JPS63177480A - 電歪効果素子 - Google Patents
電歪効果素子Info
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- JPS63177480A JPS63177480A JP62007569A JP756987A JPS63177480A JP S63177480 A JPS63177480 A JP S63177480A JP 62007569 A JP62007569 A JP 62007569A JP 756987 A JP756987 A JP 756987A JP S63177480 A JPS63177480 A JP S63177480A
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- Japan
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- electrostrictive
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- Pending
Links
- 230000000694 effects Effects 0.000 title claims abstract description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 13
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 claims abstract description 12
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 3
- 239000000843 powder Substances 0.000 abstract description 3
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 abstract description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 abstract 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 abstract 1
- 238000007569 slipcasting Methods 0.000 abstract 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 7
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 239000002305 electric material Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- HEPLMSKRHVKCAQ-UHFFFAOYSA-N lead nickel Chemical group [Ni].[Pb] HEPLMSKRHVKCAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/875—Further connection or lead arrangements, e.g. flexible wiring boards, terminal pins
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、縦効果を利用した電歪効果素子に関する。
従来、この種の電歪効果素子は、第４図、第５図に示す
ような構造であった。すなわち、第４図に示すように電
歪材料からなるシー１−または薄板（以後電歪シーｌ−
と称す）１の片面に内部電極材料（以後内部電極と称す
）２を形成し、これらの複数枚を積層して積層体を形成
し、その側面の一角に露出した内部電極２に一層おきに
絶縁物３含形成する。さらにその上から第１の外部電極
４を形成する。一方、前述の側面の一角にほぼ対向する
側面の一角には、絶縁物３を形成しなかった内部電極２
の露出部に絶縁′ＰＩＡ３ ａを形成し、その上から第
２の外部電極４ａを形成する。そして両側面の外部電極
４．４ａにリード線５，５ａを半田６．６ａで接続した
構造であった。
ような構造であった。すなわち、第４図に示すように電
歪材料からなるシー１−または薄板（以後電歪シーｌ−
と称す）１の片面に内部電極材料（以後内部電極と称す
）２を形成し、これらの複数枚を積層して積層体を形成
し、その側面の一角に露出した内部電極２に一層おきに
絶縁物３含形成する。さらにその上から第１の外部電極
４を形成する。一方、前述の側面の一角にほぼ対向する
側面の一角には、絶縁物３を形成しなかった内部電極２
の露出部に絶縁′ＰＩＡ３ ａを形成し、その上から第
２の外部電極４ａを形成する。そして両側面の外部電極
４．４ａにリード線５，５ａを半田６．６ａで接続した
構造であった。
また第５図は、外部電極４，４ａをそれぞれ片方の端面
にまで延長して形成したリードしス構造である。
にまで延長して形成したリードしス構造である。
これら従来の電歪効果素子は、リード線５゜５ａまたは
両側面の外部電極を介して図示を省略した電圧供給部か
ら外部電極４．４ａ間に電圧を印加すると、内部電極２
を介してすべての電歪シー Ｉ−１の両端に電圧が印加
されて、素子全体として図示した矢印のＸ、Ｙ方向に歪
が発生するものである。
両側面の外部電極を介して図示を省略した電圧供給部か
ら外部電極４．４ａ間に電圧を印加すると、内部電極２
を介してすべての電歪シー Ｉ−１の両端に電圧が印加
されて、素子全体として図示した矢印のＸ、Ｙ方向に歪
が発生するものである。
上述した第４図に示す従来の電歪効果素子は、電歪シー
ト１を例えば２５０μｍ以下に薄膜化した場合、半田６
，６ａを被着する充分なスペースがとれなかったり、外
部電極４，４ａの半田食われや半田６，６ａの歪抑制効
果による絶縁物３゜３ａの破壊等が生じて、信頼性上大
きな欠点があった。
ト１を例えば２５０μｍ以下に薄膜化した場合、半田６
，６ａを被着する充分なスペースがとれなかったり、外
部電極４，４ａの半田食われや半田６，６ａの歪抑制効
果による絶縁物３゜３ａの破壊等が生じて、信頼性上大
きな欠点があった。
一方、第５図に示す従来のり一ドレス構造の電歪効果素
子では、外部電極４，４ａをそれぞれ片方の端面に延長
した構造のため角部４ｂ、４ｃで電極が薄く形成された
り、或いは電極切れが生じたりして問題が多かった。
子では、外部電極４，４ａをそれぞれ片方の端面に延長
した構造のため角部４ｂ、４ｃで電極が薄く形成された
り、或いは電極切れが生じたりして問題が多かった。
本発明の目的は、上述の欠点を解決した高信頼度の電歪
効果素子を提供することにある。
効果素子を提供することにある。
上述した従来構造の電極効果素子に対し、本発明は、素
子の内部から両側面に電極を取り出したリードレス８Ｉ
造であるため電歪効果素子としての信頼性および量産性
を大幅に向上することができる。
子の内部から両側面に電極を取り出したリードレス８Ｉ
造であるため電歪効果素子としての信頼性および量産性
を大幅に向上することができる。
ｒ問題点を解決するための手段〕
本発明は、層状の複数の電歪材をそれぞれの間に内部電
極材を挟んで積層し、前記内部電極材が一層おきに電気
的に接続された電歪効果素子において、′最外層の前記
電歪材に設けられ導電材を埋設したバイアホールと、前
記最外層の電歪材の外側の表面に設けられ前記バイアホ
ールに埋設された導電材を介して前記内部電極材と電気
的に接続された端子電極とを含んで構成される。
極材を挟んで積層し、前記内部電極材が一層おきに電気
的に接続された電歪効果素子において、′最外層の前記
電歪材に設けられ導電材を埋設したバイアホールと、前
記最外層の電歪材の外側の表面に設けられ前記バイアホ
ールに埋設された導電材を介して前記内部電極材と電気
的に接続された端子電極とを含んで構成される。
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図、第２図は、本発明の一実施例の縦断面図および
斜視図である。図中、１は、例えばニッケル・ニオブ酸
鉛Ｐｂ（Ｎ＋□／３Ｎ ｂ２／、） ０３を主成分とす
る電歪材料の予焼粉末に、微量の有機バインダを添加し
、これを有機溶媒体に分散させた泥漿を準備し、この泥
漿をスリップキャスティング成膜力等により層厚を約１
００μｍに形成した電歪シートである。２は、この電歪
シート１の片面に、銀粉末とパラジウム粉末とを７０：
３０の重量比で混合させた粉末を主成分とする導体ベー
ストをスクリーン印刷等で約１０μｍの厚みに被着形成
した内部電極である。
斜視図である。図中、１は、例えばニッケル・ニオブ酸
鉛Ｐｂ（Ｎ＋□／３Ｎ ｂ２／、） ０３を主成分とす
る電歪材料の予焼粉末に、微量の有機バインダを添加し
、これを有機溶媒体に分散させた泥漿を準備し、この泥
漿をスリップキャスティング成膜力等により層厚を約１
００μｍに形成した電歪シートである。２は、この電歪
シート１の片面に、銀粉末とパラジウム粉末とを７０：
３０の重量比で混合させた粉末を主成分とする導体ベー
ストをスクリーン印刷等で約１０μｍの厚みに被着形成
した内部電極である。
１０は、この内部電極２が同一方向になるような電歪シ
ート１の所定枚数と、その両端層に位置する内部電極２
と同様の同電材２ａを同様の方法で内部に形成したバイ
アホールを有する電歪シート１ａとを積層して熱加圧に
より一体化して約１１００ ’Ｃの温度で２時間程度焼
成した後、側面を切断して内部電極２の端面が外部に露
出した状態に形成した角柱状の積層体である。
ート１の所定枚数と、その両端層に位置する内部電極２
と同様の同電材２ａを同様の方法で内部に形成したバイ
アホールを有する電歪シート１ａとを積層して熱加圧に
より一体化して約１１００ ’Ｃの温度で２時間程度焼
成した後、側面を切断して内部電極２の端面が外部に露
出した状態に形成した角柱状の積層体である。
４は、積層体１０の第１の側面、すなわち第１図におけ
る左の側面に露出した内部電極２に一層おきにガラス等
の絶縁物３を形成し、その上に銀粉末を主成分とする導
電ペーストを被着した第１の外部電極である。４ａは、
第１の側面に対向する第２の側面、すなわち第１図にお
ける右の側面の第１の側面で絶縁物３を形成しなかった
内部電極２に、同様に絶縁物３ａを形成し、その上から
導電ペーストを被着した第２の外部電極である。
る左の側面に露出した内部電極２に一層おきにガラス等
の絶縁物３を形成し、その上に銀粉末を主成分とする導
電ペーストを被着した第１の外部電極である。４ａは、
第１の側面に対向する第２の側面、すなわち第１図にお
ける右の側面の第１の側面で絶縁物３を形成しなかった
内部電極２に、同様に絶縁物３ａを形成し、その上から
導電ペーストを被着した第２の外部電極である。
４ｄは外部電極４，４ａと同様の導電ペーストを積層体
１０の両側面に被着した端子電極である。
１０の両側面に被着した端子電極である。
本実施例では、図示を省略した電圧供給部から端子電極
４ｄ間に電圧を印加すると導電材２ａと外部電極４，４
ａを介して内部電極２間のすべての電工シート１の両側
に電圧が印加されて、素子全体として図示した矢印のＸ
、Ｙ方向に歪が発生するものである。
４ｄ間に電圧を印加すると導電材２ａと外部電極４，４
ａを介して内部電極２間のすべての電工シート１の両側
に電圧が印加されて、素子全体として図示した矢印のＸ
、Ｙ方向に歪が発生するものである。
なお、両端層の電歪シート１ａそれぞれにパイヤホール
を複数個設けてもよい。
を複数個設けてもよい。
第３図は、本発明の他の実施例中の斜視図を示す。本実
施例は、積層体１０′を円柱状に形成したものであり、
その構造および製造方法は実施例１と同様である。
施例は、積層体１０′を円柱状に形成したものであり、
その構造および製造方法は実施例１と同様である。
以上説明したように本発明は、バイアホール内に形成し
た導電材によって、素子の内部から両端面に電極を取り
出したリードレス構造であるため、リードを付けた時の
不具合や、従来のリードレス構造のような角部での外部
電極の形成不具合をなくすことができ、素子の信頼性お
よび量産性向上に大きな効果がある。
た導電材によって、素子の内部から両端面に電極を取り
出したリードレス構造であるため、リードを付けた時の
不具合や、従来のリードレス構造のような角部での外部
電極の形成不具合をなくすことができ、素子の信頼性お
よび量産性向上に大きな効果がある。
第１図および第２図はそれぞれ本発明の一実施例を示す
縦断面図および斜視図、第３図は本発明の他の実施例を
示す斜視図、第４図および第５図はそれぞれ従来の電歪
効果素子の一例および他の例を示す断面図である。 １・・・電歪シート、１ａ・・・バイアホールを有する
電歪シート、２・・・内部電極、２ａ・・・導電材、３
゜３ａ・・・絶縁物、４．４ａ・・・外部電極、４ｂ、
４ｃ−一 Ｃぐ
縦断面図および斜視図、第３図は本発明の他の実施例を
示す斜視図、第４図および第５図はそれぞれ従来の電歪
効果素子の一例および他の例を示す断面図である。 １・・・電歪シート、１ａ・・・バイアホールを有する
電歪シート、２・・・内部電極、２ａ・・・導電材、３
゜３ａ・・・絶縁物、４．４ａ・・・外部電極、４ｂ、
４ｃ−一 Ｃぐ
Claims (1)
- 層状の複数の電歪材をそれぞれの間に内部電極材を挟
んで積層し、前記内部電極材が一層おきに電気的に接続
された電歪効果素子において、最外層の前記電歪材に設
けられ導電材を埋設したバイアホールと、前記最外層の
電歪材の外側の表面に設けられ前記バイアホールに埋設
された導電材を介して前記内部電極材と電気的に接続さ
れた端子電極とを含むことを特徴とする電歪効果素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62007569A JPS63177480A (ja) | 1987-01-16 | 1987-01-16 | 電歪効果素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62007569A JPS63177480A (ja) | 1987-01-16 | 1987-01-16 | 電歪効果素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63177480A true JPS63177480A (ja) | 1988-07-21 |
Family
ID=11669440
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62007569A Pending JPS63177480A (ja) | 1987-01-16 | 1987-01-16 | 電歪効果素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63177480A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58196073A (ja) * | 1982-05-12 | 1983-11-15 | Nec Corp | 電歪効果素子 |
| JPS59219972A (ja) * | 1983-05-30 | 1984-12-11 | Nec Corp | 電歪効果素子 |
-
1987
- 1987-01-16 JP JP62007569A patent/JPS63177480A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58196073A (ja) * | 1982-05-12 | 1983-11-15 | Nec Corp | 電歪効果素子 |
| JPS59219972A (ja) * | 1983-05-30 | 1984-12-11 | Nec Corp | 電歪効果素子 |
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