型炭素のヒ−タ−パタ−ンの断面積
が外周にいくにしたがって低下するようにしてなる請求
項１に記載したウエ−ハ状積層セラミックスヒ−タ−。