JPS63186571A - 超音波モ−タ駆動装置 - Google Patents
超音波モ−タ駆動装置Info
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- JPS63186571A JPS63186571A JP62016945A JP1694587A JPS63186571A JP S63186571 A JPS63186571 A JP S63186571A JP 62016945 A JP62016945 A JP 62016945A JP 1694587 A JP1694587 A JP 1694587A JP S63186571 A JPS63186571 A JP S63186571A
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- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims abstract description 9
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 13
- 230000001934 delay Effects 0.000 claims description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 3
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 claims description 3
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
- H02N2/145—Large signal circuits, e.g. final stages
- H02N2/147—Multi-phase circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
- H02N2/166—Motors with disc stator
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、圧電体を用いて駆動力を発生する超音波モー
タに係わり、特に超音波モータの弾性体を励振させる圧
電体を駆動させる駆動装置に関する。
タに係わり、特に超音波モータの弾性体を励振させる圧
電体を駆動させる駆動装置に関する。
従来の技術
近年、圧電体等の電気−機械変換子を用いて超音波振動
を励振することにより、回転あるいは走行運動を得る超
音波モータが従来のモータに比べ単位体積当りの出力が
大きいということで注目されている。
を励振することにより、回転あるいは走行運動を得る超
音波モータが従来のモータに比べ単位体積当りの出力が
大きいということで注目されている。
この超音波モータの構造の断面図を第４図に示す。
第４図において、円形の圧電体１および圧電体２と円形
の弾性体３とを厚み方向に重ねて構成したステータ４と
、このステータ４に面接触するライニング材５を備えた
円形のロータ６と、軸受け７と、前記ステータ４とロー
タ６七を加圧接触するための締結部材８と、電気信号を
前記２枚の圧電体に印加するための端子９．１０．１１
とから超音波モータ１２は構成されている。
の弾性体３とを厚み方向に重ねて構成したステータ４と
、このステータ４に面接触するライニング材５を備えた
円形のロータ６と、軸受け７と、前記ステータ４とロー
タ６七を加圧接触するための締結部材８と、電気信号を
前記２枚の圧電体に印加するための端子９．１０．１１
とから超音波モータ１２は構成されている。
この超音波モータの駆動装置として、第５図に示す構成
があり、この構成について以下説明する。
があり、この構成について以下説明する。
超音波モータ１２を構成するステータ４により定まる駆
動周波数ｆｄで９０度の位相差をもつ２つの信号Ａおよ
びＢを出力する発振装置１３と、この発振装置１３の各
々の出力信号を反転するインバータ回路１４および１５
と一次側巻線の中間に端子２０ｂを用け、この端子から
終端までの巻線２０ａ〜２０ｂおよび２０ｂ〜２０ｃと
二次側巻線２０ｄ〜２０ｅが任意の巻数比で構成されて
いるトランス２０およびこれと同じ構成のトランス２１
と、このトランス２０．２１の一次側中間端子２０ｂ、
２１ｂに直流電源２３を、−次側の他の端子２０ａ、２
０ｃ、２１ａ、２１ｃには前記発振装置１３および前記
インバータ回路１４゜１５の出力に従いスイッチング動
作するスイッチング素子１６．１７，１８．１９を接続
した増幅回路２２とから構成されており、前記トランス
２０．２１の二次側巻線の出力は、超音波モータ１２の
端子９，１０．１１に接続されている。
動周波数ｆｄで９０度の位相差をもつ２つの信号Ａおよ
びＢを出力する発振装置１３と、この発振装置１３の各
々の出力信号を反転するインバータ回路１４および１５
と一次側巻線の中間に端子２０ｂを用け、この端子から
終端までの巻線２０ａ〜２０ｂおよび２０ｂ〜２０ｃと
二次側巻線２０ｄ〜２０ｅが任意の巻数比で構成されて
いるトランス２０およびこれと同じ構成のトランス２１
と、このトランス２０．２１の一次側中間端子２０ｂ、
２１ｂに直流電源２３を、−次側の他の端子２０ａ、２
０ｃ、２１ａ、２１ｃには前記発振装置１３および前記
インバータ回路１４゜１５の出力に従いスイッチング動
作するスイッチング素子１６．１７，１８．１９を接続
した増幅回路２２とから構成されており、前記トランス
２０．２１の二次側巻線の出力は、超音波モータ１２の
端子９，１０．１１に接続されている。
第６図は第５図における各回路の信号波形であり、波形
ＩおよびＪは、発振装置１３の出力ｌ＼およびＢであり
、それぞれデユーティが１・１で、■とＪとは９０度の
位相差ｔ７がある。波形には、発振装置１３の出力Ａの
信号であり、スイッチング素子１８へ入力される信号で
ある。波形りは、前記出力Ａの信号をインバータ回路１
５で信号反転してスイッチング素子１９へ入力される信
号である。波形Ｍはトランス２１の二次ｆｔ１ｌ１巻線
２１（１〜ｄｌｅ間の波形である。。
ＩおよびＪは、発振装置１３の出力ｌ＼およびＢであり
、それぞれデユーティが１・１で、■とＪとは９０度の
位相差ｔ７がある。波形には、発振装置１３の出力Ａの
信号であり、スイッチング素子１８へ入力される信号で
ある。波形りは、前記出力Ａの信号をインバータ回路１
５で信号反転してスイッチング素子１９へ入力される信
号である。波形Ｍはトランス２１の二次ｆｔ１ｌ１巻線
２１（１〜ｄｌｅ間の波形である。。
発振装置１３の出力Ｂの信号についても上記と同様な動
作が行われる。（図示せず） 次に第６図を用いて第５図の動作について説明する。
作が行われる。（図示せず） 次に第６図を用いて第５図の動作について説明する。
発振装置１３の出力Ａより信号が出力されると、スイッ
チング素子１８．１９には第６図の波形Ｋ。
チング素子１８．１９には第６図の波形Ｋ。
Ｌの様に時間的に反転した信号がそれぞれ入力されるた
め、スイッチング素子１８．１９は交互にスイッチング
動作を行う。１８がスイッチングＯＮの時は、トランス
２１の一次側巻線には２１ｂから２１ａの方に電流が流
れる。逆に１８がスイッチングＯＦＦで１９がＯＮの時
は、−次側巻線には２１ｂから２１ｃの方に電流が流れ
る。この１８．１９を交互にスイッチング動作させ、−
次側巻線に流れる電流の方向を変えることにより、二次
側巻４１２１ｄ〜２１ｅ間には第６図の波形Ｍの様な交
流電圧が発生する。トランス２０についても同様の動作
がおこる。このため、トランス２０．２１の二次側巻線
間には、互いに９０度の位相差をもつ交流電圧が生じる
。この９０度の位相差をもつ交流電圧を超音波モータ１
２の圧電素子１，２の印加して超音波振動を励振させス
テータ４に進行波を発生させることにより回転力が発生
する。
め、スイッチング素子１８．１９は交互にスイッチング
動作を行う。１８がスイッチングＯＮの時は、トランス
２１の一次側巻線には２１ｂから２１ａの方に電流が流
れる。逆に１８がスイッチングＯＦＦで１９がＯＮの時
は、−次側巻線には２１ｂから２１ｃの方に電流が流れ
る。この１８．１９を交互にスイッチング動作させ、−
次側巻線に流れる電流の方向を変えることにより、二次
側巻４１２１ｄ〜２１ｅ間には第６図の波形Ｍの様な交
流電圧が発生する。トランス２０についても同様の動作
がおこる。このため、トランス２０．２１の二次側巻線
間には、互いに９０度の位相差をもつ交流電圧が生じる
。この９０度の位相差をもつ交流電圧を超音波モータ１
２の圧電素子１，２の印加して超音波振動を励振させス
テータ４に進行波を発生させることにより回転力が発生
する。
発明が解決しようとする問題点
ところが、超音波モータのステータに進行波を発生させ
、回転力を得るためには、ステータを構成する２枚の圧
電体に９０度の位相差をもつ交流信号を印加しなければ
ならない。このためには９０度の位相差をもつ信号源が
不可欠であり、従来例に示すような発振装置が必要とな
るため、駆動装置が太き（なってしまう。
、回転力を得るためには、ステータを構成する２枚の圧
電体に９０度の位相差をもつ交流信号を印加しなければ
ならない。このためには９０度の位相差をもつ信号源が
不可欠であり、従来例に示すような発振装置が必要とな
るため、駆動装置が太き（なってしまう。
また、交流信号を発生するために、従来例の構成でスイ
ッチング素子１６．１７および１８゜１９のそれぞれを
交互にスイッチング動作させていては、スイッチング素
子の特性により、スイッチング素子１６．１７および１
８．１９が同時にＯＮする期間が発生し、スイッチング
素子が破損してしまう。
ッチング素子１６．１７および１８゜１９のそれぞれを
交互にスイッチング動作させていては、スイッチング素
子の特性により、スイッチング素子１６．１７および１
８．１９が同時にＯＮする期間が発生し、スイッチング
素子が破損してしまう。
本発明は、上記の欠点を解決し、９０度の位相差をもつ
２つの信号を１つの基準信号から論理演算によって発生
させ、また、スイッチング素子を同時にＯＮＬ、ないよ
うに信号に遅れ時間をもたせることにより、安定動作が
できる小形で低価格な超音波モータ駆動装置を提供しよ
うというものである。
２つの信号を１つの基準信号から論理演算によって発生
させ、また、スイッチング素子を同時にＯＮＬ、ないよ
うに信号に遅れ時間をもたせることにより、安定動作が
できる小形で低価格な超音波モータ駆動装置を提供しよ
うというものである。
問題点を解決するための手段
上記問題点を解決するために本発明の超音波モータ駆動
装置は、発振器と、この発振器の出力から９０度の位相
差をもつ２つの信号をつくる位相回路と、この位相回路
の出力信号と位相回路の出力をそれぞれ反転した信号と
の４つの信号の立上りを任意の時間だけ遅らす遅延回路
と、この遅延回路の出力に応じて超音波モータを構成す
る圧電体を駆動させる駆動回路とを備えたものである。
装置は、発振器と、この発振器の出力から９０度の位相
差をもつ２つの信号をつくる位相回路と、この位相回路
の出力信号と位相回路の出力をそれぞれ反転した信号と
の４つの信号の立上りを任意の時間だけ遅らす遅延回路
と、この遅延回路の出力に応じて超音波モータを構成す
る圧電体を駆動させる駆動回路とを備えたものである。
作用
この構成によって、９０度の位相差をもつ信号が回路構
成を簡単なもので実現でき、信号の遅れ時間を用けるこ
とにより、スイッチング素子の破損も皆無となるため、
動作が安定で、安価な駆動装置が提供できる。
成を簡単なもので実現でき、信号の遅れ時間を用けるこ
とにより、スイッチング素子の破損も皆無となるため、
動作が安定で、安価な駆動装置が提供できる。
実施例
以下、本発明の一実施例を図面にもとづいて説明する。
第１図は本発明の一実施例における超音波モータの駆動
装置を示すものである。従来例と同一部分については同
一符号番付している。
装置を示すものである。従来例と同一部分については同
一符号番付している。
１２は超音波モータを構成する圧電体１と圧電体２とを
電気回路図で示したものである。
電気回路図で示したものである。
２４は発振器で、市販されているタイマーＩＣと、外付
部品抵抗、コンデンサ（図示せず）等がらなり、コンデ
ンサの充放電を利用した無安定発振回路の構成となって
いる。
部品抵抗、コンデンサ（図示せず）等がらなり、コンデ
ンサの充放電を利用した無安定発振回路の構成となって
いる。
２７は位相回路で、市販されているカウンターＩＣ２５
と、論理素子Ｅｘｃ ｌ ｕ ｓ ｉ ｖｅＯＲ２６（
以下ＦＯＲゲートと称する）とからなり、２５ａはクロ
ック入力端子、２５ｂは２５ａに入力されるクロックを
２分周した出力端子、２５ｃは４分周した出力端子であ
る。
と、論理素子Ｅｘｃ ｌ ｕ ｓ ｉ ｖｅＯＲ２６（
以下ＦＯＲゲートと称する）とからなり、２５ａはクロ
ック入力端子、２５ｂは２５ａに入力されるクロックを
２分周した出力端子、２５ｃは４分周した出力端子であ
る。
１４．１５はインバータ（ＮＯＴ）回路である。
３２は遅延回路で、抵抗２８とコンデンサ２９からなる
積分回路にダイオード３０と波形整形用のインバータ（
ＮＯＴ）回路を付加したものである。
積分回路にダイオード３０と波形整形用のインバータ（
ＮＯＴ）回路を付加したものである。
３３．３４．３５は３２と同じ構成の遅延回路である。
第２図、第３図に第１図の各回路の信号波形を示した。
まず、無安定発振回路である発振器２４から第２図のＡ
のようなデユーディがｔ＋ ： ｔ２ （ただしｔｌ
≠１２．１１は信号がＨｉｇｈ、ｔ２は信号がＬｏｗの
時間）の信号がカウンターＩＣ２５のクロック入力端子
２５ａに入力されると、信号Ａを２分周、および４分周
した信号第２図のＢおよびＣが端子２５ｂおよび２５ｃ
に得られる。次に第２図のＢとＣの信号を論理素子ＥＯ
Ｒゲートで演算すると前記信号Ｃに対し、電気的に９０
度の位相差ｔ３をもつ同図のＤの信号が得られる。
のようなデユーディがｔ＋ ： ｔ２ （ただしｔｌ
≠１２．１１は信号がＨｉｇｈ、ｔ２は信号がＬｏｗの
時間）の信号がカウンターＩＣ２５のクロック入力端子
２５ａに入力されると、信号Ａを２分周、および４分周
した信号第２図のＢおよびＣが端子２５ｂおよび２５ｃ
に得られる。次に第２図のＢとＣの信号を論理素子ＥＯ
Ｒゲートで演算すると前記信号Ｃに対し、電気的に９０
度の位相差ｔ３をもつ同図のＤの信号が得られる。
端子２５ｃの出力である信号Ｃは、一方はそのままで、
他方はＮＯＴ回路１４を介してそれぞれ遅延回路３２お
よび３３に入力される。ＦＯＲゲートの出力である信号
りについても同様に、一方はそのままで、他方はＮＯＴ
回路１５を介してそれぞれ遅延回路３４および３５に入
力される。
他方はＮＯＴ回路１４を介してそれぞれ遅延回路３２お
よび３３に入力される。ＦＯＲゲートの出力である信号
りについても同様に、一方はそのままで、他方はＮＯＴ
回路１５を介してそれぞれ遅延回路３４および３５に入
力される。
次に、遅延回路の動作について、第３図を用いて説明す
る。
る。
信号Ｅは点３２ａの信号を示し、信号Ｆは点３２ｂの信
号を、信号ＧはＮＯＴ回路３１の出力信号を示す。
号を、信号ＧはＮＯＴ回路３１の出力信号を示す。
まず、点３２ａに“Ｈ” （“Ｈ”は５ｖを示す）の信
号がくると、ダイオード３０には順方向電流が流れるた
め、点３２ｂには前記“Ｈ”信号の電圧からダイオード
のＶＢＨの電圧を差し引いた電圧が瞬時に発生し、以後
は、抵抗２８とコンデンサ２９との充電作用により、“
Ｈ”の電圧に達する。
号がくると、ダイオード３０には順方向電流が流れるた
め、点３２ｂには前記“Ｈ”信号の電圧からダイオード
のＶＢＨの電圧を差し引いた電圧が瞬時に発生し、以後
は、抵抗２８とコンデンサ２９との充電作用により、“
Ｈ”の電圧に達する。
次に点３２ａがＯｖになると、点３２ｂのＨ”の電圧は
、抵抗２８とコンデンサ２９との放電作用により、ゆる
やかな下降するカーブを描きなからＯｖに達する（第３
図のＦに示す〉。
、抵抗２８とコンデンサ２９との放電作用により、ゆる
やかな下降するカーブを描きなからＯｖに達する（第３
図のＦに示す〉。
この信号Ｆが波形整形用のＮＯＴ回路３１に入力される
と、前記ＮＯＴ回路３１のスレッシュホールド電圧ｖｔ
ｈにより、出力として、点３２ａに入力された信号Ｅの
“Ｈ”の時間し、より立上りがｔｓだけ遅れ、“Ｈ”の
時間がｔｓ（ｔｓ＝ｔ＋−ｔｓ）の信号Ｇが得られる。
と、前記ＮＯＴ回路３１のスレッシュホールド電圧ｖｔ
ｈにより、出力として、点３２ａに入力された信号Ｅの
“Ｈ”の時間し、より立上りがｔｓだけ遅れ、“Ｈ”の
時間がｔｓ（ｔｓ＝ｔ＋−ｔｓ）の信号Ｇが得られる。
信号Ｈは、点３２ａに入力される信号ＥをＮＯＴ回路１
４を介して遅延回路３３で上記と同様に信号処理した出
力である。
４を介して遅延回路３３で上記と同様に信号処理した出
力である。
信号ＧとＨを見るとわかるように、２つの信号の立上り
と立下がりにはｔ、の時間間隔があるため、この２つの
信号を用いて駆動回路２２のスイッチング素子をスイッ
チング動作させても、２つ同時にスイッチングＯＮにな
らないため、スイッチング素子の破損を皆無とすること
ができる。
と立下がりにはｔ、の時間間隔があるため、この２つの
信号を用いて駆動回路２２のスイッチング素子をスイッ
チング動作させても、２つ同時にスイッチングＯＮにな
らないため、スイッチング素子の破損を皆無とすること
ができる。
以上は発振器２４の出力信号Ａ（第２図を示す）のデユ
ーティがｔ１≠ｔ２の時について説明したが、ｊｌ＝ｊ
２についても上記と同じことが言える。しかし、デユー
ティがｔｌ＝ｔ２の時は、カウンターＩＣ２５で４分周
する必要はなく、信号Ａと２分周された信号ＢとでＥＯ
Ｒゲートで演算することにより上記と同様な９０度位相
差をもつ２つの信号を発生させることらできる。
ーティがｔ１≠ｔ２の時について説明したが、ｊｌ＝ｊ
２についても上記と同じことが言える。しかし、デユー
ティがｔｌ＝ｔ２の時は、カウンターＩＣ２５で４分周
する必要はなく、信号Ａと２分周された信号ＢとでＥＯ
Ｒゲートで演算することにより上記と同様な９０度位相
差をもつ２つの信号を発生させることらできる。
発明の効果
以上のように本発明は、発振器と、前記発振器の出力か
ら９０度の位相差をもつ２つの信号をつ（る位相回路と
、この位相回路の出力信号と前記位相回路の出力を信号
反転した信号の４つの信号の立上りを任意の時間だけ遅
らせる遅延回路と、この遅延回路の出力に応じて超音波
モータを構成する圧電体を駆動させる駆動回路とを備え
ることにより、簡単な回路で９０度の位相差をもつ２つ
の信号の発生が実現でき、また、信号の立上りを遅らせ
ることにより、スイッチング素子の破損が皆無となるた
め、常に安定した駆動ができる。
ら９０度の位相差をもつ２つの信号をつ（る位相回路と
、この位相回路の出力信号と前記位相回路の出力を信号
反転した信号の４つの信号の立上りを任意の時間だけ遅
らせる遅延回路と、この遅延回路の出力に応じて超音波
モータを構成する圧電体を駆動させる駆動回路とを備え
ることにより、簡単な回路で９０度の位相差をもつ２つ
の信号の発生が実現でき、また、信号の立上りを遅らせ
ることにより、スイッチング素子の破損が皆無となるた
め、常に安定した駆動ができる。
また、簡単な回路構成で実施できるので、安価な駆動回
路が提供できる。
路が提供できる。
第１図は本発明の一実施例における超音波モータの駆動
装置の回路図、第２図は第１図の位相回路の信号の波形
図、第３図は第１図の遅延回路の信号の波形図、第４図
は超音波モータの構造断面図、第５図は従来の超音波モ
ータ駆動装置の回路図、第６図は第５図の信号の波形図
である。 １．２・・・・・・圧電体、９．１０．１１・・・・・
・端子、１２・・・・・・超音波モータ、１４．１５・
・・・・・インバータ（ＮＯＴ）回路、２２・・・・・
・駆動回路、２４・・・・・・発振器、２７・・・・・
・位相回路、３２，３３，３４゜３５・・・・・・遅延
回路。 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男 ほか１名？、
製 第２図 第３図 第４図 第６図 八 乞翁Ｔｒ：箇由宍 手続補正書 も 昭和６３年４ 月 ６日
装置の回路図、第２図は第１図の位相回路の信号の波形
図、第３図は第１図の遅延回路の信号の波形図、第４図
は超音波モータの構造断面図、第５図は従来の超音波モ
ータ駆動装置の回路図、第６図は第５図の信号の波形図
である。 １．２・・・・・・圧電体、９．１０．１１・・・・・
・端子、１２・・・・・・超音波モータ、１４．１５・
・・・・・インバータ（ＮＯＴ）回路、２２・・・・・
・駆動回路、２４・・・・・・発振器、２７・・・・・
・位相回路、３２，３３，３４゜３５・・・・・・遅延
回路。 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男 ほか１名？、
製 第２図 第３図 第４図 第６図 八 乞翁Ｔｒ：箇由宍 手続補正書 も 昭和６３年４ 月 ６日
Claims (3)
- （１）発振器と、前記発振器の出力から９０度の位相差
をもつ２つの信号をつくる位相回路と、この位相回路の
２つの出力信号と前記位相回路の出力を反転した２つの
信号の４つの信号の立上りを任意の時間だけ遅らせる遅
延回路と、この遅延回路の出力に応じて超音波モータを
構成する圧電体を駆動させる駆動回路とを備えた超音波
モータ駆動装置。 - （２）コンデンサの充電、放電により発振周波数を決定
する無安定発振回路で構成された発振器を備え、この発
振器の出力をトリガ信号として前記発振器の発振周波数
を２，４分周する分周素子と、この２，４分周された２
つの信号から前記４分周された信号に対し電気的に９０
度の位相差を発生させるＥｘｃｌｕｓｉｖｅＯＲ素子と
で構成した位相回路を備えた特許請求の範囲第１項記載
の超音波モータ駆動装置。 - （３）抵抗とコンデンサとからなる積分回路と、前記抵
抗にダイオードを並列に接続し、さらに積分回路の出力
に波形整形用のインバータを付加した遅延回路を備えた
特許請求の範囲第１項記載の超音波モータ駆動装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62016945A JP2595950B2 (ja) | 1987-01-27 | 1987-01-27 | 超音波モータ駆動装置 |
| US07/143,093 US4833359A (en) | 1987-01-27 | 1988-01-12 | Driving apparatus for ultrasonic motor |
| DE3802212A DE3802212A1 (de) | 1987-01-27 | 1988-01-26 | Antriebsvorrichtung fuer einen ultraschallmotor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62016945A JP2595950B2 (ja) | 1987-01-27 | 1987-01-27 | 超音波モータ駆動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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