JPS63195944A - 金属蒸気放電灯 - Google Patents
金属蒸気放電灯Info
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- JPS63195944A JPS63195944A JP2641487A JP2641487A JPS63195944A JP S63195944 A JPS63195944 A JP S63195944A JP 2641487 A JP2641487 A JP 2641487A JP 2641487 A JP2641487 A JP 2641487A JP S63195944 A JPS63195944 A JP S63195944A
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Landscapes
- Discharge Lamp (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、光化学反応を生じさせる紫外線光源として用
いられる金属蒸気放電灯に関し、特に半導体を製造する
際に、レジストの耐熱性向上のために行なわれるハード
ニングに好適に用いられる金属蒸気放電灯に関するもの
である。
いられる金属蒸気放電灯に関し、特に半導体を製造する
際に、レジストの耐熱性向上のために行なわれるハード
ニングに好適に用いられる金属蒸気放電灯に関するもの
である。
一般に、半導体の製造においては、ウェハー基板上に塗
布されたレジスト膜に所定の画像パターンを介して紫外
線を照射した後、レジスト溶解液等にて溶解して微細像
のレジストパターンを形成させ、次にレジストの密着性
を改善するためにポストベークがなされるが、このポス
トベークの時にレジストの耐熱性が劣るために、微細像
のレジストパターンがウェハーから剥離したり、型ずれ
を起こしたりするため、ポストベークの前にあるいは同
時にウェハー基板上に残存するレジストに更に紫外線を
照射して硬化さセ(以下、「ハードニング」という)、
その後、露出するウェハーに不純物イオン注入等の処理
がなされる。このレジストのハードニングは、光吸収に
よる高分子化合物の光化学反応によるもので、最も有効
な光の波長域としては、約220〜330 n@の範囲
である紫外線の領域であり、330〜450 nmの出
力が強いと、レジストのfai類によっては発泡現象を
起こすので好ましくない。
布されたレジスト膜に所定の画像パターンを介して紫外
線を照射した後、レジスト溶解液等にて溶解して微細像
のレジストパターンを形成させ、次にレジストの密着性
を改善するためにポストベークがなされるが、このポス
トベークの時にレジストの耐熱性が劣るために、微細像
のレジストパターンがウェハーから剥離したり、型ずれ
を起こしたりするため、ポストベークの前にあるいは同
時にウェハー基板上に残存するレジストに更に紫外線を
照射して硬化さセ(以下、「ハードニング」という)、
その後、露出するウェハーに不純物イオン注入等の処理
がなされる。このレジストのハードニングは、光吸収に
よる高分子化合物の光化学反応によるもので、最も有効
な光の波長域としては、約220〜330 n@の範囲
である紫外線の領域であり、330〜450 nmの出
力が強いと、レジストのfai類によっては発泡現象を
起こすので好ましくない。
従来、この紫外線を照射する光源ランプとしては、一般
に低圧水銀灯や高圧水銀灯が使用されているが、前者は
アーク長が長くなると共に大きな出力が得られないので
、後者の高圧水銀灯が主に使用されている。
に低圧水銀灯や高圧水銀灯が使用されているが、前者は
アーク長が長くなると共に大きな出力が得られないので
、後者の高圧水銀灯が主に使用されている。
しかしながら、高圧水銀灯における発光は多数の輝線ス
ペクトルからなっており、各スペクトルが相当の広い波
長域にわたって分散しているため、前記したハードニン
グに有効な波長域以外も強く放射する。特に330nm
以上の長波長のスペクトル線は有害であるためフィルタ
ーでm1tlrしてレジストのハードニングに使用され
ているが、フィルターは有効波長域をも減衰させてしま
うという問題点を有している。
ペクトルからなっており、各スペクトルが相当の広い波
長域にわたって分散しているため、前記したハードニン
グに有効な波長域以外も強く放射する。特に330nm
以上の長波長のスペクトル線は有害であるためフィルタ
ーでm1tlrしてレジストのハードニングに使用され
ているが、フィルターは有効波長域をも減衰させてしま
うという問題点を有している。
そこで、最近では発光管内に水銀を添加せずに他の金属
ハロゲン化物を発光物質として封入し、特定波長の光の
発光を得る金属蒸気放電灯が開発されているが、有効波
長域のスペクトルの出力は水銀に比べて低いという問題
点を有している。
ハロゲン化物を発光物質として封入し、特定波長の光の
発光を得る金属蒸気放電灯が開発されているが、有効波
長域のスペクトルの出力は水銀に比べて低いという問題
点を有している。
このような現状において、水銀を使用せずに所期の光化
学反応を十分に起こさせる、特に半導体製造用レジスト
が硬化される220〜330 nmの範囲の紫外線を高
い効率で発光する金属蒸気放電灯は、未だ得られていな
のが実情である。
学反応を十分に起こさせる、特に半導体製造用レジスト
が硬化される220〜330 nmの範囲の紫外線を高
い効率で発光する金属蒸気放電灯は、未だ得られていな
のが実情である。
本発明の目的は、以上の如き事情に基いてされたもので
あって、その目的は、光化学反応、特に半導体のレジス
トの耐熱性を向上させるハードニングにおいて有効な波
長域の紫外線を高い効率で放射する水銀を添加しない金
属蒸気放電灯を提供することにある。
あって、その目的は、光化学反応、特に半導体のレジス
トの耐熱性を向上させるハードニングにおいて有効な波
長域の紫外線を高い効率で放射する水銀を添加しない金
属蒸気放電灯を提供することにある。
本発明の金属蒸気放電灯は、水銀を含有しない発光管の
内部にハロゲンとバッファーガスと発光物質としてスズ
およびビスマスの少なくとも一種以上を封入してなる金
属蒸気放電灯において、前記バッファーガスとして5〜
300 Toorのキセノンガスを封入してなることを
特徴としている。
内部にハロゲンとバッファーガスと発光物質としてスズ
およびビスマスの少なくとも一種以上を封入してなる金
属蒸気放電灯において、前記バッファーガスとして5〜
300 Toorのキセノンガスを封入してなることを
特徴としている。
本発明の金属蒸気放電灯は、水銀を使用せずに、330
nm以下に主な輝線スペクトルを有するスズおよびビ
スマスの少なくとも一種以上を封入しているので220
〜330 rvの有効波長域の紫外線を効率良く発光さ
せることができる。しかも、封入ガスとしてキセノンガ
スを用いるので、アルゴンガスに比べて220〜330
nmの有効波長域の出力を激しく増大させることがで
きる。キセノンガスは封入量(キセノンガスの分圧)に
比例してスズおよびビスマスのスペクトル強度を増加さ
せる傾向にあるが、このキセノンガスの封入量としては
常温で5〜300 Toorの範囲が好ましい*5To
or未満では有効波長域の出力を増大させる効果が少な
く、300 Toorを超える場合には、発光管の電極
間のアークが細くなり持ち上がり現象を越し始め、さら
にアークが発光管に接触するに至りアーク失透が起こり
好ましくない。
nm以下に主な輝線スペクトルを有するスズおよびビ
スマスの少なくとも一種以上を封入しているので220
〜330 rvの有効波長域の紫外線を効率良く発光さ
せることができる。しかも、封入ガスとしてキセノンガ
スを用いるので、アルゴンガスに比べて220〜330
nmの有効波長域の出力を激しく増大させることがで
きる。キセノンガスは封入量(キセノンガスの分圧)に
比例してスズおよびビスマスのスペクトル強度を増加さ
せる傾向にあるが、このキセノンガスの封入量としては
常温で5〜300 Toorの範囲が好ましい*5To
or未満では有効波長域の出力を増大させる効果が少な
く、300 Toorを超える場合には、発光管の電極
間のアークが細くなり持ち上がり現象を越し始め、さら
にアークが発光管に接触するに至りアーク失透が起こり
好ましくない。
すなわち、前述したように、半導体用レジストのハード
ニングに有効な波長域は、220〜330 rvの範囲
の紫外線であって、この範囲の発光量を強くするために
は、水銀の代わりにスズ、ビスマスの少なくとも一種以
上を光電管に圧封入すると共に、パフファーガスとして
5〜300 Toorにキセノンガスを封入した本発明
の金属蒸気放電灯は、レジストのハードニングに有効な
紫外線出力を発光する光源とすることができる。
ニングに有効な波長域は、220〜330 rvの範囲
の紫外線であって、この範囲の発光量を強くするために
は、水銀の代わりにスズ、ビスマスの少なくとも一種以
上を光電管に圧封入すると共に、パフファーガスとして
5〜300 Toorにキセノンガスを封入した本発明
の金属蒸気放電灯は、レジストのハードニングに有効な
紫外線出力を発光する光源とすることができる。
スズまたはビスマスは、発光管に封入するにあたって、
金属単体とハロゲンあるいはそのハロゲン化物が用いら
れる。スズ、ビスマスの封入量は極く僅かでよく、例え
ば発光管の内容積lee当たり3〜5XlO−’モルの
添加量で十分に大きな効果が得られる。
金属単体とハロゲンあるいはそのハロゲン化物が用いら
れる。スズ、ビスマスの封入量は極く僅かでよく、例え
ば発光管の内容積lee当たり3〜5XlO−’モルの
添加量で十分に大きな効果が得られる。
なお、マンガン、鉛を封入すると、220〜330n’
sの出力を増加させることはできるものの、レジストの
発泡現象を起こす330〜450 nmの出力をも増加
させることなりレジストのハードニングには好ましくな
い。
sの出力を増加させることはできるものの、レジストの
発泡現象を起こす330〜450 nmの出力をも増加
させることなりレジストのハードニングには好ましくな
い。
以下、本発明を具体的に説明する。
第1図は光化学反応における光源として使用される定格
4KWの金属蒸気放電灯を示すが、内径が22mm、内
容積が約100 ccのオゾンレス石英管からなる発光
管l内に一対の電極2.2が対向位置され、ti間距離
は250mmである0発光管1の両端がシール部11で
あり、シール部11にモリブデンtt33が封着され、
このモリブデン箔3を介して外部リード捧4と電極2と
が電気的に接続されている。
4KWの金属蒸気放電灯を示すが、内径が22mm、内
容積が約100 ccのオゾンレス石英管からなる発光
管l内に一対の電極2.2が対向位置され、ti間距離
は250mmである0発光管1の両端がシール部11で
あり、シール部11にモリブデンtt33が封着され、
このモリブデン箔3を介して外部リード捧4と電極2と
が電気的に接続されている。
上記のように構成されてなる発光管1内に沃化スズ2.
6■、スズ0.25■および沃化ビスマス0.7■の混
合物、150 Toorのキセノンガスを封入されて金
属蒸気放電灯を作製した。さらに、比較のために、スズ
、ビスマスそのハロゲン化物は同量として、バッファー
ガスとしてアルゴンガスを150Toorの圧力で封入
したものを他に製作して比較に供した。
6■、スズ0.25■および沃化ビスマス0.7■の混
合物、150 Toorのキセノンガスを封入されて金
属蒸気放電灯を作製した。さらに、比較のために、スズ
、ビスマスそのハロゲン化物は同量として、バッファー
ガスとしてアルゴンガスを150Toorの圧力で封入
したものを他に製作して比較に供した。
第2図および第3図は本発明の金属蒸気放電灯の発光ス
ペクトルの分光分布を示すグラフおよび比較例の金属蒸
気放電灯の発光スペクトルの分光分布を示すグラフであ
り、横軸に輝線スペクトルの波長(nm)を示し、縦軸
に出力相対値(%)を示してあり、100%における絶
対エネルギー値は両図とも同じである。
ペクトルの分光分布を示すグラフおよび比較例の金属蒸
気放電灯の発光スペクトルの分光分布を示すグラフであ
り、横軸に輝線スペクトルの波長(nm)を示し、縦軸
に出力相対値(%)を示してあり、100%における絶
対エネルギー値は両図とも同じである。
これらの図から明らかなように、第2図に示した本発明
のキセノンガス入り金属蒸気放電灯の有効波長域220
〜330 IImの出力相対値は第3図に示したアルゴ
ンガス入り金属蒸気放電灯の有効波長域220〜330
n+eの出力相対値を100とすれば189であって
約1.9倍まで増大しているが、レジストのハードニン
グに有害な330〜450nmの領域における増加割合
は出力相対値で1.35倍に止まっており、有効波長域
の増大が著しい。
のキセノンガス入り金属蒸気放電灯の有効波長域220
〜330 IImの出力相対値は第3図に示したアルゴ
ンガス入り金属蒸気放電灯の有効波長域220〜330
n+eの出力相対値を100とすれば189であって
約1.9倍まで増大しているが、レジストのハードニン
グに有害な330〜450nmの領域における増加割合
は出力相対値で1.35倍に止まっており、有効波長域
の増大が著しい。
更に、従来の水銀灯に比べ有害スペクトル領域の出力相
対値を激減でき、レジストのハードニングに好適な金属
蒸気放電灯を提供することができる。
対値を激減でき、レジストのハードニングに好適な金属
蒸気放電灯を提供することができる。
また、スズ又はビスマスを添加したことによる始動電圧
、再点弧電圧などの電気特性への影響もほとんどない。
、再点弧電圧などの電気特性への影響もほとんどない。
以上説明したように、本発明の金属蒸気放電灯は水銀を
含有しない発光管の内部にハロゲンとバッファーガスと
発光物質としてスズおよびビスマスの少なくとも一種以
上を封入してなる金属蒸気放電灯において、前記バッフ
ァーガスとして5〜300 Toorのキセノンガスを
封入するように構成したので、光化学反応特にレジスト
のハードニングに有効な波長域220〜330 nmの
発光スペクトル出力を大きく増加させることができる。
含有しない発光管の内部にハロゲンとバッファーガスと
発光物質としてスズおよびビスマスの少なくとも一種以
上を封入してなる金属蒸気放電灯において、前記バッフ
ァーガスとして5〜300 Toorのキセノンガスを
封入するように構成したので、光化学反応特にレジスト
のハードニングに有効な波長域220〜330 nmの
発光スペクトル出力を大きく増加させることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る金属蒸気放電好球の一実施例を示
す説明用断面図、第2図は本発明の金属蒸気放電灯にお
ける発光スペクトルの分光分布を示すグラフ、第3図は
比較例の金属蒸気放電灯の分光分布を示すグラフである
。 1・・・発光管 2・・・電極3・・・モ
リブデン箔 4・・・外感線11・・・シール部
す説明用断面図、第2図は本発明の金属蒸気放電灯にお
ける発光スペクトルの分光分布を示すグラフ、第3図は
比較例の金属蒸気放電灯の分光分布を示すグラフである
。 1・・・発光管 2・・・電極3・・・モ
リブデン箔 4・・・外感線11・・・シール部
Claims (1)
- 1)水銀を含有しない発光管の内部にハロゲンとバッフ
ァーガスと発光物質としてスズおよびビスマスの少なく
とも一種以上を封入してなる金属蒸気放電灯において、
前記バッファーガスとして5〜300Toorのキセノ
ンガスを封入してなることを特徴とする金属蒸気放電灯
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2641487A JPH0732000B2 (ja) | 1987-02-09 | 1987-02-09 | 金属蒸気放電灯 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2641487A JPH0732000B2 (ja) | 1987-02-09 | 1987-02-09 | 金属蒸気放電灯 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63195944A true JPS63195944A (ja) | 1988-08-15 |
JPH0732000B2 JPH0732000B2 (ja) | 1995-04-10 |
Family
ID=12192889
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2641487A Expired - Lifetime JPH0732000B2 (ja) | 1987-02-09 | 1987-02-09 | 金属蒸気放電灯 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0732000B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6528946B2 (en) | 1997-06-06 | 2003-03-04 | Harison Toshiba Lighting Corp. | Compact-type metal halide discharge lamp |
JP2008524809A (ja) * | 2004-12-20 | 2008-07-10 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | 水銀非含有、ナトリウム非含有の組成物およびそれを組み込む放射線源 |
JP2011076724A (ja) * | 2009-09-29 | 2011-04-14 | Ushio Inc | ロングアーク型放電ランプ |
-
1987
- 1987-02-09 JP JP2641487A patent/JPH0732000B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6528946B2 (en) | 1997-06-06 | 2003-03-04 | Harison Toshiba Lighting Corp. | Compact-type metal halide discharge lamp |
US6873109B2 (en) | 1997-06-06 | 2005-03-29 | Harison Toshiba Lighting Corporation | Metal halide discharge lamp, lighting device for metal halide discharge lamp, and illuminating apparatus using metal halide discharge lamp |
US7057349B2 (en) | 1997-06-06 | 2006-06-06 | Harison Toshiba Lighting Corporation | Lightening device for metal halide discharge lamp |
JP2008524809A (ja) * | 2004-12-20 | 2008-07-10 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | 水銀非含有、ナトリウム非含有の組成物およびそれを組み込む放射線源 |
JP2011076724A (ja) * | 2009-09-29 | 2011-04-14 | Ushio Inc | ロングアーク型放電ランプ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0732000B2 (ja) | 1995-04-10 |
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