JPS63187637A - ワイヤボンデイングにおけるペレツト高さ調節方法 - Google Patents
ワイヤボンデイングにおけるペレツト高さ調節方法Info
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- JPS63187637A JPS63187637A JP62018257A JP1825787A JPS63187637A JP S63187637 A JPS63187637 A JP S63187637A JP 62018257 A JP62018257 A JP 62018257A JP 1825787 A JP1825787 A JP 1825787A JP S63187637 A JPS63187637 A JP S63187637A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明はペレットの高さ調節を容易にしかつ精度を向上
させたワイヤボンディングにおけるペレット高さ調節方
法に関する。
させたワイヤボンディングにおけるペレット高さ調節方
法に関する。
（従来の技術）
半導体装置の製造工程においては、リードフレームとか
基板などのリード端子部材とこれに固着されたペレット
との間をワイヤにより接続するワイヤボンディング工程
がある。この接合は例えばウェッジボンディングにおい
ては、ボンディングツールの先端から導出したワイヤを
ボンディングツールで押圧し、同時に超音波を刃口えて
圧接する方法が用いられている。この際ウェッジボンデ
ィングにおいてはボンディングツールの圧接平面とペレ
ットの上面とは平行であることが特に重要で、平行に保
たれていないと、１ｓｔまたは２ｎｄの接合部またはネ
ック部が弱くなり、品質が安定せず、接合部が切断する
事故がしばしば起っていた。
基板などのリード端子部材とこれに固着されたペレット
との間をワイヤにより接続するワイヤボンディング工程
がある。この接合は例えばウェッジボンディングにおい
ては、ボンディングツールの先端から導出したワイヤを
ボンディングツールで押圧し、同時に超音波を刃口えて
圧接する方法が用いられている。この際ウェッジボンデ
ィングにおいてはボンディングツールの圧接平面とペレ
ットの上面とは平行であることが特に重要で、平行に保
たれていないと、１ｓｔまたは２ｎｄの接合部またはネ
ック部が弱くなり、品質が安定せず、接合部が切断する
事故がしばしば起っていた。
このためボンディング装置においては、品種の切換えが
あると、ボンディングツール端の押圧面が水平となる基
準高さにペレットの上面を一致させるために、リード端
子部材を載せたステージの高さを入手により調節してい
たので精度が悪く、かなりの時間もかかっていた。さら
にまた一般にステージは加熱されているため、これが冷
却した後調節が行なわれるので、品種の切換にはかなり
の時間を必要とし、生産性同上の妨げになっていた。
あると、ボンディングツール端の押圧面が水平となる基
準高さにペレットの上面を一致させるために、リード端
子部材を載せたステージの高さを入手により調節してい
たので精度が悪く、かなりの時間もかかっていた。さら
にまた一般にステージは加熱されているため、これが冷
却した後調節が行なわれるので、品種の切換にはかなり
の時間を必要とし、生産性同上の妨げになっていた。
（発明が解決しようとする問題点）
上述したように、品種の切換などに際しては、ペレット
め高さを基準高さくボンディングツールの圧接面が水平
に保たれている昼さ）に合わせるのにかなりの時間がか
−り生産性が低下する不都合があったつ 本発明は上述の不都合を除去するため罠なされたもので
、短時間で容易に、しかも精度よくペレットの高さを基
準高さに合わせられるワイヤボンディングにおけるペレ
ット高さ調節方法を提供することを目的とする。
め高さを基準高さくボンディングツールの圧接面が水平
に保たれている昼さ）に合わせるのにかなりの時間がか
−り生産性が低下する不都合があったつ 本発明は上述の不都合を除去するため罠なされたもので
、短時間で容易に、しかも精度よくペレットの高さを基
準高さに合わせられるワイヤボンディングにおけるペレ
ット高さ調節方法を提供することを目的とする。
（問題点を解決するための手段と作用）本発明は回動位
置を検出するエンコーダを有する回動レバーにウェッジ
ボンディングツールを取付けこれの先端押圧平面を水平
に保った基準高さにおける上記エンコーダの回動位置信
号により基準値を設定する基準値設定工程と、 外部指令により上下駆動されるステージ上に置かれたペ
レットの上面に上記ウェッジボンディングツールの先端
を油接させ上記エンコーダの回動位置信号により測定値
を得る測定工程と、上記基準値と上記測定値とを比較し
上記基準高さと上記ペレット上面との高さの差を得る比
較工程と、 上記高さの差に基づき上記ステージを移動させ上記ペレ
ットの上面を上記基準高さに９動させるステージ移動工
程とを具備したことを特徴とするワイヤボンディングに
おけるペレット高さ調節方法である。
置を検出するエンコーダを有する回動レバーにウェッジ
ボンディングツールを取付けこれの先端押圧平面を水平
に保った基準高さにおける上記エンコーダの回動位置信
号により基準値を設定する基準値設定工程と、 外部指令により上下駆動されるステージ上に置かれたペ
レットの上面に上記ウェッジボンディングツールの先端
を油接させ上記エンコーダの回動位置信号により測定値
を得る測定工程と、上記基準値と上記測定値とを比較し
上記基準高さと上記ペレット上面との高さの差を得る比
較工程と、 上記高さの差に基づき上記ステージを移動させ上記ペレ
ットの上面を上記基準高さに９動させるステージ移動工
程とを具備したことを特徴とするワイヤボンディングに
おけるペレット高さ調節方法である。
スナわチ、ウェッジボンディングツールをペレット面に
描接させて、その高さをエンコーダで検出するので、基
準高さとの差が迅速、正確に得られるから、短時間に、
また精度よく調節できる。
描接させて、その高さをエンコーダで検出するので、基
準高さとの差が迅速、正確に得られるから、短時間に、
また精度よく調節できる。
また、ステージの温度が高くても、調節できる。
さらに所要時間が短縮できる。
（実施例）
以下、本発明の詳細を第１図および第２図を参照して一
実施例により説明する。最初に本発明の実施に使用した
ワイヤボンディング装置につき説明し、その作用ととも
に本発明方法の実施態様につき説明する。本装置は、ボ
ンディング部（１）と、ステージ部（２）と、制御部（
３）とからなっている。
実施例により説明する。最初に本発明の実施に使用した
ワイヤボンディング装置につき説明し、その作用ととも
に本発明方法の実施態様につき説明する。本装置は、ボ
ンディング部（１）と、ステージ部（２）と、制御部（
３）とからなっている。
ボンディング部（１）につき説明すると、（ｌυは基台
で、この上にＸ−Ｙテーブルα力が取付けられている。
で、この上にＸ−Ｙテーブルα力が取付けられている。
これの上に断面コ字状のフレーム叫が取付けられていて
、これの側２０４）、Ｏωに設けられた一対の軸受αω
、 Ｃ１６）により、回動レバーα力が回動自在に取付
けられている。これの一端部はステージ部（２）の方に
延び、他端部にはリニアモータ１１シの可動部α９が取
付けられている。その固定部囚は側壁側。
、これの側２０４）、Ｏωに設けられた一対の軸受αω
、 Ｃ１６）により、回動レバーα力が回動自在に取付
けられている。これの一端部はステージ部（２）の方に
延び、他端部にはリニアモータ１１シの可動部α９が取
付けられている。その固定部囚は側壁側。
０９の内側に取付けられている。また、この回動レバー
σηには超音波発振器を有するボンディングアーム器が
取付けられていて、これの一端部にはウェッジボンディ
ングツールＣ・０が取付けられており、他端部は板ばね
を介して回動レバーα力の回動中心近傍に取付けられて
いる。なお、ボンディングツール２４）の先端は下方Ｆ
Ｃ臨む平坦な圧接面（２４ａ）になっている。そして回
動レバー（１７）と一体回動し、かつ板ばねにより若干
回動レバーσＤに対して弾性的に回動偏位可能になって
いる。さらにまた、フレーム０３の側壁（１つにはワイ
ヤ供給体Ｃ■と、ＩＴＶカメラ（イ）が取付けられてい
て、ワイヤ供給体０５）のスプールから導出されるワイ
ヤ助はウェッジボンディングツール（２）に導入されて
いる。ＩＴＶカメラ０Ｃ）およびその画像処理回路−な
どによりボンディング位置を検出してＸ−Ｙテーブルｕ
りを駆動し、ウェッジボンディングツール０４）の位置
決めを行なうことについては、一般公知のものと同様な
ので詳細な説明は省略する。
σηには超音波発振器を有するボンディングアーム器が
取付けられていて、これの一端部にはウェッジボンディ
ングツールＣ・０が取付けられており、他端部は板ばね
を介して回動レバーα力の回動中心近傍に取付けられて
いる。なお、ボンディングツール２４）の先端は下方Ｆ
Ｃ臨む平坦な圧接面（２４ａ）になっている。そして回
動レバー（１７）と一体回動し、かつ板ばねにより若干
回動レバーσＤに対して弾性的に回動偏位可能になって
いる。さらにまた、フレーム０３の側壁（１つにはワイ
ヤ供給体Ｃ■と、ＩＴＶカメラ（イ）が取付けられてい
て、ワイヤ供給体０５）のスプールから導出されるワイ
ヤ助はウェッジボンディングツール（２）に導入されて
いる。ＩＴＶカメラ０Ｃ）およびその画像処理回路−な
どによりボンディング位置を検出してＸ−Ｙテーブルｕ
りを駆動し、ウェッジボンディングツール０４）の位置
決めを行なうことについては、一般公知のものと同様な
ので詳細な説明は省略する。
次にステージ部（２）につき説明する。Ｇυはステージ
で、基台ａυに４本のガイドロッド０２．・・・を介し
て上下動自在に取付けられている。また、上面は平坦な
載置面になっていて、回路基板器からなるリード端子部
材（２）が載置されるが、この部分に図示しない加熱ブ
ロックが埋め込まれていて、回路基板［有］を加熱する
。このリード端子部材（ロ）にはペレット（ト）、・・
・が固着されていて、このペレット（ハ）の端子部と、
回路基板器の端子部との間をワイヤ（３）で接続する。
で、基台ａυに４本のガイドロッド０２．・・・を介し
て上下動自在に取付けられている。また、上面は平坦な
載置面になっていて、回路基板器からなるリード端子部
材（２）が載置されるが、この部分に図示しない加熱ブ
ロックが埋め込まれていて、回路基板［有］を加熱する
。このリード端子部材（ロ）にはペレット（ト）、・・
・が固着されていて、このペレット（ハ）の端子部と、
回路基板器の端子部との間をワイヤ（３）で接続する。
さらにステージ１３１）にはねじ孔が形成されていて、
これに送りねじ（至）がはまっており、この送りねじ（
至）は基台αυに回転自在に取付けられている。この送
りねじ（ト）は基台ａυに取付けられたステッピングモ
ータ３７）によりベルト機構を介して正転・逆転され、
これによりステージＧυは所定量上下動する。すなわち
送りねじ（力とステッピングモータＣ３７）などで構成
される上下、駆動手段間によりペレット（至）の上面（
３Ｓａ）の高さを調節できる。
これに送りねじ（至）がはまっており、この送りねじ（
至）は基台αυに回転自在に取付けられている。この送
りねじ（ト）は基台ａυに取付けられたステッピングモ
ータ３７）によりベルト機構を介して正転・逆転され、
これによりステージＧυは所定量上下動する。すなわち
送りねじ（力とステッピングモータＣ３７）などで構成
される上下、駆動手段間によりペレット（至）の上面（
３Ｓａ）の高さを調節できる。
次に制御部（３）につき説明する。はりはマイクロコン
ピーータからなる制御装置である。これには、比較回路
（４りと、リニアモータ（ｌ（至）を駆動するリニアモ
ータ駆動回路（４３と、ステッピングモータＱηを駆動
するステージ駆動回路（４４）と、回動レバー（ｌηに
取付けられて、このレバーαηの回転位置に対応した回
動電気信号を送出するエンコーダ（４りと、回動レバー
側に取付けられて、ボンディングアーム−に対して所定
の間隔になると接触電気信号を送出するセンサ（４ｂ）
とが電気的に接続されていて、これらで制御部（３）が
構成されている。
ピーータからなる制御装置である。これには、比較回路
（４りと、リニアモータ（ｌ（至）を駆動するリニアモ
ータ駆動回路（４３と、ステッピングモータＱηを駆動
するステージ駆動回路（４４）と、回動レバー（ｌηに
取付けられて、このレバーαηの回転位置に対応した回
動電気信号を送出するエンコーダ（４りと、回動レバー
側に取付けられて、ボンディングアーム−に対して所定
の間隔になると接触電気信号を送出するセンサ（４ｂ）
とが電気的に接続されていて、これらで制御部（３）が
構成されている。
本発明方法を実施した装置は上述のように構成されてい
るが、次に本発明方法の実施態様につき述べる。上述し
たように本発明は基準値設定工程と、ペレット測定工程
と、比較工程と、ステージ移動工程とから構成されてい
る。
るが、次に本発明方法の実施態様につき述べる。上述し
たように本発明は基準値設定工程と、ペレット測定工程
と、比較工程と、ステージ移動工程とから構成されてい
る。
まず、基準値設定工程につき説明する。最初、ウェッジ
ボンディングツール（２）は上方の原点位置にある。こ
こから回動レバー（１ηを回動させて、ウェッジボンデ
ィングツール（２）の圧接面（２４ａ）が水平になった
位置を基準高さとし、基準高さになったときのエンコー
ダ（ｔ９の回動位置信号である原点からのフィードバッ
クパルス値を基準値とし、これを制御装置（４１）に記
憶させる。
ボンディングツール（２）は上方の原点位置にある。こ
こから回動レバー（１ηを回動させて、ウェッジボンデ
ィングツール（２）の圧接面（２４ａ）が水平になった
位置を基準高さとし、基準高さになったときのエンコー
ダ（ｔ９の回動位置信号である原点からのフィードバッ
クパルス値を基準値とし、これを制御装置（４１）に記
憶させる。
次にベレット測定工程につき説明する。以下第２図のフ
ローチャートに沿って述べる。予め基準値を記憶させて
おいて、品種の切換えを行なう（以上第１ステツプ）。
ローチャートに沿って述べる。予め基準値を記憶させて
おいて、品種の切換えを行なう（以上第１ステツプ）。
その後ベレン） （３５）の高さが変わったかどうか検
討し、変わらない場合は直ちに調節完了とし、変わった
場合は次のステップに移る（以上第２ステツプ）。変わ
った場合は制御装置ｌαυを作動させ、回動レバー（１
７）を原点から低速で回動させると、ウェッジポンディ
ングツール０４）がペレットＧ９の上面（３５ａ）に当
接して、ボンディングアーム田が停止すると、センサ（
（６）がこれを検出し、制御装置（４１）に接８信号を
送る。制御装置（４υは直ちに回動レバー（１７）の回
動を停止し、その位置でのエンコーダ（４Ｅ、ｌの回動
位置信号をペレットの高さの測定値とする（以上第３ス
テツプ）。
討し、変わらない場合は直ちに調節完了とし、変わった
場合は次のステップに移る（以上第２ステツプ）。変わ
った場合は制御装置ｌαυを作動させ、回動レバー（１
７）を原点から低速で回動させると、ウェッジポンディ
ングツール０４）がペレットＧ９の上面（３５ａ）に当
接して、ボンディングアーム田が停止すると、センサ（
（６）がこれを検出し、制御装置（４１）に接８信号を
送る。制御装置（４υは直ちに回動レバー（１７）の回
動を停止し、その位置でのエンコーダ（４Ｅ、ｌの回動
位置信号をペレットの高さの測定値とする（以上第３ス
テツプ）。
次に比較工程につき述べる。？！１ｉｌＩ御説置ｔ４１
装は上記測定値を比較回路０のに送り、基準値とｎｌｌ
定位とを比べ、大小を検出し、これにもとづいて＋、−
の差を算出する（以上第４ステツプ）。
装は上記測定値を比較回路０のに送り、基準値とｎｌｌ
定位とを比べ、大小を検出し、これにもとづいて＋、−
の差を算出する（以上第４ステツプ）。
次にステージ移動工程につき述べる。上述の差にもとづ
き制御装置Ｑｌ）はステージ駆動回路（旬を作動させ、
上下動駆動手段（ハ）によりステージＯυを所定量移動
させ、ペレット（３９の上面（３５ａ）を基準高さに一
致させる（以上第５ステツプ）。基準高さに一致したら
ペレットの高さ調節完了の表示をする（第６ステツプ）
。上述のようにしてペレット上面（３５ａ）の測さ調節
が終ると、ワイヤボンディング装置の作動に入る。
き制御装置Ｑｌ）はステージ駆動回路（旬を作動させ、
上下動駆動手段（ハ）によりステージＯυを所定量移動
させ、ペレット（３９の上面（３５ａ）を基準高さに一
致させる（以上第５ステツプ）。基準高さに一致したら
ペレットの高さ調節完了の表示をする（第６ステツプ）
。上述のようにしてペレット上面（３５ａ）の測さ調節
が終ると、ワイヤボンディング装置の作動に入る。
なお、本実施例においては、リード端子部材として回路
基板を用いたが、リードフレームでもトランジスタでも
よい。
基板を用いたが、リードフレームでもトランジスタでも
よい。
以上詳述したように、本発明のワイヤボンディングにお
けるペレット高さ調節方法は、ペレットの上面の局さ調
節を作業者によらずに行なうので、ヒータブロックの温
度や作業者の熟練に関係なく品種の交換が短時間で終了
し、またベレットの上面高さの検出はウェッジボンディ
ングツールの直接接触により行なうので、調節精度が高
く、歩留り向上の効果を奏す。
けるペレット高さ調節方法は、ペレットの上面の局さ調
節を作業者によらずに行なうので、ヒータブロックの温
度や作業者の熟練に関係なく品種の交換が短時間で終了
し、またベレットの上面高さの検出はウェッジボンディ
ングツールの直接接触により行なうので、調節精度が高
く、歩留り向上の効果を奏す。
第１図は本発明の一実施例に使用した装置の斜視図、第
２図は上記実施例の作用を説明するフローチャートであ
る。 ａη・・・回動レバー、 （２（１）・・・ウェッジボンディングツール、（２４
ａ）・・・圧接面、 （υ・・・ステージ、 ０９ ・・・ ペ し ッ ト 、（３Ｓａ）
・・・ベレットの上面、 （ａ・・・エンコーダ。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 竹 花 喜久男 ノーＪし 第 １ 図
２図は上記実施例の作用を説明するフローチャートであ
る。 ａη・・・回動レバー、 （２（１）・・・ウェッジボンディングツール、（２４
ａ）・・・圧接面、 （υ・・・ステージ、 ０９ ・・・ ペ し ッ ト 、（３Ｓａ）
・・・ベレットの上面、 （ａ・・・エンコーダ。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 竹 花 喜久男 ノーＪし 第 １ 図
Claims (1)
- （１）回動位置を検出するエンコーダを有する回動レバ
ーにウェッジボンディングツールを取付けこれの先端圧
接面を水平に保った基準高さにおける上記エンコーダの
回動位置信号により基準値を設定する基準値設定工程と
、 外部指令により上下駆動されるステージ上に置かれたペ
レットの上面に上記ウェッジボンディングツールの先端
を当接させ上記エンコーダの回動位置信号により測定値
を得る測定工程と、上記基準値と上記測定値とを比較し
上記基準高さと上記ペレット上面の高さとの差を得る比
較工程と、 上記高さの差に基づき上記ステージを移動させ上記ペレ
ットの上面を上記基準高さに移動させるステージ移動工
程とを具備したことを特徴とするワイヤボンディングに
おけるペレット高さ調節方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62018257A JPS63187637A (ja) | 1987-01-30 | 1987-01-30 | ワイヤボンデイングにおけるペレツト高さ調節方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62018257A JPS63187637A (ja) | 1987-01-30 | 1987-01-30 | ワイヤボンデイングにおけるペレツト高さ調節方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63187637A true JPS63187637A (ja) | 1988-08-03 |
Family
ID=11966628
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62018257A Pending JPS63187637A (ja) | 1987-01-30 | 1987-01-30 | ワイヤボンデイングにおけるペレツト高さ調節方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63187637A (ja) |
-
1987
- 1987-01-30 JP JP62018257A patent/JPS63187637A/ja active Pending
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