JPS63195721U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63195721U JPS63195721U JP8730487U JP8730487U JPS63195721U JP S63195721 U JPS63195721 U JP S63195721U JP 8730487 U JP8730487 U JP 8730487U JP 8730487 U JP8730487 U JP 8730487U JP S63195721 U JPS63195721 U JP S63195721U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- boat
- core tube
- mounting base
- furnace core
- boat mounting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
Description
第１図は本考案に係る縦型熱処理装置の概略縦
断面図であり、第２図はボートを支持し、回転さ
せる回転機構部分の要部拡大断面図である。第３
図は従来の縦型熱処理装置の概略縦断面図である
。 １……縦型熱処理装置、２……炉芯管、３……
ヒータ部、４……ボート、５……ボート載置台、
６……炉口、７……ガス供給口、８……基体、１
１……ボート載置部、１２……凹部、１４……ボ
ート載置台カバー、１５……空間部、１７……回
転機構部材。
断面図であり、第２図はボートを支持し、回転さ
せる回転機構部分の要部拡大断面図である。第３
図は従来の縦型熱処理装置の概略縦断面図である
。 １……縦型熱処理装置、２……炉芯管、３……
ヒータ部、４……ボート、５……ボート載置台、
６……炉口、７……ガス供給口、８……基体、１
１……ボート載置部、１２……凹部、１４……ボ
ート載置台カバー、１５……空間部、１７……回
転機構部材。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 底部に形成された炉口と上部に形成されたガス
供給口とを有する縦方向に延びる炉芯管と、 該炉芯管内で縦方向に配列された複数の基体を
載置するボートと、 該ボートを上記炉芯管下部で支持するボート載
置台とを有し、 該ボート載置台に凹部が形成され、 該ボート載置台のボート載置部を覆う部材との
間に空間部が形成された縦型熱処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8730487U JPS63195721U (ja) | 1987-06-05 | 1987-06-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8730487U JPS63195721U (ja) | 1987-06-05 | 1987-06-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63195721U true JPS63195721U (ja) | 1988-12-16 |
Family
ID=30944386
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8730487U Pending JPS63195721U (ja) | 1987-06-05 | 1987-06-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63195721U (ja) |
-
1987
- 1987-06-05 JP JP8730487U patent/JPS63195721U/ja active Pending