JPH0425234U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0425234U JPH0425234U JP6569390U JP6569390U JPH0425234U JP H0425234 U JPH0425234 U JP H0425234U JP 6569390 U JP6569390 U JP 6569390U JP 6569390 U JP6569390 U JP 6569390U JP H0425234 U JPH0425234 U JP H0425234U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heater
- flange
- attached
- tube
- soaking
- Prior art date
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- Pending
Links
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 238000002791 soaking Methods 0.000 claims 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims 1
- 239000012774 insulation material Substances 0.000 description 2
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す断面図、第２
図は従来例の断面図である。 ２はヒータ受台、３は均熱管受座、４は外輪断
熱材、５は内輪断熱材、７は反応管、８はフラン
ジ部、１４は防塵フランジを示す。
図は従来例の断面図である。 ２はヒータ受台、３は均熱管受座、４は外輪断
熱材、５は内輪断熱材、７は反応管、８はフラン
ジ部、１４は防塵フランジを示す。
Claims (1)
- ヒータ受台に中空のヒータを立設し、該ヒータ
受台の下面に均熱管受座を取付け、該均熱管受座
に断熱材を介して前記ヒータの内部に配した均熱
管を載設し、該均熱管内部に挿入される反応管を
該反応管の下部に形成したフランジ部を介して前
記ヒータ受台に取付けると共に該フランジ部の上
方に防塵フランジを形成し、該防塵フランジを前
記均熱管受座に当接可能にしたことを特徴とする
縦型熱処理炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6569390U JPH0425234U (ja) | 1990-06-21 | 1990-06-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6569390U JPH0425234U (ja) | 1990-06-21 | 1990-06-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0425234U true JPH0425234U (ja) | 1992-02-28 |
Family
ID=31597750
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6569390U Pending JPH0425234U (ja) | 1990-06-21 | 1990-06-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0425234U (ja) |
-
1990
- 1990-06-21 JP JP6569390U patent/JPH0425234U/ja active Pending