JPS63200331U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る縦型熱処理装置の概略縦
断面図であり、第２図はその要部縦断面図である
。第３図は従来の縦型熱処理装置の概略縦断面図
である。 １…縦型熱処理装置、２…炉芯管、３…ヒータ
部、４…ボート、５…ボート載置台、６…マニホ
ールド、７…炉口、８…ガス供給口、１１…支持
部、１３…空間部、１９…排気口、２０…ドレイ
ン。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 炉口が底部に形成され且つガス供給口が上部に
   形成されて縦方向に延在されると共に底部側が底
   部支持部材に支持される炉芯管と、該炉芯管内で
   縦方向に亘つて順次配列される複数の基体を載置
   するボートと、該ボートを上記炉芯管下部で支持
   するボート載置台と、上記底部支持部材に設けら
   れた排気口とを有し、 上記底部支持部材とボート載置台との間の空間
   部におけるガス流出方向に垂直な断面積が、上記
   排気口のガス流出方向に垂直な断面積よりも小面
   積であることを特徴とする縦型熱処理装置。