JPH0578138B2 - - Google Patents

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JPH0578138B2
JPH0578138B2 JP57056606A JP5660682A JPH0578138B2 JP H0578138 B2 JPH0578138 B2 JP H0578138B2 JP 57056606 A JP57056606 A JP 57056606A JP 5660682 A JP5660682 A JP 5660682A JP H0578138 B2 JPH0578138 B2 JP H0578138B2
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JP
Japan
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radiance
light source
metal halide
wall load
tai
Prior art date
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Application number
JP57056606A
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English (en)
Other versions
JPS58175251A (ja
Inventor
Makoto Yasuda
Seiichi Murayama
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Priority to US06/477,620 priority patent/US4622493A/en
Priority to DE3312398A priority patent/DE3312398C2/de
Publication of JPS58175251A publication Critical patent/JPS58175251A/ja
Publication of JPH0578138B2 publication Critical patent/JPH0578138B2/ja
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J61/00Gas-discharge or vapour-discharge lamps
    • H01J61/02Details
    • H01J61/12Selection of substances for gas fillings; Specified operating pressure or temperature
    • H01J61/18Selection of substances for gas fillings; Specified operating pressure or temperature having a metallic vapour as the principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J61/00Gas-discharge or vapour-discharge lamps
    • H01J61/82Lamps with high-pressure unconstricted discharge having a cold pressure > 400 Torr

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  • Discharge Lamp (AREA)
  • Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
  • Vessels And Coating Films For Discharge Lamps (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は発光管内に金属のハロゲン化物を封入
してなるメタルフライドランプの改良に係り、特
に、この種のランプにおいて、理化学機器に用い
られる紫外域において高い放射輝度を持つ高輝度
紫外線光源の広帯域高輝度化に関する。
理化学機器に用いられる紫外線光源としては、
現在、重水素放電ランプがあり、このランプは最
も広く用いられている。ところで、これら理化学
機器の検出限界は光源の光強度に依存する。最
近、極微量の分析が必要になつてくるとともに、
高い放射輝度を持つ紫外線光源が要求されてい
る。このため、重水素放電ランプに代を放射輝度
に高い紫外線光源として特開昭52−45391号で開
示された、タンタルのハロゲン化物を封入したメ
タルハライドランプがある。このランプは220〜
450nmの波長範囲において連続スペクトルを持
つているが、波長が245nm付近より短波長側で
はその放射輝度はかなり低かつた。このため、波
長が245nm付近より短波長側での測定には使用
できないという欠点があつた。例えば、吸光光度
計を用いて糖や有機酸等を検出するには、これら
は近紫外域で吸収を持たないため、波長が210n
m付近、またはそれにより短波長域において測定
するが、これらの測定には用いることができなか
つた。
したがつて、本発明の目的は紫外域での広い波
長範囲にわたつて放射輝度の高い高輝度紫外線光
源を提供することにある。
本発明の要旨は、ランプ用ガラス管内に水銀お
よびタンタルのハロゲン化物を封入したメタルハ
ライドランプにおいて、前記ガラス管の管壁負荷
は13W/cm2以上であり、前記タンタルのハロゲン
化物の封入量は前記水銀の封入量に対してモル比
で20%以下の有限値であることを特徴とするメタ
ルハライドランプにある。
かかる本発明の特徴的な構成によつて、波長が
190〜245nm付近の水銀の分子発光をも効率よく
発光させることができるようになり、その結果、
波長が190〜450nm付近の広い範囲にわたり放射
輝度の高い高輝度紫外線光源の提供が可能とな
る。
以下、本発明を図を用いて詳細に述べる。
はじめに本発明の原理について述べる。
ここで、管壁負荷とは、測光部分の放電で消費
される電力をその部分の発光管の表面積で割つた
値と定義される。円筒状の発光管の場合、測光部
の放電の単位長当りの消費電力をP(W/cm)と
し、発光管内半径をR(cm)とすると、P/
(2πR)で定義される。
さて、従来より、メタルハライドランプにおい
ては、その発光効率をあげたり、所望の電気的特
性を得るために、水銀を添加して封入することが
一般的に行われている。本発明者等も2つのタン
グステン主電極を備えた石英製発光管にTaI52
mg/cm3、Hg6mg/cm3、Ar25torrを封入したメタ
ルハライドランプを製作し、その放射輝度を測定
した。第1図はその測定結果を示したものであ
る。第1図のグラフは管壁負荷をパラメータと
し、従来用いられてきた重水素放電ランプの放射
輝度を1とした時の各波長における相対値を縦軸
で示したものである。波長が245nm付近より長
波長側のスペクトルはTaI5の分子発光にHgの原
子発光が重なつたものであり、十分な放射輝度を
持つている。これに対して、波長が245nm付近
より短波長側の連続スペクトルはHg2の分子発光
によるものである。ところで、第1図に示すごと
く、管壁負荷(W/cm2)を増加させることによ
り、Hg2の分子発光も十分に有効な放射輝度を持
つことを見い出した。すなわち、Hg2の分子発光
は管壁負荷の増加とともに顕著に強くなる。この
ようすを第2図に示した。図中、曲線aはHg2
分子発光による225〜230nmの放射輝度、曲線b
はTaI5の分子発光による320〜325nmの放射輝
度、曲線cはHgの原子発光が主である280〜285n
mの放射輝度を重水素放電ランプの放射輝度に対
する相対値で示したものである。第2図より、
Hg2の分子発光(曲線a)はTaI5の分子発光(曲
線b)やHgの原子発光(曲線c)と比較して管
壁負荷の増加により急激に強くなるのがわかる。
このため、波長が190nm付近より長波長側に十
分な強度の連続スペクトルを持つ光源を得るため
には、管壁負荷をいくらに設定するかが非常に重
要となる。従来から用いられている重水素放電ラ
ンプより放射輝度が高くなるためには、225〜
230nmの波長域での放射輝度が重水素放電ラン
プより高いことが必要で、それには、第2図より
管壁負荷が13W/cm2以上であれば良いことが判
る。
このような管壁負荷が13W/cm2以上の高輝度紫
外線光源についてさらに実験を行つたところ次の
ような事実が判明した。すなわち、タンタルのハ
ロゲン化物の封入量と水銀の封入量との比を増加
させると、タンタルのハロゲン化物による分子発
光を強くすることができる。しかし、この時、放
電プラズマの温度が下がり、波長が245nmより
短波長側にスペクトルを持つHg2の分子発光は逆
く弱くなる。TaI5、HgおよびAr25torrを封入し
たランプにおいて、TaI5とHgとの封入量のモル
比を種々変えて製作したランプにおけるTaI5
Hg2との分子発光の放射輝度を第3図に示した。
図中曲線dはTaI5の分子発光である340nmの、
曲線eはHg2の分子発光である220nmの、管壁負
荷46W/cm2の場合における放射輝度を相対値で示
している。第3図より、封入量のモル比が20%以
下の範囲では、Hg2の分子発光(曲線e)は十分
な放射輝度を持ち、波長が190〜450nmの範囲で
連続スペクトルを有する高輝度紫外線光源が実現
できることがわかる。
さらに実験を進めたところ、次のような事実も
判明した。すなわちタンタルのハロゲン変物は高
い飽和蒸気圧を持つている。たとえば、TaI5
300℃で約20torrの飽和蒸気圧である。メタルハ
ライドランプの寿命は発光管の温度が低いほど長
くなる。このため、タンタルハロゲン変物を封入
したランプにおいて、最冷部の温度が600℃未満
とすることにより、発光に十分な蒸気圧を保つた
まま寿命の長い光源が実現できる。
次に、本発明の一実施例を第4図により説明す
る。同図において、石英等で構成され紫外線を透
過する発光管1の2ケ所においてタングステン主
電極2,2′が封止されている。このタングステ
ン主電極2,2′モリブテン箔3,3′を介して、
モリブデンでできたリード線4,4′に接続され
ている。発光管1の中には後述する如く封入物5
およびArガスが封入されている。用途によつて
は、放電を安定にするため、この発光管1は少な
くとも一部が紫外線透過窓となつている外管中に
固定して用いられる場合もある。その場合、外管
内は真空に排気されることが多い。ところで、発
光管1にはTaI5が2mg/cm3、Hgが6mg/cm3、Ar
が25torr封入されている。TaI5の封入方法として
は、金属TaとHgI2とを封入し、発光管1中で反
応させることによりTaI5とすることもできる。
この発光管1に管壁負荷が13W/cm2以上の電力を
入力することにより、190〜450nmにおいて十分
に放射輝度の高い高輝度紫外線光源が得られた。
なお、放電の始動を容易する等の目的で、主電
極2,2′の他に補助電極を設けることもできる
ことはもちろんである。
以上述べた如く本発明によれば、紫外線域の広
い範囲にわたつて光強度の強いランプを得ること
ができるので、より汎用性のある理化学機器に用
いることができ、高感度な分析を行なうことがで
きる。また、本発明の高輝度紫外線光源は、重水
素放電ランプに比べより長寿命であり、経済的で
ある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の高輝度紫外線光源において管
壁負荷をパラメータとした時の相対放射輝度と波
長との関係を示すグラフ、第2図は本発明の高輝
度紫外線光源において分子、原子発光の相対放射
輝度と管壁負荷との関係を示すグラフ、第3図は
本発明の高輝度紫外線光源において分子発光の相
対放射輝度と封入モル比との関係を示すグラフ、
第4図は本発明による高輝度紫外線光源の発光管
の構成図である。 1……発光管、2,2′……主電極、3,3′…
…モリブデン箔、4,4′……リード線。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 ランプ用ガラス管内に水銀およびタンタルの
    ハロゲン化物を封入したメタルハライドランプに
    おいて、前記ガラス管の管壁負荷は13W/cm2以上
    であり、前記タンタルのハロゲン化物の封入量は
    前記水銀の封入量に対してモル比で20%以下の有
    限値であることを特徴とするメタルハライドラン
    プ。 2 前記ガラス管の最冷部の温度は600℃未満で
    あることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載
    のメタルハライドランプ。
JP57056606A 1982-04-07 1982-04-07 高輝度紫外線光源 Granted JPS58175251A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57056606A JPS58175251A (ja) 1982-04-07 1982-04-07 高輝度紫外線光源
US06/477,620 US4622493A (en) 1982-04-07 1983-03-22 High intensity ultraviolet light source
DE3312398A DE3312398C2 (de) 1982-04-07 1983-04-06 Hochdruck-Entladungslampe zur Erzeugung ultravioletter Strahlung

Applications Claiming Priority (1)

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JP57056606A JPS58175251A (ja) 1982-04-07 1982-04-07 高輝度紫外線光源

Publications (2)

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JPS58175251A JPS58175251A (ja) 1983-10-14
JPH0578138B2 true JPH0578138B2 (ja) 1993-10-28

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ID=13031886

Family Applications (1)

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JP57056606A Granted JPS58175251A (ja) 1982-04-07 1982-04-07 高輝度紫外線光源

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JP (1) JPS58175251A (ja)
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Also Published As

Publication number Publication date
DE3312398C2 (de) 1986-07-17
US4622493A (en) 1986-11-11
JPS58175251A (ja) 1983-10-14
DE3312398A1 (de) 1983-10-20

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