JPS63200329U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63200329U JPS63200329U JP8971387U JP8971387U JPS63200329U JP S63200329 U JPS63200329 U JP S63200329U JP 8971387 U JP8971387 U JP 8971387U JP 8971387 U JP8971387 U JP 8971387U JP S63200329 U JPS63200329 U JP S63200329U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- furnace core
- core tube
- heating
- furnace
- tube
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案に係る縦型熱処理装置の概略縦
断面図であり、第２図は従来の縦型熱処理装置の
概略縦断面図である。 １……縦型熱処理装置、２……炉芯管、３……
ボート、４……ボート載置台、５……マニホール
ド、６……加熱手段、７……炉口、８……ガス供
給口、９……基体、１５……加熱部、１６……断
熱部。
断面図であり、第２図は従来の縦型熱処理装置の
概略縦断面図である。 １……縦型熱処理装置、２……炉芯管、３……
ボート、４……ボート載置台、５……マニホール
ド、６……加熱手段、７……炉口、８……ガス供
給口、９……基体、１５……加熱部、１６……断
熱部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 炉口が底部に形成され且つガス供給口が上部に
形成されて縦方向に延在されると共に底部側が底
部支持部材に支持される炉芯管と、該炉芯管内で
縦方向に亘つて順次配列される複数の基体を載置
するボートと、該ボートを上記炉芯管下部で支持
するボート載置台と、該炉芯管の外周囲全体に配
設され上記炉芯管の径方向を分割面とする環状の
複数の加熱部にそれぞれ分割された加熱手段とを
有し、 上記加熱手段の最下段部に位置する加熱部は、
隣接する加熱部との間に断熱部を介して配列され
且つ最も高温に制御されることを特徴とする縦型
熱処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8971387U JPS63200329U (ja) | 1987-06-12 | 1987-06-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8971387U JPS63200329U (ja) | 1987-06-12 | 1987-06-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63200329U true JPS63200329U (ja) | 1988-12-23 |
Family
ID=30948938
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8971387U Pending JPS63200329U (ja) | 1987-06-12 | 1987-06-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63200329U (ja) |
-
1987
- 1987-06-12 JP JP8971387U patent/JPS63200329U/ja active Pending