JPS6317278A - セラミツクスのメツキ法 - Google Patents

セラミツクスのメツキ法

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JPS6317278A
JPS6317278A JP15799386A JP15799386A JPS6317278A JP S6317278 A JPS6317278 A JP S6317278A JP 15799386 A JP15799386 A JP 15799386A JP 15799386 A JP15799386 A JP 15799386A JP S6317278 A JPS6317278 A JP S6317278A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sintered body
ceramic sintered
plating
ceramic
cold isostatic
Prior art date
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Pending
Application number
JP15799386A
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English (en)
Inventor
大沢 芳夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Eagle Industry Co Ltd
Original Assignee
Eagle Industry Co Ltd
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Publication date
Application filed by Eagle Industry Co Ltd filed Critical Eagle Industry Co Ltd
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Publication of JPS6317278A publication Critical patent/JPS6317278A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、無電解メッキによるセラミックスのメッキ法
に関するものである。
[従来の技術] 従来、この種のセラミックスのメッキ法としては、乾燥
・脱脂・エツチング処理が順に施されたセラミック焼結
体の表面に、まず塩化第11!!を主成分とした錫溶液
を用いて錫イオンを付着させ。
次いで、このようなセラミック焼結体表面の錫イオンの
上に、塩化パラジウムを主成分としたパラジウム溶液を
用いてパラジウムイオンを反応させることにより、金属
パラジウム触媒を付着して無電解メッキを行なっている
[発明が解決しようとする問題点] しかしながら、上記した従来法によるメッキ方法にあっ
ては、セラミック焼結体と金属ノ(ラジウム触媒からな
るメッキ膜との間の密着強度が弱く。
このため、メッキ膜にステンレススチールなどの金属材
料をロウ付けまたは溶接等によって接合しても剥離し易
いといった問題があった。
[発明の目的] 本発明は、上記の事情のもとになされたもので、その目
的とするところは、セラミック焼結体とメッキ膜との密
着強度を高め、かつメッキ膜に金属材料を接合しても剥
離することがないようにしたセラミックスのメッキ法を
提供することにある。
[問題点を解決するための手段] 上記した問題点を解決するために1本発明は。
セラミック焼結体の表面に溶液を用いてエツチング処理
を施す第1工程と、この第1工程で得られたエツチング
処理後のセラミック焼結体の表面に無電解メッキ処理を
施す第2工程と、この第2工程で得られた無電解メッキ
処理後のセラミック焼結体の表面を冷間静水圧加圧装置
により加圧してメッキ膜を圧廷する第3工程とからなる
手段を備えたことを特徴としたものである。
[作  用] すなわち、本発明は、上記の手段とすることによって、
溶液を用いてエツチング処理が施されかつその上に無電
解メッキ処理が施されてメッキ膜が付着されたセラミッ
ク焼結体の表面を、冷間静水圧加圧装置により加圧して
前記メッキ膜を圧廷するようにしたことから、メッキ膜
はエツチング処理により生じたセラミック焼結体の表面
の粒界の穴に食い込んでクサビ効果を発揮し、これによ
って、セラミック焼結体とメッキ膜との密着強度を高め
ることができるため、メッキ膜に金属材料を接合しても
剥離することがない、また、前記セラミック焼結体の表
面のメッキ膜を圧廷するに用いられる冷間静水圧加圧装
置は、水圧で等方にメッキ膜を加圧することができるこ
とから、セラミック焼結体が複雑な形状であったり、あ
るいは肉厚が薄くても、加圧時に、セラミック焼結体に
割れ等が発生するのを確実に防止することが可能になる
[実 施 例] 以下、本発明に係るセラミックスのメッキ法を図示の一
実施例を参照しながら説明する。
第1図は溶液を用いてエツチング処理を施すことにより
セラミック焼結体1の表面に粒界の穴2を形成する第1
工程を示し、第2図は前記第1工程で得られたエツチン
グ処理後のセラミック焼結体1の表面に無電解メッキ処
理を施すことによりメッキ膜3を付着させる第2工程を
示し、第3図は前記第2工程で得られた無電解メッキ処
理後のセラミック焼結体1の表面を冷間静水圧加圧装置
4内に配置して水圧Pにより等方に加圧して前記メッキ
膜3を圧廷してセラミック焼結体1の表面の粒界の穴2
食い込ませてなる第3工程を示し。
さらに第4図は加圧処理後のセラミック焼結体1のメッ
キ状態をそれぞれ示すもので、冷間静水圧加圧装置4に
よる加圧後のセラミック焼結体1のメッキ膜3には、図
示しない金属材料がロウ付け、または溶接等によって接
合してなるものである。
次に、本発明に係るセラミックスのメッキ法の具体例を
以下に述べる。
具体例1゜ 92%のアルミナからなるセラミック素材の円柱を、6
0℃で乾燥後、酸性キレート系物質で脱脂し、水洗い後
、弗酸によりエツチングした。
次いで、このエツチングした円柱をSn3%及びPb0
.02%を含有するコロイド溶液に4〜6分間浸漬し、
さらに水酸化ナトリウム水溶液に3〜6分間浸漬して水
洗、乾燥した。
そして、無電解ニッケル溶液を用いて前記円柱を30℃
、30分間の条件の下でメッキを行ない、水洗、乾燥し
た後、冷間静水圧加圧装置により圧力1500kg/a
dで等方加圧を行なった。
このように水洗、乾燥した後の円柱に、銀ロウを用いて
ステンレススチール(SUS420)の金属材料をロウ
付けして剪断接合強度を測定したところ、507 kg
/aJであった。
具体例2゜ セラミック素材として炭化珪素を用いた以外は、上述し
た具体例1と同様にしてテストピースを得て剪断接合強
度を測定したところ、650 kg/cdであった。
比較例1゜ 冷間静水圧加圧装置による等方加圧を行なわないものは
、上述した具体例1と同様にしてアルミナ円柱のテスト
ピースを得て剪断接合強度を測定したところ、86kg
/aJであった。
またこのとき、アルミナ円柱の表面からメッキ膜が剥離
してステンレススチール(SUS420)の金属材料側
に銀ロウが付着した。
比較例2゜ 冷間静水圧加圧装置による等方加圧を行なわないものは
、上述した具体例2と同様にして炭化珪素のテストピー
スを得て剪断接合強度を測定したところ、78kg/a
Jであった。
またこのとき、上述した比較例1と同様に炭化珪素円柱
の表面からメッキ膜が剥離してステンレススチール(S
US420)の金属材料側に銀ロウが付着した。
なお、本発明は、上記した実施例には何等限定されない
ものであり、本発明の要旨を変えない範囲で種々変更実
施可能なことは勿論である。
[発明の効果] 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、セラ
ミック焼結体の表面に溶液を用いてエツチング処理を施
して粒界の穴を形成し、かつその上に無電解メッキ処理
を施してメッキ膜を付着させるとともに、このようなセ
ラミック焼結体の表面を冷間静水圧加圧装置により加圧
して前記メッキ膜を圧延してなることから、セラミック
焼結体の表面の粒界の穴にメッキ膜を食い込ませること
ができるため、セラミック焼結体とメッキ膜との間にク
サビ効果が生じて互いの密着強度を強固にすることがで
き、メッキ膜に金属材料を接合しても剥離することがな
く、しかも、冷間静水圧加圧装置により、セラミック焼
結体の表面のメッキ膜を水圧で等方に加圧することから
、セラミック焼結体が複雑な形状であったり、あるいは
肉厚が薄くても、加圧時に、セラミック焼結体に割れ等
が発生するのを確実に防止することができるというすぐ
れた効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
第1@から第4図は本発明に係るセラミックスのメッキ
法の一実施例を示すもので、第1図はセラミック焼結体
へのエツチング処理状態の第1工程を示す説明図、第2
図はセラミック焼結体への無電解メッキ処理状態の第2
工程を示す説明図、第3図はセラミック焼結体への冷間
静水圧加圧装置による加圧状態の第3工程を示す説明図
、第4図は加圧処理後のセラミック焼結体の説明図であ
(1)セラミック焼結体、   (2)粒界の穴。 (3)メッキ膜、  (4)冷間静水圧加圧装置。 (P)水圧。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)セラミック焼結体の表面に溶液を用いてエッチン
    グ処理を施す第1工程と、この第1工程で得られたエッ
    チング処理後のセラミック焼結体の表面に無電解メッキ
    処理を施す第2工程と、この第2工程で得られた無電解
    メッキ処理後のセラミック焼結体の表面を冷間静水圧加
    圧装置により加圧してメッキ膜を圧延する第3工程とか
    らなることを特徴とするセラミックスのメッキ法。
  2. (2)前記冷間静水圧加圧装置による加圧後のセラミッ
    ク焼結体表面のメッキ膜に、金属材料を接合してなるこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載のセラミッ
    クスのメッキ法。
JP15799386A 1986-07-07 1986-07-07 セラミツクスのメツキ法 Pending JPS6317278A (ja)

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JP15799386A JPS6317278A (ja) 1986-07-07 1986-07-07 セラミツクスのメツキ法

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03126687A (ja) * 1989-10-11 1991-05-29 Eagle Ind Co Ltd セラミックスのメタライズ方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS50149541A (ja) * 1974-05-24 1975-11-29

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS50149541A (ja) * 1974-05-24 1975-11-29

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH03126687A (ja) * 1989-10-11 1991-05-29 Eagle Ind Co Ltd セラミックスのメタライズ方法

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