JPH04240785A - 電歪効果素子 - Google Patents
電歪効果素子Info
- Publication number
- JPH04240785A JPH04240785A JP3007361A JP736191A JPH04240785A JP H04240785 A JPH04240785 A JP H04240785A JP 3007361 A JP3007361 A JP 3007361A JP 736191 A JP736191 A JP 736191A JP H04240785 A JPH04240785 A JP H04240785A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrostrictive
- internal electrode
- internal
- mixture
- electrode conductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 16
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 10
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 3
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 5
- 230000032798 delamination Effects 0.000 abstract description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 abstract description 3
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical class [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 abstract description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 abstract description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 8
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000004873 anchoring Methods 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電歪縦効果を利用した
電歪効果素子に関し、特に積層型電歪効果素子の内部電
極に関する。
電歪効果素子に関し、特に積層型電歪効果素子の内部電
極に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来この種の電歪効果素子は、図３に示
すように、片面に内部電極材料（以後内部電極と称す）
１２が形成された、電歪材料からなるシートまたは薄板
（以後電歪シートと称す）１１を複数枚、積層して形成
された積層体と、その側面の一角に露出した内部電極１
２に一層おきに形成された絶縁物１３と、その上から形
成された第１の外部電極導体（以後外部電極と称す）１
４と、前述の側面の一角にほぼ対向するもう一つの側面
の一角に、絶縁物１３を形成しなかった内部電極１２の
露出部に形成された絶縁物１３ａと、その上から形成さ
れた第２の外部電極１４ａと、そして両側面の外部電極
１４，１４ａに半田１６，１６ａで接続されたリード線
１５，１５ａとから構成されていた。
すように、片面に内部電極材料（以後内部電極と称す）
１２が形成された、電歪材料からなるシートまたは薄板
（以後電歪シートと称す）１１を複数枚、積層して形成
された積層体と、その側面の一角に露出した内部電極１
２に一層おきに形成された絶縁物１３と、その上から形
成された第１の外部電極導体（以後外部電極と称す）１
４と、前述の側面の一角にほぼ対向するもう一つの側面
の一角に、絶縁物１３を形成しなかった内部電極１２の
露出部に形成された絶縁物１３ａと、その上から形成さ
れた第２の外部電極１４ａと、そして両側面の外部電極
１４，１４ａに半田１６，１６ａで接続されたリード線
１５，１５ａとから構成されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の電歪効
果素子は、異種材料からなる電歪シート１１と内部電極
１２を積層し、これら両者を同時に焼成しているため、
収縮率の違いにより焼成時にデラミネーションを起こし
たり、あるいは焼成後に電歪シート１１と内部電極１２
の界面にマイクロクラックが発生していた。
果素子は、異種材料からなる電歪シート１１と内部電極
１２を積層し、これら両者を同時に焼成しているため、
収縮率の違いにより焼成時にデラミネーションを起こし
たり、あるいは焼成後に電歪シート１１と内部電極１２
の界面にマイクロクラックが発生していた。
【０００４】また、電歪シート１１と内部電極１２とは
化学的結合に乏しく、殆んどがセラミック粒子どうしの
アンカー効果等による機械的な接着であり、素子の引張
強度が小さく、急峻な直流あるいはパルス立ち上がりで
の電圧印加や高周波での使用に弱く、割れたりクラック
が発生したりする問題があった。
化学的結合に乏しく、殆んどがセラミック粒子どうしの
アンカー効果等による機械的な接着であり、素子の引張
強度が小さく、急峻な直流あるいはパルス立ち上がりで
の電圧印加や高周波での使用に弱く、割れたりクラック
が発生したりする問題があった。
【０００５】本発明の目的は、引張強度を高め、焼成時
のデラミネーションやマイクロクラックの発生，並びに
高周波での使用時の割れやクラック発生をなくすことが
でき、素子の信頼性および生産性を向上できる電歪効果
素子を提供することにある。
のデラミネーションやマイクロクラックの発生，並びに
高周波での使用時の割れやクラック発生をなくすことが
でき、素子の信頼性および生産性を向上できる電歪効果
素子を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の電歪効果素子は
シート状の電歪セラミック部材と内部電極導体とが交互
に重ね合わされた積層焼結体と、前記積層焼結体の対向
する側面にそれぞれ露出する内部電極導体の一方の端面
を各側面において１層おきに絶縁するガラス絶縁層と、
内部電極導体の露出する他方の端面を電気的に接続して
２つのくし歯形電極を構成せしめる１対の外部電極とを
含む電歪効果素子において、前記電歪セラミック部材と
前記内部電極導体との間に内部電極導体にウィスカーを
分散させた混合物の内部電極導体層を備えている。
シート状の電歪セラミック部材と内部電極導体とが交互
に重ね合わされた積層焼結体と、前記積層焼結体の対向
する側面にそれぞれ露出する内部電極導体の一方の端面
を各側面において１層おきに絶縁するガラス絶縁層と、
内部電極導体の露出する他方の端面を電気的に接続して
２つのくし歯形電極を構成せしめる１対の外部電極とを
含む電歪効果素子において、前記電歪セラミック部材と
前記内部電極導体との間に内部電極導体にウィスカーを
分散させた混合物の内部電極導体層を備えている。
【０００７】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明する
。図１は本発明の電歪効果素子の第１の実施例の縦断面
図である。
。図１は本発明の電歪効果素子の第１の実施例の縦断面
図である。
【０００８】本実施例では、図１に示すように、電歪シ
ート１と内部電極２との間に炭化ケイ素ウィスカーが分
散されている。
ート１と内部電極２との間に炭化ケイ素ウィスカーが分
散されている。
【０００９】次に本実施例の製造方法を説明する。先ず
例えばニッケル，ニオブ酸鉛Ｐｂ（Ｎｉ１／３ Ｎｂ２
／３ ）Ｏ３ を主成分とする電歪材料の予焼粉末に微
量の有機バインダを添加し、これを有機溶媒中に分散さ
せた泥漿を準備し、この泥漿をスリップキャスティング
成膜法等により厚みを１００μｍ程度に形成した電歪シ
ート１を形成する。この電歪シート１の片面に、先ず銀
粉末とパラジウム粉末とを７：３の重量比で混合させた
粉末に例えば炭化ケイ素ウィスカーを３０〜７０ｗｔ％
混合した混合物２０を主成分とするペーストをスクリー
ン印刷等で約５μｍの厚みに被着，形成する。その上に
同様の方法で銀：パラジウム（７：３）のみからなる内
部電極２を厚みが１０μｍ程度になるように形成し、さ
らにその上に混合物２０を５μｍ程度形成する。次に、
これらの形成面が同一方向になるように電歪シート１の
所定枚数を積層して熱加圧により一体化して、約１１０
０℃の温度で２時間程度焼成した後、側面を切断して内
部電極２の端部が外部に露出した角柱状の積層体１０を
形成する。
例えばニッケル，ニオブ酸鉛Ｐｂ（Ｎｉ１／３ Ｎｂ２
／３ ）Ｏ３ を主成分とする電歪材料の予焼粉末に微
量の有機バインダを添加し、これを有機溶媒中に分散さ
せた泥漿を準備し、この泥漿をスリップキャスティング
成膜法等により厚みを１００μｍ程度に形成した電歪シ
ート１を形成する。この電歪シート１の片面に、先ず銀
粉末とパラジウム粉末とを７：３の重量比で混合させた
粉末に例えば炭化ケイ素ウィスカーを３０〜７０ｗｔ％
混合した混合物２０を主成分とするペーストをスクリー
ン印刷等で約５μｍの厚みに被着，形成する。その上に
同様の方法で銀：パラジウム（７：３）のみからなる内
部電極２を厚みが１０μｍ程度になるように形成し、さ
らにその上に混合物２０を５μｍ程度形成する。次に、
これらの形成面が同一方向になるように電歪シート１の
所定枚数を積層して熱加圧により一体化して、約１１０
０℃の温度で２時間程度焼成した後、側面を切断して内
部電極２の端部が外部に露出した角柱状の積層体１０を
形成する。
【００１０】この積層体１０の第１の側面、すなわち左
側面に露出した内部電極２に一層おきにガラス等の絶縁
物３を形成し、その上に銀粉末を主成分とする導電ペー
ストを被着した第１の外部電極４を形成する。第１の側
面に対向する第２の側面、すなわち右側面の第１の側面
で絶縁物３を形成しなかった内部電極２に、同様に絶縁
物３を形成し、その上から第２の外部電極４ａを形成す
る。
側面に露出した内部電極２に一層おきにガラス等の絶縁
物３を形成し、その上に銀粉末を主成分とする導電ペー
ストを被着した第１の外部電極４を形成する。第１の側
面に対向する第２の側面、すなわち右側面の第１の側面
で絶縁物３を形成しなかった内部電極２に、同様に絶縁
物３を形成し、その上から第２の外部電極４ａを形成す
る。
【００１１】本実施例では、図示省略した電圧供給部か
ら半田６，６ａで外部電極４，４ａにそれぞれ接続され
リード線５，５ａ間に電圧を印加すると、外部電極４，
４ａを介して内部電極２間のすべての電歪シート１の両
端に電圧が印加されて、素子全体として図示した矢印の
ＸＹ方向に歪が発生するものである。
ら半田６，６ａで外部電極４，４ａにそれぞれ接続され
リード線５，５ａ間に電圧を印加すると、外部電極４，
４ａを介して内部電極２間のすべての電歪シート１の両
端に電圧が印加されて、素子全体として図示した矢印の
ＸＹ方向に歪が発生するものである。
【００１２】図２は本発明の電歪効果素子の第２の実施
例の縦断面図である。本実施例は、リードレス構造であ
り、その製造方法は第１の実施例と同様であるが、本構
造は外部電極４，４ａをそれぞれ片方の端面にまで延長
して形成した点が異なる。
例の縦断面図である。本実施例は、リードレス構造であ
り、その製造方法は第１の実施例と同様であるが、本構
造は外部電極４，４ａをそれぞれ片方の端面にまで延長
して形成した点が異なる。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、内部電極
と電歪セラミック部材の接するすべての面に、内部電極
材とウィスカーとの混合物を介在して一体焼成すること
により、Ｘ，Ｙ方向に荷重を加えて本素子の引張強度を
測定すると、混合物が介在しない場合に比べて約２〜４
倍の強度アップが確認され、また、焼成時のデラミネー
ションやマイクロクラックの発生や、高周波での使用時
の割れやクラック発生もなくすことができ、素子の信頼
性および生産性向上に大きな効果がある。
と電歪セラミック部材の接するすべての面に、内部電極
材とウィスカーとの混合物を介在して一体焼成すること
により、Ｘ，Ｙ方向に荷重を加えて本素子の引張強度を
測定すると、混合物が介在しない場合に比べて約２〜４
倍の強度アップが確認され、また、焼成時のデラミネー
ションやマイクロクラックの発生や、高周波での使用時
の割れやクラック発生もなくすことができ、素子の信頼
性および生産性向上に大きな効果がある。
【図１】本発明の一実施例の電歪効果素子の縦断面図で
ある。
ある。
【図２】本発明の他の実施例の電歪効果素子の縦断面図
である。
である。
【図３】従来の電歪効果素子の一例の縦断面図である。
１ 電歪シート
２ 内部電極
３，３ａ 絶縁物
４，４ａ 外部電極
５，５ａ リード線
６，６ａ 半田
１０ 積層体
２０ 混合物
Claims (1)
- 【請求項１】 シート状の電歪セラミック部材と内部
電極導体とが交互に重ね合わされた積層焼結体と、前記
積層焼結体の対向する側面にそれぞれ露出する内部電極
導体の一方の端面を各側面において１層おきに絶縁する
ガラス絶縁層と、内部電極導体の露出する他方の端面を
電気的に接続して２つのくし歯形電極を構成する１対の
外部電極とを含む電歪効果素子において、前記電歪セラ
ミック部材と前記内部電極導体との間に内部電極導体に
ウィスカーを分散させた混合物の内部電極導体層を持つ
ことを特徴とする電歪効果素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3007361A JPH04240785A (ja) | 1991-01-25 | 1991-01-25 | 電歪効果素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3007361A JPH04240785A (ja) | 1991-01-25 | 1991-01-25 | 電歪効果素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04240785A true JPH04240785A (ja) | 1992-08-28 |
Family
ID=11663828
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3007361A Pending JPH04240785A (ja) | 1991-01-25 | 1991-01-25 | 電歪効果素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04240785A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008535228A (ja) * | 2005-04-01 | 2008-08-28 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 機械的な分離層を備えたモノリシックな圧電性の構成部分、並びに該構成部分を製造するための方法、並びに当該構成部分の使用 |
| CN111292960A (zh) * | 2018-12-10 | 2020-06-16 | 三星电机株式会社 | 多层陶瓷电子组件及其制造方法 |
-
1991
- 1991-01-25 JP JP3007361A patent/JPH04240785A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008535228A (ja) * | 2005-04-01 | 2008-08-28 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 機械的な分離層を備えたモノリシックな圧電性の構成部分、並びに該構成部分を製造するための方法、並びに当該構成部分の使用 |
| CN111292960A (zh) * | 2018-12-10 | 2020-06-16 | 三星电机株式会社 | 多层陶瓷电子组件及其制造方法 |
| CN111292960B (zh) * | 2018-12-10 | 2023-06-09 | 三星电机株式会社 | 多层陶瓷电子组件及其制造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH04299588A (ja) | 電歪効果素子 | |
| US4780639A (en) | Electrostriction effect element | |
| JPH04159785A (ja) | 電歪効果素子 | |
| JP2893741B2 (ja) | 電歪効果素子 | |
| JPH08274381A (ja) | 積層型圧電アクチュエータ及びその製造方法 | |
| JPS63153870A (ja) | 電歪効果素子 | |
| JPH04240785A (ja) | 電歪効果素子 | |
| JPS59115579A (ja) | 電歪効果素子およびその製造方法 | |
| JPH03283581A (ja) | 積層圧電アクチュエータ素子 | |
| JPS59122200A (ja) | 電歪効果素子の内部電極を電気的に接続する方法 | |
| JPS63142875A (ja) | 圧電積層アクチユエ−タ− | |
| JPH02164085A (ja) | 電歪効果素子 | |
| WO2018123354A1 (ja) | 圧電素子 | |
| JPH04274377A (ja) | 積層圧電アクチュエータ | |
| JPH0666484B2 (ja) | 電歪効果素子 | |
| JPH0256822B2 (ja) | ||
| JPH049390B2 (ja) | ||
| JPH0671103B2 (ja) | 積層型セラミック素子の製造方法 | |
| JPH0787158B2 (ja) | 積層型セラミツク素子の製造方法 | |
| JPH02132870A (ja) | 積層圧電素子 | |
| JPS63177480A (ja) | 電歪効果素子 | |
| JPH02266578A (ja) | 電歪効果素子 | |
| JP3746475B2 (ja) | 積層型電子部品の製法 | |
| JPS6392068A (ja) | グリ−ンシ−ト積層型圧電積層体 | |
| JPH04243173A (ja) | 電歪効果素子 |