JPH02266578A - 電歪効果素子 - Google Patents
電歪効果素子Info
- Publication number
- JPH02266578A JPH02266578A JP1088929A JP8892989A JPH02266578A JP H02266578 A JPH02266578 A JP H02266578A JP 1088929 A JP1088929 A JP 1088929A JP 8892989 A JP8892989 A JP 8892989A JP H02266578 A JPH02266578 A JP H02266578A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solder
- external electrode
- electrostrictive
- solder resist
- lead
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000000694 effects Effects 0.000 title claims abstract description 15
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims abstract description 34
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 14
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 2
- 238000005476 soldering Methods 0.000 abstract description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 6
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 5
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 2
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 2
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical group [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 238000010345 tape casting Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/872—Interconnections, e.g. connection electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/875—Further connection or lead arrangements, e.g. flexible wiring boards, terminal pins
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、積層構造を有する電歪効果素子に関し、特に
そのリード線取出し構造に関する。
そのリード線取出し構造に関する。
従来、この種の積層型電歪効果素子は、第３図に示すよ
うに、大きな変位量を得るためにＴ１歪シートとなる圧
電体材料を１００μ前後の厚さに成膜し、さらに圧電体
材料の表面に内部電極となる導電体材料を印刷した後一
定寸法に切断してシート１を作り、これを数十層から数
百層積層し、つぎに積層された圧電体を焼成し切断した
後、圧電体側面に露出した内部電極２をガラス等の絶縁
物３により一層おきに絶縁しその上から導電ペーストを
被着し外部電８ｉ４を形成し、この外部電極４にリード
線６を半田７で半田付けして得られていた。しかし、リ
ード線６を半田７にて接続する際、半田７の熱により外
部電極４の下の絶縁物３が破壊されたり、圧電体を駆動
した際その発生変位により、半田７や圧電体自体に亀裂
が発生するという不都合が生じていた。このため、リー
ド線６を半田付けする部分には圧電体材料によるシート
１を積層する際、導電体材料を印刷していないシートを
必要な厚さ分だけ積層し、半田付けのためのスペースを
確保し不活性部分ａを設は第４図に示す構造にし、前述
した不都合の発生を防止していた。
うに、大きな変位量を得るためにＴ１歪シートとなる圧
電体材料を１００μ前後の厚さに成膜し、さらに圧電体
材料の表面に内部電極となる導電体材料を印刷した後一
定寸法に切断してシート１を作り、これを数十層から数
百層積層し、つぎに積層された圧電体を焼成し切断した
後、圧電体側面に露出した内部電極２をガラス等の絶縁
物３により一層おきに絶縁しその上から導電ペーストを
被着し外部電８ｉ４を形成し、この外部電極４にリード
線６を半田７で半田付けして得られていた。しかし、リ
ード線６を半田７にて接続する際、半田７の熱により外
部電極４の下の絶縁物３が破壊されたり、圧電体を駆動
した際その発生変位により、半田７や圧電体自体に亀裂
が発生するという不都合が生じていた。このため、リー
ド線６を半田付けする部分には圧電体材料によるシート
１を積層する際、導電体材料を印刷していないシートを
必要な厚さ分だけ積層し、半田付けのためのスペースを
確保し不活性部分ａを設は第４図に示す構造にし、前述
した不都合の発生を防止していた。
上述した従来の積層型電歪効果素子は、リード線の半田
付けの信頼性を高めるために半田の外部電極への濡れ性
を改善すると半田の広がりが大きくなって、内部電極の
有る活性部まで半田が広がり、その結果半田の熱により
外部電極の下の絶縁物が破壊されたり、素子を駆動した
際その発生変位により半田、絶縁物、圧電体に亀裂が発
生する等の不都合が生じ、この傾向は、素子の発生変位
の効率を高めるために素子の全長に対し活性部の占める
割合を大きくし、不活性部の長さを小さくすると顕著に
なり、また、逆に不活性部の長さを大きくすると変位発
生効率が下がるため同等の変位を確保する場合素子全長
が大きくなフてしまうという欠点がある。
付けの信頼性を高めるために半田の外部電極への濡れ性
を改善すると半田の広がりが大きくなって、内部電極の
有る活性部まで半田が広がり、その結果半田の熱により
外部電極の下の絶縁物が破壊されたり、素子を駆動した
際その発生変位により半田、絶縁物、圧電体に亀裂が発
生する等の不都合が生じ、この傾向は、素子の発生変位
の効率を高めるために素子の全長に対し活性部の占める
割合を大きくし、不活性部の長さを小さくすると顕著に
なり、また、逆に不活性部の長さを大きくすると変位発
生効率が下がるため同等の変位を確保する場合素子全長
が大きくなフてしまうという欠点がある。
（課題を解決するための手段）
本発明の電歪効果素子は、シート上のセラミック部材と
内部電極導体とが交互に積層され、前記内部電極導体を
一層おきに共通に接続する外部電極とを具備した積層型
電歪効果素子において、前記外部電極上のリード線接続
部近傍にソルダレジストを有している。
内部電極導体とが交互に積層され、前記内部電極導体を
一層おきに共通に接続する外部電極とを具備した積層型
電歪効果素子において、前記外部電極上のリード線接続
部近傍にソルダレジストを有している。
（作 用）
外部電極のリード付は部分にソルダレジストを形成する
ことにより、内部電極や絶縁物のある活性層まで半田が
広がることを防止できるため、リード付は部とする電歪
効果素子の不活性部分を最小に抑えることにより素子の
小型化が可能となり、充分なリード付は強度を確保しつ
つ電歪効果素子の信頼性が向上する。
ことにより、内部電極や絶縁物のある活性層まで半田が
広がることを防止できるため、リード付は部とする電歪
効果素子の不活性部分を最小に抑えることにより素子の
小型化が可能となり、充分なリード付は強度を確保しつ
つ電歪効果素子の信頼性が向上する。
（実施例）
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第１図は本発明の一実施例である電歪効果素子の斜視図
である。
である。
本実施例の電歪効果素子は、外部電極４上の不活性部分
ａの両端部にソルダレジスト５が印刷、被着されている
。
ａの両端部にソルダレジスト５が印刷、被着されている
。
次に、本実施例の製造方法を説明する。
例えばチタン酸ジルコン酸鉛Ｐｂ（Ｔｆ、Ｚｒ）Ｏｘを
主成分とする圧電体材料の粉末に微量の有機バインダを
添加し、これを有機溶媒中に分散させて泥漿を作りテー
プキャスト法に上り膜厚約１３０μに形成した電歪シー
ト１上に銀・パラジウム粉末を７：３に混合したペース
トを約１０μの厚さになるよう内部電極２をスクリーン
印刷で被着形成した０次に、この内部電極２を印刷した
電歪シート１を約８０枚、印刷していない電歪シート１
を約３０枚さらに再度印刷した電歪シートを約８０枚順
次積層し、１００℃２５０にｇ／ｃｒｎ”の条件で熱加
圧して一体化し、約１１００℃の温度で２時間焼結した
。この焼結体にガラス等の絶縁物３を一層おきに形成し
、さらに銀粉末を主成分とする導電ペーストを被着し外
部電極４を形成した。この外部電極４上の不活性部分ａ
の両端部にソルダレジスト５を印刷、被着し、リード線
６は半田７により外部電極４に接合し、第１図の電歪効
果素子を得た。
主成分とする圧電体材料の粉末に微量の有機バインダを
添加し、これを有機溶媒中に分散させて泥漿を作りテー
プキャスト法に上り膜厚約１３０μに形成した電歪シー
ト１上に銀・パラジウム粉末を７：３に混合したペース
トを約１０μの厚さになるよう内部電極２をスクリーン
印刷で被着形成した０次に、この内部電極２を印刷した
電歪シート１を約８０枚、印刷していない電歪シート１
を約３０枚さらに再度印刷した電歪シートを約８０枚順
次積層し、１００℃２５０にｇ／ｃｒｎ”の条件で熱加
圧して一体化し、約１１００℃の温度で２時間焼結した
。この焼結体にガラス等の絶縁物３を一層おきに形成し
、さらに銀粉末を主成分とする導電ペーストを被着し外
部電極４を形成した。この外部電極４上の不活性部分ａ
の両端部にソルダレジスト５を印刷、被着し、リード線
６は半田７により外部電極４に接合し、第１図の電歪効
果素子を得た。
第２図は本発明の第２の実施例の斜視図である。
第１図の実施例では、リード線６の取り出し部分を電歪
効果素子の中央部に設けた例を示したが、本実施例では
リード線６の取り出し部分を外部電極２の端部に設けた
。この実施例では、ソルダレジストの形成が１つですみ
、形成時の寸法合せも容易であるという利点がある。
効果素子の中央部に設けた例を示したが、本実施例では
リード線６の取り出し部分を外部電極２の端部に設けた
。この実施例では、ソルダレジストの形成が１つですみ
、形成時の寸法合せも容易であるという利点がある。
本実施例の素子の信頼性評価結果を従来例の素子と比較
して表１に示す。ここでは従来例の素子として第３図お
よび第４図に示した素子を用い。
して表１に示す。ここでは従来例の素子として第３図お
よび第４図に示した素子を用い。
実施例の素子として第１図に示した素子を用いた。また
、信頼性試験は、以上の素子名２０個を常温常湿中でパ
ルス駆動（１５０Ｖ 、 ２５０Ｈｚ、０．２４ｍ５ｅ
ｃ）を行い、リード取出し部分付近の放電および破壊不
良の発生を調べた。
、信頼性試験は、以上の素子名２０個を常温常湿中でパ
ルス駆動（１５０Ｖ 、 ２５０Ｈｚ、０．２４ｍ５ｅ
ｃ）を行い、リード取出し部分付近の放電および破壊不
良の発生を調べた。
表１
この表からソルダレジスト５を形成した場合、明らかに
信頼性が向上している。
信頼性が向上している。
次に、リード線６の取付は強度は一般に半田付は面積に
比例する。従来の素子の場合充分な強度を得るために直
径が約３ａ＋ｍになるように半田をつけていた。このと
き広がった半田が活性層まで達しないようにするため不
活性部分ａは最低でも４ＩＩ１１は必要であった。本実
施例の場合、半田７の流れをソルダレジスト５によりコ
ントロールできるため、不活性部分ａは２ｍ＋１Ｌ／か
必要なくなフた。また、この時半田７は外部電極の幅方
向に広がり、リード線の取付は強度が低くなることはな
かフだ。
比例する。従来の素子の場合充分な強度を得るために直
径が約３ａ＋ｍになるように半田をつけていた。このと
き広がった半田が活性層まで達しないようにするため不
活性部分ａは最低でも４ＩＩ１１は必要であった。本実
施例の場合、半田７の流れをソルダレジスト５によりコ
ントロールできるため、不活性部分ａは２ｍ＋１Ｌ／か
必要なくなフた。また、この時半田７は外部電極の幅方
向に広がり、リード線の取付は強度が低くなることはな
かフだ。
なお、本発明によるソルダレジストの幅は、当然のこと
ながら広い方が確実な効果が期待できる。実験では幅３
Ｉｌｆｆｉのソルダレジストを形成し、半田の広がりや
飛散を抑える充分な効果が得られた。
ながら広い方が確実な効果が期待できる。実験では幅３
Ｉｌｆｆｉのソルダレジストを形成し、半田の広がりや
飛散を抑える充分な効果が得られた。
以上説明したように本発明は、外部電極上の素子活性部
分と不活性部分の境界にソルダレジストを形成すること
よより、半田が内部電極との接続部上に広がることを防
止できるため、ガラス絶縁部の破壊や素子および半田の
亀裂の発生を防止できる効果があり、また、半田付けの
ための不活性な部分を小さくすることができるため、素
子を小型化できるという効果がある。
分と不活性部分の境界にソルダレジストを形成すること
よより、半田が内部電極との接続部上に広がることを防
止できるため、ガラス絶縁部の破壊や素子および半田の
亀裂の発生を防止できる効果があり、また、半田付けの
ための不活性な部分を小さくすることができるため、素
子を小型化できるという効果がある。
第１図は本発明の第１の実施例を示す斜視図、第２図は
本発明の第２の実施例を示す斜視図、第３図、第４図は
それぞれ電歪効果素子の従来例を示す断面図である。 １・・・電歪シート、 ２・−内部Ｗ極、３・−
・絶縁物、 ４・−外部電極、５−・ソルダレ
ジスト、 ６−・リード線、７−・半田、
ａ・−不活性部分。
本発明の第２の実施例を示す斜視図、第３図、第４図は
それぞれ電歪効果素子の従来例を示す断面図である。 １・・・電歪シート、 ２・−内部Ｗ極、３・−
・絶縁物、 ４・−外部電極、５−・ソルダレ
ジスト、 ６−・リード線、７−・半田、
ａ・−不活性部分。
Claims (1)
- １．シート状のセラミック部材と内部電極導体とが交互
に積層され、前記内部電極導体を一層おきに共通に接続
する外部電極を具備した積層型電歪効果素子において、 前記外部電極上のリード線接続部近傍にソルダレジスト
を有することを特徴とする電歪効果素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1088929A JPH02266578A (ja) | 1989-04-06 | 1989-04-06 | 電歪効果素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1088929A JPH02266578A (ja) | 1989-04-06 | 1989-04-06 | 電歪効果素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02266578A true JPH02266578A (ja) | 1990-10-31 |
Family
ID=13956594
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1088929A Pending JPH02266578A (ja) | 1989-04-06 | 1989-04-06 | 電歪効果素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02266578A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4201937A1 (de) * | 1991-01-25 | 1992-07-30 | Murata Manufacturing Co | Piezoelektrisches laminiertes stellglied |
| DE10026005A1 (de) * | 2000-05-25 | 2001-12-06 | Bosch Gmbh Robert | Piezoaktor |
| DE102011014447A1 (de) * | 2011-03-18 | 2012-09-20 | Epcos Ag | Piezoaktor und Verfahren zur Kontaktierung eines Piezoaktors |
| WO2012173081A1 (ja) * | 2011-06-16 | 2012-12-20 | 株式会社村田製作所 | 積層型圧電アクチュエータ |
-
1989
- 1989-04-06 JP JP1088929A patent/JPH02266578A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4201937A1 (de) * | 1991-01-25 | 1992-07-30 | Murata Manufacturing Co | Piezoelektrisches laminiertes stellglied |
| DE10026005A1 (de) * | 2000-05-25 | 2001-12-06 | Bosch Gmbh Robert | Piezoaktor |
| DE10026005B4 (de) * | 2000-05-25 | 2004-07-08 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktor |
| DE102011014447A1 (de) * | 2011-03-18 | 2012-09-20 | Epcos Ag | Piezoaktor und Verfahren zur Kontaktierung eines Piezoaktors |
| WO2012173081A1 (ja) * | 2011-06-16 | 2012-12-20 | 株式会社村田製作所 | 積層型圧電アクチュエータ |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4780639A (en) | Electrostriction effect element | |
| US5523645A (en) | Electrostrictive effect element and methods of producing the same | |
| GB2242312A (en) | Laminated displacement device | |
| JPH04299588A (ja) | 電歪効果素子 | |
| JP2001267646A (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JP3024763B2 (ja) | 積層型変位素子 | |
| US5144528A (en) | Laminate displacement device | |
| JPH02266578A (ja) | 電歪効果素子 | |
| JP2994492B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータおよびその製造方法 | |
| JPS63153870A (ja) | 電歪効果素子 | |
| JPH06140683A (ja) | 積層型圧電アクチュエータおよびその製造方法 | |
| JPS61272984A (ja) | 電歪効果素子 | |
| JP4166867B2 (ja) | 圧電トランス素子及びそのケーシング方法 | |
| JP2705333B2 (ja) | 圧電効果素子および電歪効果素子並びにその製造方法 | |
| JPH0256822B2 (ja) | ||
| JPH0476969A (ja) | 電歪効果素子 | |
| JPH04337682A (ja) | 圧電効果素子および電歪効果素子 | |
| JP3080033B2 (ja) | 積層型圧電トランス | |
| JPH01146378A (ja) | 電歪効果素子 | |
| JP2505024Y2 (ja) | 積層セラミック電歪素子 | |
| JPH07106654A (ja) | 積層型変位素子 | |
| JPH04239783A (ja) | 電歪効果素子 | |
| JPH049390B2 (ja) | ||
| JPH04243173A (ja) | 電歪効果素子 | |
| JP2000021677A (ja) | 積層セラミックコンデンサ |