JPS63186899A - 酸化スズの溶解方法 - Google Patents

酸化スズの溶解方法

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JPS63186899A
JPS63186899A JP1599087A JP1599087A JPS63186899A JP S63186899 A JPS63186899 A JP S63186899A JP 1599087 A JP1599087 A JP 1599087A JP 1599087 A JP1599087 A JP 1599087A JP S63186899 A JPS63186899 A JP S63186899A
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JP
Japan
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substrate
tin oxide
tin
electrode
complexing agent
Prior art date
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Pending
Application number
JP1599087A
Other languages
English (en)
Inventor
Shigeyoshi Kobayashi
小林 重義
Masaru Yoshitake
優 吉武
Susumu Hachiuma
八馬 進
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AGC Inc
Original Assignee
Asahi Glass Co Ltd
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Filing date
Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25FPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC REMOVAL OF MATERIALS FROM OBJECTS; APPARATUS THEREFOR
    • C25F5/00Electrolytic stripping of metallic layers or coatings

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Electrolytic Production Of Non-Metals, Compounds, Apparatuses Therefor (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、基体上に付着している酸化スズの溶解方法に
関するもので、特に、基体上に付着している酸化スズそ
れ自身、又は酸化スズが付着されている基体を電極とし
て電解を行なうことにより酸化スズを溶解する方法に関
する。
[従来の技術] 従来より、基体に付着した酸化スズを溶解する方法とし
ては、スズよりイオン化傾向の大きな金属(Zn、Cd
、AI、Fe等)の粉末を散布し、その上に非酸化性の
無機酸(HCI 、H2SO4、H3PO4。
82 S03等)をスプレィする方法がある。この方法
は溶出速度は大きいが、コストが高い上、連続処理には
適さないとか、耐酸性に劣る基体の場合には適用できな
い等の制限を有する。一方レドックス電位が一〇、2V
 (マs、NHE)以下の金属イオンを含む無機酸(0
,5N以上)を用いて電解を行ない、その中に浸漬する
ことにより酸化スズを溶出させる方法もあるが、溶出速
度は必ずしも十分ではない。
これは電解により生ずる還元剤の濃度を酸化スズの表面
で必ずしも高くできないことによるものと考えられる。
そこで、直接基体に付着した酸化スズ自身、又は酸化ス
ズの基体とともに電解還元すれば、還元剤(例えば水素
原子)が電極(酸化スズ)の表面で生成するため溶解反
応速度を大きくすることが可能となる0例えば、塩酸溶
液中では電流密度20mA/cm2で1200〜150
0A /分の溶出速度が得られるとの報告がある(B、
J、Baliga、&、に、Ghandi、J、Ele
ctrochem。
Soc、、124(197?)1059. ) 、しか
し、電解還元法においては、スズが析出する場合が多く
、例えばアンモニア水中ではスズ被膜の形成、硫酸中で
は粉末状スズの形成が認められ、それらの除去にかなり
の手間が必要であった。
[発明の解決しようとする問題点コ 本発明の目的は、従来技術が有していた前述の欠点を解
消しようとするものである。すなわち、基体に付着した
酸化スズを、それ自身又はそれを析出させた基体ととも
に、直接に電解還元することにより、酸化スズを溶出さ
せるプロセスにおいて、溶出スズイオンが金属゛スズと
して電解液中において、又は基体上に再析出することの
抑制を目的とするものである。
[問題点を解決するための手段] 本発明は、前述の問題点を解決すべくなされたものであ
り、スズイオンと錯体を形成する錯化剤を含有する電解
液中にて、酸化スズの付着した基体、又は基体に付着し
た酸化スズそれ自身を電極とし、該電極と対向して配さ
れた対極との間で電解を行なうことにより基体に付着し
た酸化スズを溶解させることを特徴する酸化スズの溶解
方法を提供するものである。
本発明において、電解液としては、硫酸、塩酸等の無機
酸、クエン酸、酢酸等の有機酸水溶液、硫酸ナトリウム
等の無機塩水溶液、又は苛性ソーダ、苛性カリ等のアル
カリ水溶液、又はこれらの混合溶液を用いることができ
る。電解電流密度は、0.1〜10100O/cm2、
好ましくは1〜5QOmA/cm2が酸化スズの溶解速
度、及び溶解効率の点から望ましい。
本発明において、電解液に添加されるスズイオンの錯化
剤としては、酒石酸、クエン酸等の有機酸、エチレンジ
アミン四酢酸等のキレート剤、芳香族スルホン酸塩のう
ち、いずれか、又はそれらの混合物が適用できる。添加
量は、これを増加することにより、遊離スズイオンの濃
度を低下でき、飽和溶解量以内の範囲で添加できる。
[作用コ 本発明において、錯化剤は次に示すように働くことによ
り、スズの粉末状析出を抑制できると考えられる。酸化
スズを水溶液中で電解還元した場合、次の3つの反応が
同時に進行する。
e−48j Sn02−m−Sn”  −−一〇 H−−一→ H2−m−■ Sn2・ −一→ Sn   −−一■酸化スズ溶出の
速度、及び効率を向上するためには、■の反応を加速す
るとともに、副反応である■、■を抑制する必要がある
。■の反応は基本的には電流密度を大きくすることによ
って速くすることができる。しかし、この場合、電極の
電位が卑になり、■の反応が起こりやすくなる。粉末状
にスズ金属が析出するケースが多いが、場合によっては
薄膜状析出となるケースもあり、いずれにせよ好ましく
ない。この反応を抑制するには、スズイオン濃度を低下
させることが効果的であり、錯化剤の添加により達成で
きる。すなわち、スズ析出の過程において、電極からの
電子移動は、脱溶媒後にはじめめて起こるとされており
、スズ錯体からは直接還元されないためである。かかる
スズの電解析出過程の概念を以下に示す。
スズイオンと錯体を形成する錯化剤とじては、酒石酸等
の有機酸、EDTA等のキレート剤、及び芳香族スルホ
ン酸塩等が知られており、これらを適宜添加することに
より、スズイオン濃度を低下させ、スズの析出を抑制す
ることが可能となる。以下、実施例により本発明を具体
的に説明する。
[実施例コ 実施例1 酸化スズをCVD法により5000人析出させたステン
レス板(SO931El)を陰極とし、該陰極と対向し
て配される対極に白金網を用いてEDTAを0.1%添
加した5%硫酸を含む電解液中で電解を行なった。温度
は15℃から60℃の間で電流密度を種々代えて酸化ス
ズを溶解させたところ、電流密度の低い領域では、溶出
速度は電流密度とともに増加し、lO層A/cm2〜3
0a+A/c+a2では5000人/分以上の溶出速度
が得られること、及びスズの析出は少なく、流水洗浄や
超音波洗浄によりスズを容易に除去できることが確認さ
れた。
実施例2 添加剤としてm−ベンゼンジスルホン酸二ナトリウムを
0.1%含む硫酸中からなる電解液中で実施例1と同様
の試料を電解還元した。10〜30mA/cm2で、5
000人/分以上の溶出速度が得られた。スズの析出は
抑制され、流水洗浄、超音波洗浄によりスズを容易に除
去できた。
実施例3 電解方法として、直流のかわりにパルス電流を用いるほ
かは実施例1と同様にして、酸化スズの電解溶出を行っ
た。繰り返し周波数、デユーティ比、ピーク電流密度を
それぞれ種々変えて電解還元を行なったところ、l〜I
QHz、デュ・−ティ比20〜50%、ピーク電流密度
10〜100mAつ条件で酸化スズの溶出速度〜500
0人/分が得られ、スズの析出が特に抑制され、流水、
超音波洗浄でスズが容易に除去できることが分った。
実施例4 電解液として、酒石酸を10%添加したIN−水酸化ナ
トリウム水溶液を用い、実施例1と同じ試料を交流電解
法により還元した0周波数3〜10Hz、電流密度35
0mA/cm2 テ、5000人/分の溶出速度が得ら
れるとともにスズの析出は全く認められなかった。
実施例5 電解液として、EDTA、エタノールヲソレぞれ1%添
加した50%硫酸を用いるほかは、実施例1と同様にし
て酸化スズの溶解を行ったところ、実施例1と同様の結
果が得られた。
比較例1 電解液として、5%硫酸を用いる外は実施例1と同様に
して、酸化スズの溶解を行った。電流密度10〜30m
A/cm2で、約5000人/分以上の割合で、酸化ス
ズが還元されたが、粉末状のスズがかなり多量に析出し
た。これは流水、又は超音波による洗浄では除去しきれ
なかった。
比較例? 電解液として、IN−水酸化ナトリウム水溶液を用いる
外は実施例4と同様にして、酸化スズの溶解を行った0
周波数3〜10Hz、電流密度350mA/cm2では
溶出速度が酒石酸添加時の半分程度であった・ 比較例3 電解液として、5%硫酸を用いる外は実施例3と同様に
して、酸化スズの電解溶出を行った。溶解速度は実施例
3と同様であったが、析出スズの量は多く、又、流水、
超音波による洗浄では除去しきれなかった。
[発明の効果] 以上のように、本発明によれば、電解液中、又は基体上
にスズが析出するのを抑制して、酸化スズを十分な溶解
速度を持って電解溶解することができるという優れた効
果が得られる。従って、低コストで連続的な酸化スズの
溶出方法として最適である。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)スズイオンと錯体を形成する錯化剤を含有する電
    解液中にて酸化スズの付着した基体、又は基体に付着し
    た酸化スズそれ自身を電極とし、該電極に対向して配さ
    れた対極との間で電解を行なうことにより基体に付着し
    た酸化スズを溶解させることを特徴とする酸化スズの溶
    解方法。
  2. (2)錯化剤として、酒石酸、クエン酸、エチレンジア
    ミン四酢酸、芳香族スルホン酸の少なくとも1つが電解
    液中に添加されることを特徴とする特許請求の範囲第1
    項記載の酸化スズの溶解方法。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1991013191A1 (en) * 1990-02-23 1991-09-05 Gordon Roy G Electrolytic removal of tin oxide or titanium nitride from a coater
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