JPS63174554A - リニアステツピングモ−タ - Google Patents
リニアステツピングモ−タInfo
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- JPS63174554A JPS63174554A JP669787A JP669787A JPS63174554A JP S63174554 A JPS63174554 A JP S63174554A JP 669787 A JP669787 A JP 669787A JP 669787 A JP669787 A JP 669787A JP S63174554 A JPS63174554 A JP S63174554A
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Landscapes
- Manufacture Of Motors, Generators (AREA)
- Linear Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はリニアステッピングモータに関し、特にそのく
し歯状板の製作に際し凸歯板と凹歯板の一体化接合を行
ったリニアステッピングモータに関するものである。
し歯状板の製作に際し凸歯板と凹歯板の一体化接合を行
ったリニアステッピングモータに関するものである。
従来、小型のリニアステッピングモータの励磁コイルを
有するヨークの先端の歯の形成は砥石による加工であり
、このヨークの先端の歯と対向するくし歯状板はハーフ
エツチングにより形成していた。しかしこれらの方法に
よると加工精度はそれぞれについて±１０μｍ、±２０
μｍが限度であった。
有するヨークの先端の歯の形成は砥石による加工であり
、このヨークの先端の歯と対向するくし歯状板はハーフ
エツチングにより形成していた。しかしこれらの方法に
よると加工精度はそれぞれについて±１０μｍ、±２０
μｍが限度であった。
しかしながら、装置の小型化が進むと小型リニアステッ
ピングモータの位置決め精度はさらに高精度なものが要
求され、従来の方向では満足されない。そこでヨークの
先端の歯をワイヤ放電加工によって形成することにより
、歯のピッチ精度および形状精度を数μｍにすることが
できた。！、かじ、くし歯状板については形状からいっ
てワイヤ放電加工が出来ないし、また可能であってもピ
ッチ数が極めて多いため累積ピッチ誤差が大きくなる。
ピングモータの位置決め精度はさらに高精度なものが要
求され、従来の方向では満足されない。そこでヨークの
先端の歯をワイヤ放電加工によって形成することにより
、歯のピッチ精度および形状精度を数μｍにすることが
できた。！、かじ、くし歯状板については形状からいっ
てワイヤ放電加工が出来ないし、また可能であってもピ
ッチ数が極めて多いため累積ピッチ誤差が大きくなる。
一方、ワイヤ放電加工ではなく一般の放電加工で行なっ
た場合は、ワイヤ放電加工の場合より精度が悪くなる。
た場合は、ワイヤ放電加工の場合より精度が悪くなる。
上述したように、従来、くし歯状板をハーフエツチング
により形成すると加工精度は数１０μｍ以上になるため
、リニアモータとしては使用に供し得ないという欠点が
あった。
により形成すると加工精度は数１０μｍ以上になるため
、リニアモータとしては使用に供し得ないという欠点が
あった。
本発明の目的は、くし歯状板の製作に当り、凸歯板と凹
歯板を多層にし、拡散接合によって一体化することによ
り、位置決め精度の良好な小型リニアステッピングモー
タを提供することにある。
歯板を多層にし、拡散接合によって一体化することによ
り、位置決め精度の良好な小型リニアステッピングモー
タを提供することにある。
本発明のリニアステッピングモータは、永久磁石を挟持
したヨークの凸部に歯を形成し、前記凸部に励磁コイル
をはめ込み、前記歯と微小の空隙をもって対向するくし
歯状板とから成るリニアステッピングモータにおいて、
前記くし歯状板は凸歯板と凹歯板とを多層にして加熱・
加圧によって拡散接合することにより一体化したことを
特徴とする。
したヨークの凸部に歯を形成し、前記凸部に励磁コイル
をはめ込み、前記歯と微小の空隙をもって対向するくし
歯状板とから成るリニアステッピングモータにおいて、
前記くし歯状板は凸歯板と凹歯板とを多層にして加熱・
加圧によって拡散接合することにより一体化したことを
特徴とする。
本発明は、くし歯状板の構成が凸歯板と凹歯板の積層で
あるため、板厚の精度が＜シ歯の精度に相当する。すな
わち板厚を極めて簡単にコントロールすることができる
ため、数１０μｍのくし歯形成が容易であると同時にピ
ッチ誤差も数μｍ以内に収めることが可能である。もち
ろん、一体化製作であるため、磁力への悪影響はない。
あるため、板厚の精度が＜シ歯の精度に相当する。すな
わち板厚を極めて簡単にコントロールすることができる
ため、数１０μｍのくし歯形成が容易であると同時にピ
ッチ誤差も数μｍ以内に収めることが可能である。もち
ろん、一体化製作であるため、磁力への悪影響はない。
次に、本発明について図面を参照にして詳細に説明する
。
。
第１図（ａ＞、（ｂ）、（ｃ）は本発明のリニアステッ
ピングモータの一実施例を分解して示す斜視図、第２図
（ａ）、（ｂ）は第１図（ｃ）におけろくし歯状板の製
作方法を示す積層断面図。
ピングモータの一実施例を分解して示す斜視図、第２図
（ａ）、（ｂ）は第１図（ｃ）におけろくし歯状板の製
作方法を示す積層断面図。
その部分分解斜視図である。
第１図（ａ＞に示すようにヨーク１は凸部２および歯３
から成っており、中央部に永久磁石４が一体接合されて
いる。歯３の加工はワイヤ放電加工によって高精度に加
工される。具体的にピッチは４００ＴＰＩの場合０．２
５４ｍｍ、８００ＴＰＩの場合は０１１２７ｍｍ等に加
工される。ヨーク１の材質は鉄またはけい素鋼が用られ
るが、ワイヤ放電加工時におけるワイヤの材質は銅系で
は加工性が悪く高精度が確保できないため、タングステ
ンワイヤを用いる必要がある。励磁コイル５（第１図（
ｂ）に図示）はヨーク１の凸部２のはめ込まれる。また
第１図（ｃ）に示すようにくし歯状板６は凸歯板７およ
び凹歯板８の積層一体化によって構成される。
から成っており、中央部に永久磁石４が一体接合されて
いる。歯３の加工はワイヤ放電加工によって高精度に加
工される。具体的にピッチは４００ＴＰＩの場合０．２
５４ｍｍ、８００ＴＰＩの場合は０１１２７ｍｍ等に加
工される。ヨーク１の材質は鉄またはけい素鋼が用られ
るが、ワイヤ放電加工時におけるワイヤの材質は銅系で
は加工性が悪く高精度が確保できないため、タングステ
ンワイヤを用いる必要がある。励磁コイル５（第１図（
ｂ）に図示）はヨーク１の凸部２のはめ込まれる。また
第１図（ｃ）に示すようにくし歯状板６は凸歯板７およ
び凹歯板８の積層一体化によって構成される。
次に第２図（ａ＞において、７′は凸歯仮相基板、８′
は凹歯板用基板であり、これらを所望の順序で積層した
後、ＦＦ′方向への加圧を行うとともに加熱することに
よって拡散接合が行われる。第２図（ｂ）においては凸
歯仮相基板７′および門歯仮相基板８′の形状を解り易
く図示している。なお拡散接合に際しては加圧力２〜４
ｋｇ／ｍｍ２．加熱温度５００〜７００°Ｃ９加熱時間
１〜２Ｈ，１０−６Ｔｏｒ ｒの接合条件で行う。
は凹歯板用基板であり、これらを所望の順序で積層した
後、ＦＦ′方向への加圧を行うとともに加熱することに
よって拡散接合が行われる。第２図（ｂ）においては凸
歯仮相基板７′および門歯仮相基板８′の形状を解り易
く図示している。なお拡散接合に際しては加圧力２〜４
ｋｇ／ｍｍ２．加熱温度５００〜７００°Ｃ９加熱時間
１〜２Ｈ，１０−６Ｔｏｒ ｒの接合条件で行う。
したがって、第２図（ａ＞の如く積層一体化されたブロ
ックをａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆ〜の位置でスライシング
すれば、多数のくし歯状板６（第１図（Ｃ）に図示）を
得ることができる。すなわち、くし歯状板６を得るため
に凸歯板７．凹歯板８だけの接合ではくし歯状板６の厚
さが薄いため加圧することが困難なので、第２図の如く
接合面積を大きくした状態で接合した方が接合し易く、
数多くのものを得ることができる。
ックをａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆ〜の位置でスライシング
すれば、多数のくし歯状板６（第１図（Ｃ）に図示）を
得ることができる。すなわち、くし歯状板６を得るため
に凸歯板７．凹歯板８だけの接合ではくし歯状板６の厚
さが薄いため加圧することが困難なので、第２図の如く
接合面積を大きくした状態で接合した方が接合し易く、
数多くのものを得ることができる。
以上説明したように本発明によれば、ヨークの歯の加工
はワイヤ放電加工によって高精度を確保することが可能
である。一方、くし歯状板については凸歯板および凹歯
板から構成されるため、ピッチ精度は板厚によって左右
される。したがって研削、圧延等によって板厚は１０〜
２１μｍのものも得ることが可能であるため、一般的な
機械加工やエツチング等でも対応できない微細のピッチ
を得ることができるので、位置決め精度の良好な小型リ
ニアステッピングモータが得られる。また、くし歯状板
の製作については、面積を大きくしな凸歯仮相基板およ
び凹歯板用基板の多層接合であるため、接合の安定性が
得られると共に量産への対応も可能であるという効果が
ある。
はワイヤ放電加工によって高精度を確保することが可能
である。一方、くし歯状板については凸歯板および凹歯
板から構成されるため、ピッチ精度は板厚によって左右
される。したがって研削、圧延等によって板厚は１０〜
２１μｍのものも得ることが可能であるため、一般的な
機械加工やエツチング等でも対応できない微細のピッチ
を得ることができるので、位置決め精度の良好な小型リ
ニアステッピングモータが得られる。また、くし歯状板
の製作については、面積を大きくしな凸歯仮相基板およ
び凹歯板用基板の多層接合であるため、接合の安定性が
得られると共に量産への対応も可能であるという効果が
ある。
第１図（ａ＞、（ｂ）、（ｃ）は本発明のリニアステッ
ピングモータの一実施例を分解して示す斜視図、第２図
（ａ＞、（ｂ）は第１図（Ｃ）におけろくし歯状板の製
作方法を示す積層断面図。 その部分分解斜視図である。 １・・・ヨーク、２・・・凸部、３・・・歯、４・・・
永久磁石、５・・・励磁コイル、６・・・くし歯状板、
７・・・凸歯板、７′・・・凸歯仮相基板、８・・・凹
歯板、８′・・・凹歯板用基板。 ５ｊｈ石６コイル
ピングモータの一実施例を分解して示す斜視図、第２図
（ａ＞、（ｂ）は第１図（Ｃ）におけろくし歯状板の製
作方法を示す積層断面図。 その部分分解斜視図である。 １・・・ヨーク、２・・・凸部、３・・・歯、４・・・
永久磁石、５・・・励磁コイル、６・・・くし歯状板、
７・・・凸歯板、７′・・・凸歯仮相基板、８・・・凹
歯板、８′・・・凹歯板用基板。 ５ｊｈ石６コイル
Claims (1)
- 永久磁石を挟持したヨークの凸部に歯を形成し、前記凸
部に励磁コイルをはめ込み、前記歯と微小の空隙をもっ
て対向するくし歯状板とから成るリニアステッピングモ
ータにおいて、前記くし歯状板は凸歯板と凹歯板とを多
層にして加熱・加圧によって拡散接合することにより一
体化したことを特徴とするリニアステッピングモータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP669787A JPH0753019B2 (ja) | 1987-01-13 | 1987-01-13 | リニアステッピングモータの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP669787A JPH0753019B2 (ja) | 1987-01-13 | 1987-01-13 | リニアステッピングモータの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63174554A true JPS63174554A (ja) | 1988-07-19 |
| JPH0753019B2 JPH0753019B2 (ja) | 1995-06-05 |
Family
ID=11645526
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP669787A Expired - Lifetime JPH0753019B2 (ja) | 1987-01-13 | 1987-01-13 | リニアステッピングモータの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0753019B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102009056255A1 (de) * | 2009-11-28 | 2011-06-01 | Festo Ag & Co. Kg | Zahnstange für einen Lineardirektantrieb und Lineardirektantrieb |
-
1987
- 1987-01-13 JP JP669787A patent/JPH0753019B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102009056255A1 (de) * | 2009-11-28 | 2011-06-01 | Festo Ag & Co. Kg | Zahnstange für einen Lineardirektantrieb und Lineardirektantrieb |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0753019B2 (ja) | 1995-06-05 |
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