JPS63193601A - マイクロ波線路の立体交差回路装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はマイクロ波線路の立体交差回路装置に関する。

以下、マイクロ波線路とは、概ねＩＧＨｚ以上の周波数
の信号を伝送するための線路をいう。

［従来の技術］ 第７図（Ａ）は従来例のマイクロストリップ線路２．３
間の立体交差回路の平面図であり、第７図（Ｂ）は第７
図（Ａ）のＨ−Ｈ’線についての縦断面図である。下表
面上に接地導体ＩＯが形成された誘電体基板Ｉの上表面
上に、互いに直角に交差する幅ａ５のマイクロストリッ
プ線路２及び３が形成されている。両線路２，３の立体
交差部Ｉｆにおいては、基板１上に形成されたマイクロ
ストリップ線路２の上表面上に絶縁体４を介してマイク
ロストリップ線路３が形成される。例えば、マイクロス
トリップ線路２の図上上側縁端部２ａに入力されたマイ
クロ波信号は、立体交差部１１のマイクロストリップ線
路２を介して、マイクロストリップ線路２の図上下側縁
端部２ｂに出力される。また、マイク［ｌストリップ線
路３の図］−左側縁端部３ａに入力されたマイクロ波信
号は、立体交差部１１のマイクロストリップ線路３を介
して、マイク［Ｊストリップ線路３の図」１右側縁端部
３１１に出力される。

１発明か解決しようとする問題点１ 」二連の従来例の立体交差回路においては、マイクロス
トリップ線路２及び３に沿って伝送するマイク〔１波信
号の電界分布は、それぞれ第７図（Ｉ３）の矢印９０及
び９Ｉに示ずように、各線路２及び３から接地導体ＩＯ
に向かって分布している。従って、両マイクロストリッ
プ線路２．３で伝送されるマイク［）波信号が主として
両線路２．３間の静電容量によって互いに干渉し上記両
信号間に結合が生じるので、両線路２，３間で電気的な
分離を得ることがむずかしいという問題点かあった。

本発明の１目１的は以」二の問題点を解決ｊ２、立体交
差する少なくとも２条のマイク［１波線路間で良好に電
気的分離を行うことかできるマイクＣＮ１１ｍ路の立体
交差回路装置を提供ずろごとにある。

１問題点を解決するための手段］ 本発明は、基板」−に形成された少なくとし２条の第１
と第２のマイクロ波線路を相互に立体交差させるマイク
ロ波線路の立体交差回路装置において、上記第１のマイ
クロ波線路と」二記第２のマイクし７波線路の間に接地
導体を形成したことを特徴どする。

１作用」 以上のように構成することにより、上記第１のマイク［
Ｊ波線路と上記第２のマイクロ波線路が接地導体によっ
てしゃへいされるので、上記第１のマイク〔１波線路と
上記第２のマイクロ波線路を電気的に分離することがで
きる。

［実施例１ 剃し！珠廊貫 第１図（Ａ）は本発明の第１の実施例である両コプレナ
ー線路間の立体交差回路の平面図、第１図（Ｒ）ｔＪ第
１図（Ａ）の回路において立体交差部１１ａの絶縁体７
及び接続用マイクロストリップ線路の導体８を除去した
ときの第２の人力コプレナー線路１４にお１ｊる一部破
断平面図、第１図（Ｃ）は第１図（Ａ）のＡ−Ａ“線に
ついての縦断面図である。

第１のコプレナー線路１２の導体２１が、図１−」二側
中央部から下側中央部の誘電体にてなる基板１」−に形
成され、ごの導体２１の平面形状は幅ρ１の長方形状で
ある。第２の人力コプレナー線路１４の導体２４が図」
ニガ側中央部の基板１上に］−記導体２１の長手方向と
直角の角度で形成され、この導体２４の平面形状は幅ρ
３の長方形状である。

第２の出力コプレナー線路１５の導体２５が図」１右側
中央部の基板Ｉ」−に−１−記導体２Ｉの長手方向と直
角の角度で、かつ上記導体２４の長手方向の延長」二に
形成され、この導体２５の平面形状は幅ρ３の長方形状
である。

接地導体２２ａが図上左上側の基板１トに−１；記導体
２１と所定間隔ｇ２だ（）離れ、かつ」１記導体２４と
所定間隔１２４たけ離れて接地導体２２ｂ、２２Ｃと一
体的に形成され、また、接地導体２２ｂが図上左下側の
基板１上に上記導体２１と所定間隔ａ２たけ離れ、かつ
」−記導体２４と所定間隔ρ４だけ離れて、接地導体２
２ａ、２２ｃと一体的に形成される。この接地導体２２
ａ及び２２ｂの平面形状はそれぞれ、間隔ρ１及び１２
２よりも十分長い辺と間隔ρ３及びａ□よりも十分に長
い辺を有する長方形状であって、基板１の中央部の立体
交差部＋１ａにおいて上記接地導体２２ａと２２ｂが、
接地導体２２ｃを介して一体的に形成されて接続される
。この接地導体２２ｃの平面形状は長方形状であって導
体２１と間隔Ｑ、たけ離れ、かつ導体２４と所定間隔だ
け離れて形成される。接地導体２３ａ及び２３ｂが、上
記接地導体２２ａ及び２２１）と同様に図」１右側のＪ
、（仮ＩＪ−に−１−記導体２１と所定間隔ａまたけ離
れ、かつ上記導体２５と所定間隔だけ離れて、接地導体
２３ｃを介して互いに一体的に形成される。

なお、−ｊ−記導体２１．２４及び２５、並びに接地導
体２２ａ、２２ｂ、２３ａ及び２３ｂはともに共平面関
係で形成される。ここで、導体２１と接地導体２２ａ、
２３ａによって第１の人力コプレナー線路１２を構成し
ており、また、導体２１と接地導体２２ｂ、２３ｂによ
って第１の出力コプレナー線路１３を構成しており、こ
の第１の入出力コプレナー線路１２及び１３は立体交差
部１１ａにおいて一体的に接続されている。さらに、導
体２４と接地導体２２ａ、２２ｂによって第２の入力コ
プレナー線路１４を構成しており、また、導体２５と接
地導体２３ａ、２３ｂによって第２の出力コプレナー線
路１５を構成しており、この第２の入出力コプレナー線
路１４及び１５は立体交差部１１ａにおいて詳細後述す
るマイクロストリップ線路の導体８によって接続される
。

さらに、立体交差部１１ａの、接地導体２２ａ。

２２ｂ、２２ｃ、２３ａ、２３ｂ及び２３ｃの各導体２
１側の上表面上、導体２１の上表面」二、接地導体２２
ａ、２２ｃ、２２ｂと導体２１との間の基板■上、並び
に接地導体２３ａ、２３ｃ、２３ｂと導体２１との間の
基板ｌ上において、例えばＳ　ｉＮ　、　Ｓ　ｉｏ　２
又はフォトレジスト（この場合は後で除去）にてなる絶
縁体層５を形成した後、該立体交差部１１ａの接地導体
２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２３ａ、２３ｂ、２３ｃの各
上表面上、及び上記絶縁体層５」二に接地接続導体６を
形成する。この接地接続導体６の平面形状は長方形状で
あって、この接地接続導体６を介して接地導体２２ａ、
２２ｂ、２２ｃと接地導体２３ａ。

２３ｂ、２．３ｃが接続される。

またさらに、立体交差部１１ａの導体２４　、２５上、
基板１−に及び上記接地接続導体６」二に、例えばＳｉ
Ｎ、５ｉＯｚ又はフォトレジスト（この場合は後で除去
）にてなる絶縁体層７を形成した後、導体２４及び２５
の各導体２１側の縁端部上の絶縁体層７の部分にそれぞ
れ例えば長方体形状のスルーポール７ａ及び７ｂを形成
する。そして、このスルーポール７ａと７ｂの両位置を
結ぶ上記絶縁体層７上及び上記スルーホール７ａ及び７
ｂ内に、マイクロストリップ線路の導体８を形成する。

この導体８の平面形状は所定幅色。を有する長方形状で
あって、このマイクロストリップ線路の導体８によって
、導体２４と２５が接続される。

以」二のように構成することにより、第１の人力コプレ
ナー線路Ｉ２に入力されたマイクロ波信号は立体交差部
１１ａを介して第１の出力コプレナー線路１３に出力さ
れ、また第２の人力コプレナー線路Ｉ４に入力されたマ
イクロ波信号は立体交差部１１ａのマイクロストリップ
線路の導体８を介して第２の出力コプレナー線路１５に
出力される。このとき、立体交差部１１ａのマイクロス
トリップ線路の導体８における信号の電磁界成分は接続
接地導体６とマイクロストリップ線路の導体８の間にの
み存在し、接続接地導体６によってしやへいされている
ので、コプレナー線路１２．１３には何ら干渉を与えな
い。また、コプレナー線路１２．１３内を伝送する信号
の電磁界成分は、中心導体２Ｉと外側接地導体２２ａ、
２２ｂ、２２ｃおよび２３ａ、２３ｂ、２３ｃの間に集
中的に存在し、接地導体６によってしゃへいされている
のでマイクロストリップ線路の導体８には何ら干渉を与
えない。このように、立体交差部１１ａにおいて片方の
コプレナー線路をマイクロストリップ線路に変換し、こ
のマイクロストリップ線路の接地導体の下側でもう一方
のコプレナー線路と交差させることにより、交差する線
路間の干渉を除去し良好な電気的分離度を有する立体交
差回路を実現することができる。

以」二の実施例において、各線路を説明の便宜上第１の
入出力コプレナー線路１２．１３及び第２の入出力コプ
レナー線路１４．１５と称しているが、線路１２．１３
及び線路１４．１５はそれぞれ相反回路であり、それぞ
れの人出力関係を逆にすることができる。以下の実施例
においても同様である。

竿−Ａ−の実施例 第２図（Ａ）は本発明の第２の実施例であるマイクロス
トリップ線路とコプレナー線路間の立体交差回路の平面
図、第２図（Ｂ）は第２図（Ａ）の回路において立体交
差部１１ｂの絶縁体層７及び接続用マイクロストリップ
線路の導体８を除去したときの入力コプレナー線路１４
における一部破断平面図、第２図（Ｃ）は第２図（Ａ）
のＢ−Ｂ’線についての縦断面図である。第２図（Ａ）
ないしくＣ）に４３いて上述の図面と同一の乙のについ
ては同一の符号を付している。

マイクロストリップ線路の導体２が図上」二側中央部か
ら下側中央部の基板ｌ」二に形成され、この導体２の平
面形状は幅ρ５の長方形状である。また、人出力コプレ
ナー線路１４及び１５力へそれぞれ上述の第１の実施例
（第１図（Ａ）ないしくＣ））の第２の人出力コプレナ
ー線路１４．１５と同様に基板１上に形成される。なお
、基板１の下表面には接地導体１０が形成されろ。

接地導体２２ａが上記導体２４の図」１上側の基板１上
に上記導体２４と所定間隔ｇ４だけ離れて接地導体２２
ｂ、２２ｃと一体的に形成され、また、接地導体２２ｂ
か導体２４の図上下側の基板１上に導体２４と所定間隔
ｉ！４）″、け離れて接地導体２２ａ、２２ｃと一体的
に形成される。この接地導体２２ａ及び２２ｂの平面形
状は間隔り３及びρ４に比較して十分に長い幅と長手方
向の辺を有する長方形状であって、基板１の中央部の立
体交差部１１ｂにおいて上記接地導体２２ａと２２１〕
が接地導体２２Ｃを介して一体的に形成されて接続され
る。この接地導体２２ｃの平面形状は長方形状であって
、接地導体２２ｃが導体２４と所定間隔だけ離れて形成
される。

接地導体２３ａ及び２３ｂが上記接地導体２２ａ及び２
２１）と同様に図」二右側の基板１上に上記導体２５と
所定間隔ノ毎す離れて接地導体２３ｃを介して互いに一
体的に形成される。

なお、」−記導体２４と接地導体２２ａ、２２ｂはとら
に共平面関係で形成され、これによって入力コプレナー
線路１４を構成している。また導体２５と接地導体２３
ａ、２３ｂはともに共平面関係で形成され、これによっ
て第２の出力コプレナー線路１５を構成している。この
第２の入出力コプレナー線路１４及び１５は立体交差部
１１ｂにおいて詳細後述するマイクロストリップ線路の
導体８によ−）で接続される。

さらに、第１の実施例と同様に、立体交差部ＩＩａにお
いて、導体２上及び基板Ｉ」二に絶縁体層５を介して、
接地導体２２ａ、２２ｂ、２２ｃと２３ａ。

２３ｂ、２３ｃを接続する接地接続導体６を形成する。

またさらに、第１の実施例と同様に絶縁体層７を介して
導体２４と２５を接続するマイクロストリップ線路の導
体８を形成する。

以上のように構成することにより、マイクロストリップ
線路の導体２の図」―−１−側縁端部２ａに入力された
マイクロ波信号は立体交差部１１ｂを介してマイクロス
トリップ線路２の図上下側縁端部２ｂに出力され、また
、入力コプレナー線路Ｉ４に入力されたマイクロ波信号
は立体交差部１１ｂのマイクロストリップ線路の導体８
を介して出力コプレナー線路１５に出力される。このと
き、第１の実施例と同様に、マイクロストリップ線路の
導体２とマイクロストリップ線路の導体８は、接地接続
導体６によってしゃへいされているので、各導体２．８
に伝送される信号は互いに干渉を与えない。従って、上
述の実施例と同様に交差する線路間の干渉を除去し、良
好な電気的分離度を有する立体交差回路を実現すること
ができる。

策１）夫施釘 第３図（Ａ）は本発明の第３の実施例である両スロット
線路間の立体交差回路の平面図、第３図（Ｂ）は第３図
（Ａ）の回路において立体交差部＋１ｃの絶縁体層７及
び接続用マイクロストリップ線路の導体８を除去したと
きの第２の入力スロット線路１８及び短絡スロット線路
２０ａにおける一部破断乎面図、第３図（Ｃ）は第３図
（Ａ）のＣ，−Ｃ”線についての縦断面図である。第３
図（Ａ）ないしくＣ）において」−述の図面と同一のも
のについては同一の符号を付している。

導体３１ａが図」ニガ上側の基板ｌ上に導体３２ａと所
定間隔Ｑ７た（Ｊ離れ、かつ導体３１ｂと基板１の図上
左側縁端部において所定間隔ρ８だけ離れて導体３１ｂ
と一体的に形成される。また、導体３１ｂが図」エム下
側の基板１上に導体３２ｂと所定間隔ｌ！７たけ離れ、
かつ導体３１ａと基板１の図上左側の縁端部において所
定間隔ｅ８だけ離れて導体３１ａと一体的に形成される
。さらに、導体３２ａが図−１−右上側の基板ｌ」−に
導体３］ａと所定間隔１２７たけ離れ、かつ導体３２ｂ
と基板１の図上右側の縁端部において所定間隔ａ８だけ
離れて、導体３２ａと一体的に形成される。またさらに
、導体３２ｂが図上右下側の基板ｌ上に導体３１ｂと所
定間隔ａ７だけ離れ、かつ導体３２ａと基板ｌの図上右
側の縁端部において所定間隔ｅ８たけ離れて、導体３１
ａと一体的に形成される。上記導体３１ａ、３１ｂ。

３２ａ及び３２ｂの平面形状は間隔（７及びｅ８よりも
十分に長い２辺を有する略長方形状である。

なお、導体３１ａ、３　ｌｂ、３２ａ及び３２ｂはとも
に共平面関係で形成され、導体３１ａ及び３２ａによっ
て第１の入力スロット線路１６を構成し、また導体３１
ｂ及び３２ｂによって第１の出力スロット線路１７を構
成している。この第１の入出カスロット線路１６．１７
は立体交差部１１ｃにおいて一体的に接続されている。

さらに、導体３１ａと３１ｂによって第２の人力スロッ
ト線路１８を構成しており、また、導体３２ａと３２ｂ
によって第２の出力スロット線路１９を構成している。

この第２の人出カスロット線路１８及びＩ９は、それぞ
れ各線路１８及び１９の長手方向と垂直の方向（こ各線
路１８．１９と一体的に延在する１／４波長の長さの短
絡スロット線２０ａ、２０ｂで短絡されており、この短
絡スロット線路２０ａ、２０ｂとの接続点において立体
交差部１１ｃのマイクロストリップ線路の導体８の両端
部と接続される。

さらに、立体交差部１１ｃの、導体３１ａ、３１ｂ。

３２ａ及び３２ｂ上、及び間隔Ｑ７の基板ｌ上において
上記第１の実施例と同様に絶縁体層５を介して接地接続
導体６を形成する。次いで、立体交差部１１ｃの基板ｌ
上及び上記接地接続導体６上に絶縁体層７を形成した後
、入力スロット線路１８と短絡スロット線路２０ａとの
接続点の導体３１ａ上、並びに出力スロット線路１９と
短絡スロット線路２０ｂとの接続点の導体３２ａ上の絶
縁体層７の部分にスルーポール７ａ及び７ｂを形成する
。そして、このスルーポール７ａと７ｂの両位置を結ぶ
絶縁体層７上及び上記スルーホール７ａ及び７ｂ内に上
述の第１の実施例と同様にマイクロストリップ線路の導
体８を形成する。

以上のように構成することにより、第１の入力スロット
線路１６に入力されたマイクロ波信号は立体交差部１１
ｃを介して第１の出力スロット線路１７に出力され、一
方、第２の入力スロット線路１８に入力されたマイクロ
波信号は立体交差部ｌｉｅのマイクロストリップ線路の
導体８を介して第２の出力スロット線路１９に出力され
る。このとき、第１の実施例と同様に、第１の入出カス
ロット線路１６．１７の導体３１ａ、３２ａ及び３１ｂ
、３２ｂとマイクロストリップ線路の導体８は、接地接
続導体６によってしゃへいされているので、第１の入出
カスロット線路１６．１７とマイクロストリップ線路の
導体８のそれぞれに伝送される信号は互いに干渉を与え
ない。従って、上述の実施例と同様に交差する線路間の
干渉を除去し、良好な電気的分離度を有する立体交差回
路を実現することができる。

第４の実施例 第４図（Ａ）は本発明の第４の実施例である両コプレナ
ー線路間の立体交差回路の平面図、第４図（Ｂ）は第４
図（Ａ）のＩ）−Ｄ’線についての縦断面図、第４図（
Ｃ）は第４図（Ａ）のＥ−Ｅ’線についての縦断面図で
ある。第４図（Ａ）ないしくＣ）において上述の図面と
同一のものについては同一の符号を付している。

この第４の実施例の回路が上述の第１の実施例（第１図
（Ａ）ないしくＣ））と異なるのは、第２の入出力コプ
レナー線路１４及び１５を立体交差部Ｉｌａで接続する
マイクロストリップ線路の導体８にとって代わってコプ
レナー線路４０を用いたことであり、以下、上記相違点
について詳細に説明する。

導体２１，２４．２５及び接地導体２２ａ、２２ｂ。

２３ａ、２３ｂを上述の第１の実施例と同様に基板ｌ上
に形成した後、立体交差部ｌｉｄにおいて導体２１及び
接地導体２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２３ａ、２３ｂ、２
３ｃ並びに間隔Ｉ２２の基板ｌ上に絶縁体層５を介して
、接地導体２２ａ、２２ｂ、２２ｃと２３ａ。

２３ｂ、２３ｃを接続する接地接続導体６を形成ずろ。

またさらに、第１の実施例と同様に立体交差部ｌｉｄの
導体２４．２５上、基板ｌ上および上記接地接続導体６
上に絶縁体層７を形成した後、導体２４及び２５の各導
体２１側の縁端部上の絶縁体層７の部分にスルーポール
７ａ及び７ｂを形成する。また、上記スルーポール７ａ
の図面ト下各側の近傍であって導体２４側の接地導体２
２ａ、２２ｂ上の絶縁体層７の各部分にスルーポール７
ｃ及び７ｅを形成するとともに、上記スルーポール７ｂ
の図面」−丁番側の近傍であって導体２５側の接地導体
２３ａ、２３ｂ上の絶縁体層７の各部分にスルーポール
７ｄ及び７ｈを形成する。そして、スルーポール７ａと
７ｂ、７ｃと７ｄ、？ｅど７！゛のそれぞれの両位置を
結ふに記絶縁体層７−１．及び」−記スルーホール７ａ
ないし７ｆ内に、それぞれ３条の導体８゜９ａ、９ｂを
互いに共平面関係で形成ずろ。この導体８の平面形状（
」所定幅ρ１ｏを（ｊする長方形状であ−）で、この導
体８によって導体２４と２５が接続される。また、導体
９ａ、９ｂの平面形状はそれぞれ所定幅Ｑ、２を有する
長方形状であゲで、この導体９ａ、９ｂが上記導体８と
所定間隔ρ１□だ（プ離れて形成される。導体９ａによ
って接地導体２２ａと２３ａが接続されるとともに、導
体９１）によ−３て接地導体２２ｂと２３ｂが接続され
る。ここで、この導体８．９ａ、及び９ｂによって、第
２の入出力線路１４及び１５を接続するためのコプレナ
ー線路４０を構成している。

以」−のように構成することにより、第１の入力コプレ
ナー線路１２に入力されたマイクロ波信号は立体交差部
１１ｄを介して第２の出力コプレナー線路１３に出力さ
れ、また第２の入力コプレナー線路１４に入力されたマ
イクロ波信号は立体交差部１１ｄのコプレナー線路４０
を介して第２の出力コプレナー線路１５に出力される。

このとき、第１の実施例と同様に、第１の人出力コプレ
ナー線路１２．１３の導体２Ｉとコプレナー線路４０の
導体８は、接地接続導体６によってしゆへいされている
ので、第１の人出力コプレナー線路１２゜Ｉ３と第２の
入出力コプレナー線路１４．１５のそれぞれに伝送され
る信号は互いに干渉を与えない。従って、上述の実施例
と同様に交差する線路間の干渉を除去し、良好な電気的
分離度を有する立体交差回路を実現することができる。

♂イ）−５６色１−〉１≦施（２す 第５図（Ａ）は本発明の第５の実施例である両スジ１ノ
ド線路間の立体交差回路の平面図、第５図（Ｂ）（」第
５図（Ａ）のＰ−Ｆ”線についての縦断面図、第５図（
Ｃ）は第５図（Ａ）のＧ−Ｇ′線についての縦断面図で
ある。第５図（Ａ、）ないしくＣ）において、上述の図
面と同一のものについては同一の符号を付してＬ）る。

ごの第５の実施例の回路が上述の第３の実施例（第３図
（ハ）ないしくＣ））と異なるのは、第２の入出カスｃ
ノット線路１８．１９を立体交差部１１ｃで接続上ろマ
イク〔ｌストリップ線路の導体８にとっテ代ね一、てス
［Ｊツト線路４１を用いたこ表であり、以−ト、］−記
相違点について詳細に説明する。

導体３１ａ、３　ｌｂ、３２ａ及び３２ｂ並びに短絡ス
〔１ノド線路２０ａ、２０ｂを−［−述の第３の実施例
と同様にシ、（板１１．に形成１．た後、＼ｒ体交差部
１１ｅにおいて導体３１　ａ、３１　ｂ、３２ａ、３２
））及び間隔タフの」、（、板１１．に、絶縁体層５を
介して導体３１ａ。

３１１）と３２ａ、３２ｂを接続４−ろ接地接続導体６
を形成する。またさらに、第３の実施例と同様に絶縁体
層７を形成した後、入出スロット線路Ｉ８と短絡スロワ
Ｉ・線路２０ａとの接続点の導体３１ａ上、並びに出カ
スＵツト線路１９と短絡スロット線路２０１）との接続
点の導体３２　ａ、、Ｊ−の絶縁体層７の部分にスルー
ホール７ａ及び７Ｆ）を形成する。また、−］二記スル
ーポール７ａ及び７１）の図面Ｆ側の近傍であって各導
体３１ａ、３２ａ側の導体３１１）及び３２ｂ上の絶縁
体層７の各部分にスルーホール７ｇ及び７ｈを形成する
。そして、スルーポール７ａと７ｂ。

７ｇと７ｈのそれぞれの両位置を結ぶＪ−記絶縁体層７
上及び上記スルーポール７ａ、７［）、７ｇ及び７１１
内にそれぞれ２条の導体８，９ｃを−げいに共平面関係
でかつ所定間隔ｇ１５だけ離れて形成ずろ。

なお、導体８，９ｃの平面形状はそれぞれ、所定幅ρ１
３＋Ｌ１を有ずろ長方形状である。導体８によ−。

て導体３１ａと３２ａが接続されるとと乙に、導体９ｃ
によって導体３１ｂと３１１）が接続されろ。ここで、
この導体８，９ｃによって第２の入出カスロット線路Ｉ
８及びＩ９を接続するためのスロワ）・線路４１を構成
している。

以」二のように構成することにより、第１の入出スロッ
ト線路Ｉ６に入力されたマイクロ波信号は立体交差部１
１ｅを介して第１の出カスロット線路１７に出力され、
一方、第２の人力スロット線路１８に入力されたマイク
ロ波信号は立体交差部１１ｃのスロット線路４１を介し
て第２の出力スロワ）・線路１９に出力される。このと
き、第１の実施例と同様に、第１の入出カスロット線路
１６゜１７の導体３１ａ、３２ａ及び３１ｂ、３２ｂと
スロット線路４１の導体８は、接地接続導体６によって
しやへいされているので、第１の入出カスロット線路１
６．１７とスロット線路４１のそれぞれに伝送される信
号は互いに干渉を与えない。従って、上述の実施例と同
様に交差する線路間の干渉を除去し、良好な電気的分離
度を有する立体交差回路を実現することができる。

箸±−鬼末集佐 第６図は本発明の第６の実施例である上述の立体交差回
路を応用した２×２回路のマイクロ波帯スイッチマトリ
ックス回路のブロック図である。

ｌは半導体基板、５０．５１は信号入力端子、５２．５
３は信号出力端子、５４．５５はコプレナー線路、又は
スロット線路等（以下、同様とする。）の共平面マイク
ロ波線路からなる人力線路、５６゜５７は共平面マイク
ロ波線路からなる出力線路であり、これら線路５４ない
し５７の片側は終端器４８により終端されている。また
、６０ないし６３は信号分割回路であり、６４ないし６
７は信号合成回路である。７０ないし７３は第１の実施
例から第５の実施例で説明した入出力線路の立体交差回
路であり、８０ないし８３は電界効果トランジスタ等で
構成されたマイクロ波帯スイッチ回路である。これら回
路はすべて、同一の半導体基板ｌ上に一体化して形成さ
れている。たとえば、信号入力端子５０から入力・され
た信号は、信号分割回路６０で２分割され、一方の信号
は交差回路７０により出力線路５６に干渉を与えること
なく信号分割回路６１に入力される。２分割されたもう
一方の信号はマイクロ波帯スイッチ回路８０に入力され
、マイクロ波帯スイッチ回路８０の制御信号に応じてＯ
Ｎ１０　Ｆ　Ｆの切替が行イつれ、マイクロ波帯スイッ
チ回路８０の出力信号は信号合成回路６４を介して出力
線路５６に伝送される。この信号は、立体交差回路７２
により入力線路５５に干渉を与えることなく信号合成回
路６５を経て信号出力端子５２に出力される。

このように、入出力線路として共平面マイクロ波線路を
使用し、立体交差回路７０ないし７４に第１実施例から
第５実施例で説明したマイクロ波線路の立体交差回路を
適用することにより、同一半導体基板１上に電気的分離
特性の良好なマイクロ波帯スイッチマトリックス回路を
コンパクトに構成するごとができる。

なお、以上の第６の実施例ではマイクロ波帯の信号伝送
についてのみ説明したが、交差する一方の共平面マイク
ロ波線路を能動素子へのバイアス供給用線路として使用
することも可能である。

慨符宋鼾集 」―述の第１ないし第５の実施例において、各線路を形
成する基板ｌとして誘電体基板を用いているが、これに
限らず、半導体基板を用いてもよい。

また、接続用線路の導体８，９ａ、９ｂ、９ｃと基板ｌ
上に形成された導体との接続をスルーホール内に形成さ
れた導体を用いているが、これに限らず、例えばワイヤ
ボイディング等の他の接続手段を用いてもよい。さらに
、立体交差しようとする画線路は、上述のマイクロスト
リップ線路、コプレナー線路、スロット線路のばか任意
のマイクロ波線路を用いることが可能である。またさら
に、立体交差しようとする線路は」―述の２条のマイク
ロ波線路に限らず、３段以」−の多層構造で構成して３
条以上のマイクロ波線路を立体交差するようにしてもよ
い。

また、以上の実施例において、立体交差しようとする両
線路間の角度は垂直となっているが、これに限らず、任
意の角度で交差するようにしてもよい。

さらに上述のように、絶縁体層５及び７をフォトレジス
トで形成し、接続接地導体６及び上側線路の導体を形成
した後、該絶縁体層５及び７を除去するようにしてもよ
い。

またさらに、基板■に形成された凹部内に第１のマイク
〔１波線路を設け、絶縁体層又は空間、しゃへい用の接
地導体、並びに絶縁体層又は空間を介して、第２のマイ
クロ波線路を形成するようにしてしよい。この第２のマ
イクロ波線路の形成位置は、基板１の上表面と同一平面
であってもよいし、基板１のト表面よりも」−側又は下
側の平面であってしよい。

［発明の効果］ 以上詳述したように本発明によれば、基板−Ｌに形成さ
れた少なくとも２条の第１と第２のマイクロ波線路を相
互に立体交差させるマイクロ波線路の立体交差回路装置
において、上記第１のマイクロ波線路と一ト記第２のマ
イクロ波線路の間に接地導体を形成したので、上記第１
のマイクロ波線路と上記第２のマイクロ波線路が接地導
体によ−）てしゃへいされ、上記第１のマイクロ波線路
と」−記第２のマイクロ波線路を良好に電気的に分離す
ることができる。この立体交差回路装置を例えばマイク
ロ波集積回路に用いることにより、該集積回路の配線効
率を高めることができるので、従来例に比較して該集積
回路を小形化することができるという利点がある。

【図面の簡単な説明】

第１図（Ａ）は本発明の第１の実施例である両コプレナ
ー線路間の立体交差回路の平面図、第１図（Ｂ）は第１
図（Ａ）の第２の入力コプレナー線路の一部破断平面図
、 第１図（Ｃ）は第１図（Ａ）のＡ−Ａ’線についての縦
断面図、 第２図（Ａ）は本発明の第２の実施例であるマイクロス
トリップ線路とコプレナー線路間の立体交差回路の平面
図、 第２図（Ｂ）は第２図（Ａ）の第２の入力コプレナー線
路の一部破断平面図、 第２図（Ｃ）は第２図（Ａ）のｒ３−　Ｂ　’線につい
ての縦断面図、 第３図（Ａ）は本発明の第３の実施例である両ス口ｙ　
ｔ□線路間の立体交差回路の平面図、第３図（Ｂ）は第
３図（Ａ）の第２の入力スロット線路と短絡スロット線
路の一部破断平面図、第３図（Ｃ）は第３図（Ａ：Ｍ）
Ｃ−Ｃ’線ニツいテの縦断面図、 第４図（Ａ、）は本発明の第４の実施例である両コプレ
ナー線路間の立体交差回路の平面図、第４図（Ｂ）は第
４図（Ａ）のＤ−Ｄ’線についての縦断面図、 第４図（Ｃ）は第４図（Ａ）のＥ−Ｅ゛線についての縦
断面図、 第５図（Ａ）は本発明の第５の実施例である両スロット
線路間の立体交差回路の平面図、第５図（＋３）は第５
図（Ａ）のＦ−Ｆ’線についての縦断面図、 第５図（Ｃ）は第５図（Ａ）のＧ−Ｃ；’線についての
縦断面図、 第６図は本発明の第６の実施例である２×２回路のマイ
クロ波帯スイッヂマトリックス回路のブロック図、 第７図（Ａ）は従来例の両マイクロストリップ線路間の
立体交差回路の平面図、 第７図（Ｂ）は第７図（Ａ）のＨ−１−Ｉ　’線につい
ての縦断面図である。 １・・・基板、 ２・・マイクロストリップ線路の導体、５．７　絶縁体
層、 ６・・接地接続導体、 ７ａ、　７ｂ、　７ｃ、　７ｄ、　７ｅ、　７　ｆ、　
７ｇ、　７１ｒ−スルーホール、 ８　、９　ａ、　９　ｂ、　９　ｃ　　導体、ＩＯ・・
・接地導体、 １１．１１ａ、］　Ｉｂ、１１ｃ、Ｉ　Ｉｄ、ｌ　Ｉｅ
−−立体交差部、 １２、＋３．１４．１５．４０・　コプレナー線路、１
６．１７．＋　８．１９．４１　　スロット線路。 特許出願人　株式会社エイ・ティ・アール光電波通信研
究所 代　理　人　弁理士　前出　葆　ばか２名Ｔ− 第２図（Ａ）　　Ｊ、、。 第２図（８） らつど「二＝＝冨＝〕テ＝＝〕；＝＝〒′−り）第６図 第７図（Ａ） Ｏ ｉ　７　［１（Ｂ）４

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）基板上に形成された少なくとも２条の第１と第２
   のマイクロ波線路を相互に立体交差させるマイクロ波線
   路の立体交差回路装置において、上記第１のマイクロ波
   線路と上記第２のマイクロ波線路の間に接地導体を形成
   したことを特徴とするマイクロ波線路の立体交差回路装
   置。
2. （２）上記接地導体が絶縁体層を介して形成されること
   を特徴とする特許請求の範囲第１項記載のマイクロ波線
   路の立体交差回路装置。
3. （３）上記基板が誘電体にてなることを特徴とする特許
   請求の範囲第１項記載のマイクロ波線路の立体交差回路
   装置。
4. （４）上記基板が半導体にてなることを特徴とする特許
   請求の範囲第１項記載のマイクロ波線路の立体交差回路
   装置。