JPS63175510A - 半導体回路 - Google Patents
半導体回路Info
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- JPS63175510A JPS63175510A JP598387A JP598387A JPS63175510A JP S63175510 A JPS63175510 A JP S63175510A JP 598387 A JP598387 A JP 598387A JP 598387 A JP598387 A JP 598387A JP S63175510 A JPS63175510 A JP S63175510A
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- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims 1
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
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- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
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Landscapes
- Control Of Amplification And Gain Control (AREA)
- Amplifiers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、FETを用いた広帯域利得可変増幅器に係り
、特に光通信などの高速伝送回路の集積化に好適な利得
可変増幅器に関する。
、特に光通信などの高速伝送回路の集積化に好適な利得
可変増幅器に関する。
従来の利得可変増幅器は、例えば電子通信学会半導体・
1−ランジスタ研究会「モノリシックIC化超広帯域増
幅器JSSD81−99 第76頁に示したように、
2つの差動対の利得を加算し、共通の負荷抵抗から取り
出す利得加算型の回路構成をとっており、利得の変化は
、差動対のエミッタ部に接続された別のもう1つの差動
対のベース直流電位差により定電流源電流を分配して行
っていた。」二記文献に示した回路内のバイポーラ1−
ランジスタをFETに置き直した回路を第2図に示すが
、これもまた上記説明と同様の動作をするものあった。
1−ランジスタ研究会「モノリシックIC化超広帯域増
幅器JSSD81−99 第76頁に示したように、
2つの差動対の利得を加算し、共通の負荷抵抗から取り
出す利得加算型の回路構成をとっており、利得の変化は
、差動対のエミッタ部に接続された別のもう1つの差動
対のベース直流電位差により定電流源電流を分配して行
っていた。」二記文献に示した回路内のバイポーラ1−
ランジスタをFETに置き直した回路を第2図に示すが
、これもまた上記説明と同様の動作をするものあった。
第2図において、最大利得を与える差動対1〜ランジス
タタを01.、Q2.最小利得を与える差動対1〜ラン
ジスタをQ3.Q4、又利得制御用の差動対トランジス
タをQ5.Q6とし、定電流源電流を■とすると、最大
利得GmaX、最小利得GT11.n及び利得可変幅d
y、 rangeは以下のように表わせる。つまり、Q
]、、Q2のgmをgm+、Q3.Q4のgmをgm2
、又、ソース抵抗をR81とすると、 Gmax”gmloR,−。
タタを01.、Q2.最小利得を与える差動対1〜ラン
ジスタをQ3.Q4、又利得制御用の差動対トランジス
タをQ5.Q6とし、定電流源電流を■とすると、最大
利得GmaX、最小利得GT11.n及び利得可変幅d
y、 rangeは以下のように表わせる。つまり、Q
]、、Q2のgmをgm+、Q3.Q4のgmをgm2
、又、ソース抵抗をR81とすると、 Gmax”gmloR,−。
g m+・(1+g mz ’ Rs+−)dy、 r
ange=□ mz ここで、VT=25mVである。上式において、最大利
得の上限は、利得増加に伴う帯域劣化制限と、出力振幅
R4・■で表わされる電圧降下に伴う回路飽和の制限か
ら決定される。また、最小利得の下限は、Rs□・■で
表わされる電圧降下に伴う回路飽和から決定される。と
ころで、回路の応帯域化を狙うには、」−述のような最
大利得設計を考慮する必要があるわけだが、これらの間
には次式のような関係が成立つ。即ち、帯域BWは、τ
、=1/2π・fT τ2=rg・(Cg、十C口) τ3−RL・(2(]、 + G)Jlgd)BW=1
/2π(τ1+で2+τ3)・・・(3)で表わされる
。ここでτ1はFET自体の高域しゃ断時定数であり、
f7、はFETのしゃ断周波数である。またで2は、ゲ
ート高域しゃ断時定数で、r&+ Cg、H,Cg、4
は各々ゲーI・抵抗、ゲー1へ・ソース間及びゲー1〜
・トレイン間容量である。τ3は負荷抵抗とドレインミ
ラー容量て決まる時定数で、Gは増幅器利得を示す。通
常、Sllバイ−ラ回路では、τ3に対するτ3.τ2
の寄与度がかなり高いのに対し、FET回路では、τ3
に対し、τ1.τ2がほとんど無視できる。ちなみに、
利得G=10.RL=1にΩ、Cg、=2fFの回路で
は帯域は約3GHzとなる。ところが、(3)式に示し
たように、第2図に示した利得加算回路形式ではQl、
Q3あるいはQ2.Q4の2組分の容t Cgclが付
随するため、差動増幅器に利得可変機能を付加しただけ
で帯域が1/2に劣化してしてしまうものであった。
ange=□ mz ここで、VT=25mVである。上式において、最大利
得の上限は、利得増加に伴う帯域劣化制限と、出力振幅
R4・■で表わされる電圧降下に伴う回路飽和の制限か
ら決定される。また、最小利得の下限は、Rs□・■で
表わされる電圧降下に伴う回路飽和から決定される。と
ころで、回路の応帯域化を狙うには、」−述のような最
大利得設計を考慮する必要があるわけだが、これらの間
には次式のような関係が成立つ。即ち、帯域BWは、τ
、=1/2π・fT τ2=rg・(Cg、十C口) τ3−RL・(2(]、 + G)Jlgd)BW=1
/2π(τ1+で2+τ3)・・・(3)で表わされる
。ここでτ1はFET自体の高域しゃ断時定数であり、
f7、はFETのしゃ断周波数である。またで2は、ゲ
ート高域しゃ断時定数で、r&+ Cg、H,Cg、4
は各々ゲーI・抵抗、ゲー1へ・ソース間及びゲー1〜
・トレイン間容量である。τ3は負荷抵抗とドレインミ
ラー容量て決まる時定数で、Gは増幅器利得を示す。通
常、Sllバイ−ラ回路では、τ3に対するτ3.τ2
の寄与度がかなり高いのに対し、FET回路では、τ3
に対し、τ1.τ2がほとんど無視できる。ちなみに、
利得G=10.RL=1にΩ、Cg、=2fFの回路で
は帯域は約3GHzとなる。ところが、(3)式に示し
たように、第2図に示した利得加算回路形式ではQl、
Q3あるいはQ2.Q4の2組分の容t Cgclが付
随するため、差動増幅器に利得可変機能を付加しただけ
で帯域が1/2に劣化してしてしまうものであった。
上記のように、G a A s F E Tなどの超高
速デバイスにおいては、トランジスタ自身のしゃ断周波
数及びゲート時定数が小さいため、回路の帯域は負荷抵
抗と、ドレインに付随したミラー容量の積で決まる時定
数で決定される。従って第2図に示した利得可変増幅器
の回路構成では、差動増幅器を2組並列に接続した構成
となっているため、回路構成」二、既に2倍のドレイン
ミラー容量が付随するため、(3)式のように帯域が1
72に劣化してしまうという欠点があった。従来のよう
なSiバイポーラ回路ではτ3の時定数のみで帯域が決
定している訳ではないのでこの劣化量は小さいが、G
a A s −F E Tl路ではほぼ完全に1/2に
劣化してしまうという問題点があった7本発明の目的は
、上記従来技術に鑑み、1組の差動対のみに利得可変機
構を付加して、帯域の劣化を防止する利得可変増幅器の
新たな回路構成を提案することにある。
速デバイスにおいては、トランジスタ自身のしゃ断周波
数及びゲート時定数が小さいため、回路の帯域は負荷抵
抗と、ドレインに付随したミラー容量の積で決まる時定
数で決定される。従って第2図に示した利得可変増幅器
の回路構成では、差動増幅器を2組並列に接続した構成
となっているため、回路構成」二、既に2倍のドレイン
ミラー容量が付随するため、(3)式のように帯域が1
72に劣化してしまうという欠点があった。従来のよう
なSiバイポーラ回路ではτ3の時定数のみで帯域が決
定している訳ではないのでこの劣化量は小さいが、G
a A s −F E Tl路ではほぼ完全に1/2に
劣化してしまうという問題点があった7本発明の目的は
、上記従来技術に鑑み、1組の差動対のみに利得可変機
構を付加して、帯域の劣化を防止する利得可変増幅器の
新たな回路構成を提案することにある。
上記目的は、差動増幅器のソース抵抗を可変抵抗素子に
置き直すことによって達成できる。つまり、差動増幅器
の利得を変化させるためには、(1)式で示したように
RLを変化させるか、Rs□を変化させればよいことに
なるが、前述のように、RLを変化させると、出力振幅
R0,・1の電圧降下による回路飽和を生じたり、また
時定数τ3の増加に伴う帯域劣化を生じるという問題が
あるため、本発明ではR81を可変にする方法を選択し
た。そこで、FETがバイポーラ1ヘランジス夕と異り
、ゲート電圧によりドレイン・ソース間チャネル抵抗が
変化することを利用して、とのFETを可変抵抗として
使用することにした。従ってソース抵抗R81をFET
を使用して構成することにより目標を達成することが可
能となる。
置き直すことによって達成できる。つまり、差動増幅器
の利得を変化させるためには、(1)式で示したように
RLを変化させるか、Rs□を変化させればよいことに
なるが、前述のように、RLを変化させると、出力振幅
R0,・1の電圧降下による回路飽和を生じたり、また
時定数τ3の増加に伴う帯域劣化を生じるという問題が
あるため、本発明ではR81を可変にする方法を選択し
た。そこで、FETがバイポーラ1ヘランジス夕と異り
、ゲート電圧によりドレイン・ソース間チャネル抵抗が
変化することを利用して、とのFETを可変抵抗として
使用することにした。従ってソース抵抗R81をFET
を使用して構成することにより目標を達成することが可
能となる。
前記のように、差動増幅器のソース抵抗をFE1゛を用
いた可変抵抗で構成することにより帯域を劣化させるこ
となく利得を可変にすることが可能となる。第1図に本
発明の回路構成による利得可変増幅器の概念図を示す。
いた可変抵抗で構成することにより帯域を劣化させるこ
となく利得を可変にすることが可能となる。第1図に本
発明の回路構成による利得可変増幅器の概念図を示す。
第1図において、逆相の入力信号■、n及び■、□は各
々Q]、、Q2の差動FETで増幅され、負荷抵抗R1
−の電圧降下としてV。ut及びV。ulから出力され
る。この時、電源電圧は■DDとGND間で又定電流源
は1で与えられる。第1図に示すように、ソース抵抗R
81のかわりにF E T可変抵抗を使用した利得可変
機構4を設けることにより、ソース抵抗を可変にして利
得を制御できる。今、利得可変機t+i4のソース抵抗
値をZsとすると、利得は次式で表わされる。
々Q]、、Q2の差動FETで増幅され、負荷抵抗R1
−の電圧降下としてV。ut及びV。ulから出力され
る。この時、電源電圧は■DDとGND間で又定電流源
は1で与えられる。第1図に示すように、ソース抵抗R
81のかわりにF E T可変抵抗を使用した利得可変
機構4を設けることにより、ソース抵抗を可変にして利
得を制御できる。今、利得可変機t+i4のソース抵抗
値をZsとすると、利得は次式で表わされる。
又、FETのドレインチャネル抵抗は、ドレインコンダ
クタンスをgelとすると1/gdで表わせるため、(
4)式において、Zs=Zs(gci)となり、gci
のなんらかの関数で表わすことができる。
クタンスをgelとすると1/gdで表わせるため、(
4)式において、Zs=Zs(gci)となり、gci
のなんらかの関数で表わすことができる。
従って、ゲート電圧の変化に伴ってg6が変化すること
を利用すれば、関数Zs (ga )の変化に従って(
4)式で示した利得Gを可変にできるものである。FE
Tのドレインチャネル抵抗はゲート電圧をvgs、閾値
をVth、ドレインコンダクタンス係数をλ、コンダク
タンス係数をKとすると、次式で表わされる。
を利用すれば、関数Zs (ga )の変化に従って(
4)式で示した利得Gを可変にできるものである。FE
Tのドレインチャネル抵抗はゲート電圧をvgs、閾値
をVth、ドレインコンダクタンス係数をλ、コンダク
タンス係数をKとすると、次式で表わされる。
■
g d= K (啜gs Vth)2・λ ・・・
(4′)従って、ソース抵抗は、グー1〜電圧VH3
の関数として表わすことが可能となる。
(4′)従って、ソース抵抗は、グー1〜電圧VH3
の関数として表わすことが可能となる。
第1図に示した本回路の回路構成図の中で、利得可変機
構4のソース抵抗zsをどのように構成するかで、その
利得可変特性が決定する。第3図には、第1図で示した
利得可変機構4の構成例を示す。第1図に示したように
、可変抵抗として働< FETが少なくとも1つ以上使
用されて構成されていればよい訳であるが、例えば(a
)はFET2個と抵抗2個、(b)はFET1個と抵抗
2個、(c)はFET2個と抵抗2個と定電流源2個で
構成されている。また(a)〜(c)の回路構成例では
、すべて、FETのゲート電圧VAQCによってチャネ
ル抵抗1 / g clが変化するような抵抗可変機構
となっている。
構4のソース抵抗zsをどのように構成するかで、その
利得可変特性が決定する。第3図には、第1図で示した
利得可変機構4の構成例を示す。第1図に示したように
、可変抵抗として働< FETが少なくとも1つ以上使
用されて構成されていればよい訳であるが、例えば(a
)はFET2個と抵抗2個、(b)はFET1個と抵抗
2個、(c)はFET2個と抵抗2個と定電流源2個で
構成されている。また(a)〜(c)の回路構成例では
、すべて、FETのゲート電圧VAQCによってチャネ
ル抵抗1 / g clが変化するような抵抗可変機構
となっている。
例えば、(a)に示した場合の利得は次式で与えられる
。
。
z g= (Rg//1./g=i )今、第3図にお
けるVAQC:端子に(5)式のV。
けるVAQC:端子に(5)式のV。
を与えるとすれば、VAQCの電圧に対応して、利得は
(5)式で示したように可変とすることができる。
(5)式で示したように可変とすることができる。
第4図は、RL=700Ω、I=2mA、FET、Q1
=02のゲート幅10μm、Q3−Q6及びQ7.Q8
のグー1−幅250 μm、 Rsl”=600Ω、R
8゜=250Ωの場合の利得の周波数特性を、第2図に
示した従来の利得加算型と、本発明の一実施例によるも
の(第1図及び第3図(a)に示したもの)との比較と
して示したものである。
=02のゲート幅10μm、Q3−Q6及びQ7.Q8
のグー1−幅250 μm、 Rsl”=600Ω、R
8゜=250Ωの場合の利得の周波数特性を、第2図に
示した従来の利得加算型と、本発明の一実施例によるも
の(第1図及び第3図(a)に示したもの)との比較と
して示したものである。
図より明らかなように、最大利得1 ]−d Bは同一
であるが、3dB低下帯域幅は従来が3GHzであるの
に対し本発明では7 、5 G Hzと約2.5倍の広
帯域化が実現できていることが分る。前述の理論に比較
して2倍以」二の広帯域化が達成されているのは、可変
抵抗゛素子として働<FET Q7゜Q8のゲーI〜・
ソース間容量CgがRs2及びチャネル抵抗]−/ g
、rと並列に挿入されるため、(5)式において、 zs=(Rs //1/gei //]/jWCg ”
’ (6)となり、高域補償効果により周波数特性の向
上が図れるためである。利得可変幅に関しては、入力信
号振幅■、。= 200 m Vppまで線形増幅でき
るという条件の下で、従来例が23dB、本発明の実施
例が18dBと約5 d 13従来例に比べ少なかった
が、これは、ドレインチャネル抵抗がドレインソース間
電圧Vos<0.6V以上で非線形特性を示すために生
じるものであり、入力振幅を100 m Vpp以下と
すれば、従来例以」二(約25dB)の利得可変幅を得
ることが可能となる。また、増幅器を2段以上縦続接続
にして前段と後段の利得配分を考慮することによっても
この非線形性を回避することができる。第5図には、第
3図(a)の回路を2段構成にした場合の利得の周波数
特性を示す。この時、各段の増幅器の利得は2dBとし
た。縦続接続したことによる帯域劣化のため総合帯域は
5 G Hzとなるが、従来に比べ約1.7倍の広帯域
化が実現できていることが分かる。
であるが、3dB低下帯域幅は従来が3GHzであるの
に対し本発明では7 、5 G Hzと約2.5倍の広
帯域化が実現できていることが分る。前述の理論に比較
して2倍以」二の広帯域化が達成されているのは、可変
抵抗゛素子として働<FET Q7゜Q8のゲーI〜・
ソース間容量CgがRs2及びチャネル抵抗]−/ g
、rと並列に挿入されるため、(5)式において、 zs=(Rs //1/gei //]/jWCg ”
’ (6)となり、高域補償効果により周波数特性の向
上が図れるためである。利得可変幅に関しては、入力信
号振幅■、。= 200 m Vppまで線形増幅でき
るという条件の下で、従来例が23dB、本発明の実施
例が18dBと約5 d 13従来例に比べ少なかった
が、これは、ドレインチャネル抵抗がドレインソース間
電圧Vos<0.6V以上で非線形特性を示すために生
じるものであり、入力振幅を100 m Vpp以下と
すれば、従来例以」二(約25dB)の利得可変幅を得
ることが可能となる。また、増幅器を2段以上縦続接続
にして前段と後段の利得配分を考慮することによっても
この非線形性を回避することができる。第5図には、第
3図(a)の回路を2段構成にした場合の利得の周波数
特性を示す。この時、各段の増幅器の利得は2dBとし
た。縦続接続したことによる帯域劣化のため総合帯域は
5 G Hzとなるが、従来に比べ約1.7倍の広帯域
化が実現できていることが分かる。
利得可変機構4として第3図(a)代かりに(b)の回
路に置き直した場合にも、(a)の場合と全く同様の効
果が得られることは明らかである。この時、利得は(5
)式において、と置き直したものとなる。この場合には
、利得可変用FETを1個しか使用しないので、(a)
の場合のように左右2個使用する場合に比べ対称性のよ
い特性が得られる。また、このFETは、大きなチャネ
ル抵抗値を得るためゲート幅の大きな素子を使うので、
素子数の低減だけでなくチップ占有面積の改善が望める
。
路に置き直した場合にも、(a)の場合と全く同様の効
果が得られることは明らかである。この時、利得は(5
)式において、と置き直したものとなる。この場合には
、利得可変用FETを1個しか使用しないので、(a)
の場合のように左右2個使用する場合に比べ対称性のよ
い特性が得られる。また、このFETは、大きなチャネ
ル抵抗値を得るためゲート幅の大きな素子を使うので、
素子数の低減だけでなくチップ占有面積の改善が望める
。
また、第3図(a)の代わりに(c)の回路に置き直し
た場合には、利得可変式は(a)の回路と全く同一であ
るが、図中403で示した■′という定電流源が付加さ
れるため、増幅FETQI。
た場合には、利得可変式は(a)の回路と全く同一であ
るが、図中403で示した■′という定電流源が付加さ
れるため、増幅FETQI。
Q2のgmを向上させることが可能となり、より高利得
化を図ることが可能となる。利得は(5)式の代わりに 1十gm −2s である。この場合には、定電流源が増加するため、素子
数、消費電力は増加するが、最大利得を向」ニさせるこ
とができるので、その全利得可変幅を拡大することが可
能となる。ちなみに、I=1.mA。
化を図ることが可能となる。利得は(5)式の代わりに 1十gm −2s である。この場合には、定電流源が増加するため、素子
数、消費電力は増加するが、最大利得を向」ニさせるこ
とができるので、その全利得可変幅を拡大することが可
能となる。ちなみに、I=1.mA。
I ’ = 4− m Aの場合には、最大利得、利得
可変機構約3倍の向上となる。
可変機構約3倍の向上となる。
第3図(a)−(c)以外にも、FETと抵抗と定電流
源の組み合わせにより利得可変機構4として多くの回路
構成が可能となるが、すべて(5)式と同様の利得可変
特性と第4図と同様の周波数特性の改善が期待できる。
源の組み合わせにより利得可変機構4として多くの回路
構成が可能となるが、すべて(5)式と同様の利得可変
特性と第4図と同様の周波数特性の改善が期待できる。
本発明によれば、差動増幅器のソース抵抗を、FETを
用いた可変抵抗を使用することにより構成しているため
、1組の差動対のみで利得可変増幅器を構成することが
可能となり、従来のように差動対を2組使用していた場
合に比べ、ドレインミラー容量を低減できるため、従来
回路の約2倍の広帯域化を実現できるという効果がある
。さらには、可変抵抗として使用するFETの接続方法
によっては、ゲート容量により高域補償効果が得られ、
2倍以上の広帯域化が期待できる。ちなみに、最大利得
1−1−dB、入力振幅200 m Vppノ条件では
、2.5倍の広帯域化が、又、入力振幅300 m V
ppの条件では、本発明の回路を2段構成にすることに
より、23 d Bの同一利得可変幅に対し、1.7倍
の広帯域化が実現できる。また、本回路は、Si、Ga
As、他の材料及びMESト’ET、MOSFET、H
EMT、他の構造を含む広い範囲のFET回路に適用可
能である。
用いた可変抵抗を使用することにより構成しているため
、1組の差動対のみで利得可変増幅器を構成することが
可能となり、従来のように差動対を2組使用していた場
合に比べ、ドレインミラー容量を低減できるため、従来
回路の約2倍の広帯域化を実現できるという効果がある
。さらには、可変抵抗として使用するFETの接続方法
によっては、ゲート容量により高域補償効果が得られ、
2倍以上の広帯域化が期待できる。ちなみに、最大利得
1−1−dB、入力振幅200 m Vppノ条件では
、2.5倍の広帯域化が、又、入力振幅300 m V
ppの条件では、本発明の回路を2段構成にすることに
より、23 d Bの同一利得可変幅に対し、1.7倍
の広帯域化が実現できる。また、本回路は、Si、Ga
As、他の材料及びMESト’ET、MOSFET、H
EMT、他の構造を含む広い範囲のFET回路に適用可
能である。
第1図は、本発明による回路構成の概念図、第2図は従
来例による回路構成例を示す図、第3図は、本発明によ
る利得可変機構の回路構成を示す図、第4図は本発明の
一実施例(第3図(a))による利得−周波数特性の従
来回路との比較を示す図、第5図は同実施例を2段縦続
構成にした場合の利得−周波数特性の従来回路との比較
を示す図である。 1.100.1−○」−95・・FET差動対、2・負
荷抵抗3,403・定電流源、4・・利得可変機構、4
0’l・・・(ソース)抵抗、402・・FET (可
変抵抗) 第1姿 第3目 (幻 C′b)第4国 同波1M(冶う
来例による回路構成例を示す図、第3図は、本発明によ
る利得可変機構の回路構成を示す図、第4図は本発明の
一実施例(第3図(a))による利得−周波数特性の従
来回路との比較を示す図、第5図は同実施例を2段縦続
構成にした場合の利得−周波数特性の従来回路との比較
を示す図である。 1.100.1−○」−95・・FET差動対、2・負
荷抵抗3,403・定電流源、4・・利得可変機構、4
0’l・・・(ソース)抵抗、402・・FET (可
変抵抗) 第1姿 第3目 (幻 C′b)第4国 同波1M(冶う
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、1組のFET差動対と、各々のFETのドレインに
接続された1組の負荷抵抗と、差動対ソース部に接続さ
れた定電流源より成る半導体回路において、各々のFE
Tのソース部に可変抵抗として働く少なくとも1つ以上
のFETを含む利得可変機構を接続したことを特徴とす
る半導体回路。 2、上記、利得可変機構を、少なくとも1つ以上の可変
抵抗として働くFETと、抵抗と定電流源の少なくとも
一方とから複合構成することを特徴とする特許請求の範
囲第1項記載の半導体回路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP598387A JPS63175510A (ja) | 1987-01-16 | 1987-01-16 | 半導体回路 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP598387A JPS63175510A (ja) | 1987-01-16 | 1987-01-16 | 半導体回路 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63175510A true JPS63175510A (ja) | 1988-07-19 |
Family
ID=11626046
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP598387A Pending JPS63175510A (ja) | 1987-01-16 | 1987-01-16 | 半導体回路 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63175510A (ja) |
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-
1987
- 1987-01-16 JP JP598387A patent/JPS63175510A/ja active Pending
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