JPS63192895A

JPS63192895A - コ−テイング部材

Info

Publication number: JPS63192895A
Application number: JP62025459A
Authority: JP
Inventors: Kazuo Sawada; 澤田　和夫; Satoru Takano; 悟高野; Shigeru Okuda; 奥田　繁; Shinji Inasawa; 信二稲沢
Original assignee: Sumitomo Electric Industries Ltd
Current assignee: Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date: 1987-02-05
Filing date: 1987-02-05
Publication date: 1988-08-10

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］この発明は、電気部品、機械部品などに用いられる金属
等からなる部材、たとえば、耐熱７Ｒ線などのような部
材に関し、特に耐熱性、耐化学薬品性、耐食性、絶縁性
等を付与するために基材の表面に被覆を施したコーティ
ング部材に関するものである。

［従来の技術］電気部品、機械部品などに用いられる部材では、その使
用環境に応じて、耐熱性、耐化学薬品性、耐食性、絶縁
性等が要求される。近年、これらの特性の改善を目的に
金ｊ１１等の部材の表面にセラミックスをコーティング
する技術が実用化され始めている。この方法として、プ
ラズマＣｖＤ法、スパッタリング法等の気相から膜形成
を行なう方法が使用されてきた。

［発明が解決しようとする問題点］上記のような気相から膜形成を行なう方法によると、酸
化物、窒化物、炭化物等の広い範囲のセラミックス膜を
形成することができる。しかしながら、たとえばセラミ
ックスと基材の種類によってはＡｆＬ２０．とＣｕのよ
うに、セラミックス膜と基材との密着性が良好でないも
のがある。これは、セラミックス膜と基材との熱膨張率
の差により、熱応力がその界面に発生するためと考えら
れる。

イこで、この発明は、被膜と基材との密着性を高めると
ともに、耐熱性、耐化学薬品性、耐食性、絶縁性等の種
々の特性を発揮するコーティング部材を提供することを
目的とする。

［問題点を解決するための手段］この発明に従ったコーティング部材は、基材の表面の上
に陽極酸化膜を形成し、さらにこの陽極酸化膜の上に気
相から生成されたセラミックス膜を形成したものである
。

［発明の作用効果］金属を電解質水溶液に浸漬し、アノード分極すると金属
の種類によっては金属の表面に酸化被膜を形成するもの
がある。この酸化被膜は陽極酸化膜と呼ばれ、金属であ
る基材表面との密着性が良好である。また、陽極酸化膜
は、気相から生成されるセラミックス膜に対しても良好
な［性を呈することが認められる。この発明は、このよ
うな本願発明者らの知見に基づくものである。

したがって、まず金属である基材に対して陽極酸化膜を
形成し、その上に付与したい特性を有するセラミックス
を気相から生成さけて被膜として形成する。そうすると
中間層とし゛Ｃ存在する陽極酸化膜は基材との密着性が
良く、また、その上に形成されたセラミックス膜とも密
着性が良いため、被覆物全体が基材に対して良好な密着
性を示す。

また、第１層は基材である金属の酸化物に限られるが、
第２１ｉとして表層部を形成しているセラミックスは酸
化物の他、炭化物、窒化物など種々のセラミックスから
広く選択することができる。そのため、用途に応じて、
所望の被膜を形成することができる。

また、陽極酸化膜表面の上に気相から生成させる方法を
用いてセラミックス膜を形成する場合、陽極酸化膜がそ
の表面上に形成されるセラミックス膜との界面に発生す
る熱応力を緩和し、密着性を高める働きをする。さらに
、陽極酸化膜は絶縁性、耐食性という特性も有する。

なお、この発明においてセラミックス被膜は、プラズマ
ＣＶＤ法等のＣＶＤ法、スパッタリング等のＰＶＤ法に
よって形成される。

さらに、セラミックス被膜の上にポリイミド、ポリアミ
ドイミド等の有機物被覆を形成して表面滑り性や可撓性
、常温下での絶縁性を高めるようにしてもよい。

基材としては金属や合金等が用いられるが、少なくとも
その表面が陽極酸化する金属であればよい、また陽極酸
化膜としては、優れた絶縁性を示すアルマイトと呼ばれ
る、主成分がＡｉｚＯｓであるものが望ましい。セラミ
ックス膜としてはＡＣ３０ａ　、Ｓｔ　Ｏｚ　、Ｍ（ｌ
　Ｏ，Ｔ’＋　０２なトノ酸化物からなる膜が望ましく
、耐熱性、耐食性に浸れている。

また、本発明によるコーティング部材とは典型的には耐
熱電線である。しかし、この発明は耐熱電線に限定され
るものではなく、耐熱性、耐化学薬品性、耐食性、絶縁
性等の種々の特性が要求される機械部品や電気部品など
に広く適用され得る。

〔実施例１］直径１１ＩＩＩｌφのアルミニウム線をｌｉｉ！Ｅｌ溶
液中に浸漬・通電することによってアルマイト処理を施
し、その表面にＡＬｚＯ−を主成分とする膜厚５μｍの
陽極酸化膜を形成した。さらに、（の被覆アルミニウム
線表面上に反応性イオンブレーティング法により気相か
ら生成される膜厚３μ−のＡ　Ｑ　２０、膜を形成した
ものを、試料として作製した。

比較のため、同様のアルミニウム線の表面にアルマイト
処理のみ施し、ＩＩＪ２Ｎ８μｍのＡＬｚＯ３膜を形成
したもの、および同様のアルミニウム線の表面に直接、
反応性イオンプレーディング法により膜厚８μｌのΔ１
１２０＝Ｉｌｌを形成したものを、試料として作製した
。

得られた３種の試料を用いて、塩水噴霧法によって耐食
性と密着性、および絶縁破壊電圧を調べた。その結果、
本発明に従った、陽極酸化膜と反応性イオンブレーティ
ング法による膜とからなるＡｕ２０−被覆アルミニウム
線は、他の２者、陽極酸化膜のみ、および反応性イオン
ブレーティング法による膜のみのＡ　ｌ　２０−被覆ア
ルミニウム線に比べて、密着性、耐食性に優れ、また絶
縁破壊電圧も高い値を示した。

第１図は、上記方法によって得られた本発明例のＩＩ２
．２０．被覆アルミニウム線を示す断面図である。図示
するＡｕ２０．被覆アルミニウム線は、基材であるアル
ミニウム線１と、陽極酸化膜であるＡｌ１２０−膜２と
、反応性イオンブレーティング法によって気相から生成
されたセラミックス膜であるＡｌ２０．膜３とからなる
。

［実施例２］直径１ｍｍφの銅線の表面にスパッタリング法によって
ＡｆＬ膜を形成した後、その表面にアルカリアルマイト
法によりＡｆＬｔＯ−を主成分とする膜ＭＩ３μｍの陽
極酸化膜を形成した。得られたＡｕ２０、被覆銅線の表
面の上にプラズマＣＶＤ法により気相から生成される膜
厚７μｍのＡ１２０゜膜を形成した。さらに、この△１
ｚＯａ被覆銅線の外表面にポリイミドとポリアミドイミ
ドとを塗布し、その後焼付けた。それによって、膜厚１
０μＩのポリイミドと膜厚２μｍのポリアミドイミドと
からなる有機物被覆を施したものが得られた。

この被覆銅線を巻線として使用したところ、耐熱性、絶
縁性、可撓性ともに良好であった。

第２図は、このようにして得られた巻線用の被覆銅線を
示す断面図である。図示する被覆銅線は・、基材の芯部
である銅線４と、基材の表層部ひある、スパッタリング
法によるＡｉ膜５と、陽極酸化膜であるＡｉｚ　０．１
１６．！：、プラズマＣＶＤ法によって気相から生成さ
れたセラミックス膜であるＡｆＬ２０ｓＦＩＡ７と、ポ
リイミド膜８と、ポリアミドイミド膜９とからなる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明に従ったコーティング部材で実施例
１において、基材がアルミニウム線からなっているもの
を示す断面図である。第２図は、この発明に従ったコーティング部材で実施例
２において、基材がアルミニウム被覆銅線からなってい
るものを示す断面図である。図において、１は基材であるアルミニウム線、２は陽極
酸化膜であるＡｆＬＩ　Ｏ，ＩＩ、３はセラミックス膜
であるΔＬｚＯ−膜である。第７図第２図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）基材の表面の上に陽極酸化膜を形成し、さらに前
記陽極酸化膜の上に気相から生成されたセラミックス膜
を形成した、コーティング部材。
（２）前記基材は、少なくともその表面が陽極酸化する
金属である、特許請求の範囲第１項記載のコーティング
部材。
（３）前記陽極酸化膜は、主成分がＡｌ＿２Ｏ＿３であ
る、特許請求の範囲第１項または第２項記載のコーティ
ング部材。
（４）前記セラミックス膜の上に有機物被覆を有してな
る、特許請求の範囲第１項ないし第３項のいずれかに記
載のコーティング部材。
（５）前記セラミックスが、Ａｌ＿２Ｏ＿３、ＳｉＯ＿
２、ＭｇＯ、ＴｉＯ＿２を含む群から選ばれた少なくと
も１つの酸化物である、特許請求の範囲第１項ないし第
４項のいずれかに記載のコーティング部材。
（６）当該コーティング部材は、耐熱電線である、特許
請求の範囲第１項ないし第５項記載のコーティング部材
。