JPS63195723U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63195723U JPS63195723U JP8730787U JP8730787U JPS63195723U JP S63195723 U JPS63195723 U JP S63195723U JP 8730787 U JP8730787 U JP 8730787U JP 8730787 U JP8730787 U JP 8730787U JP S63195723 U JPS63195723 U JP S63195723U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- boat
- core tube
- furnace core
- furnace
- heat treatment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
Description
第１図は本考案に係る縦型熱処理装置の概略縦
断面図であり、第２図は従来の縦型熱処理装置の
概略縦断面図である。 １……縦型熱処理装置、２……炉芯管、３……
ヒータ部、４……ボート、５……ボート載置台、
６……マニホールド、７……炉口、８……ガス供
給口、９……基体、１４……内壁部、１５……排
出口、１６……ヒータ。
断面図であり、第２図は従来の縦型熱処理装置の
概略縦断面図である。 １……縦型熱処理装置、２……炉芯管、３……
ヒータ部、４……ボート、５……ボート載置台、
６……マニホールド、７……炉口、８……ガス供
給口、９……基体、１４……内壁部、１５……排
出口、１６……ヒータ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 底部に形成された炉口と上部に形成されたガス
供給口とを有する縦方向に延びる炉芯管と、 該炉芯管内で縦方向に配列された複数の基体を
載置するボートと、 該ボートを上記炉芯管下部で支持するボート載
置台と、 上記炉芯管下部の部材内壁部に加熱手段を設け
た縦型熱処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8730787U JPS63195723U (ja) | 1987-06-05 | 1987-06-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8730787U JPS63195723U (ja) | 1987-06-05 | 1987-06-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63195723U true JPS63195723U (ja) | 1988-12-16 |
Family
ID=30944392
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8730787U Pending JPS63195723U (ja) | 1987-06-05 | 1987-06-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63195723U (ja) |
-
1987
- 1987-06-05 JP JP8730787U patent/JPS63195723U/ja active Pending