JPS63164441A - 外観検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はＩＣ，）ランジスタ等の電子部品を撮像によっ
て外観検査することができる外観検査装置に関する。

従来の技術 従来、ＩＣ，）ランジスタ等の電子部品のり−ドビンを
認識する場合、第４図、第５図に示す外観検査装置が用
いられた。

以下、この従来の外観検査装置について説明する。

第４図において、１は被検査物の電子部品であり、２は
同電子部品１のリードビン、３はリードビン２を照射す
る照明源、４はリードビン２から反射されてくる光を検
知するラインセンサーカメラである。また、第５図（ａ
）で、５はラインセンサーカメラ４が検知する範囲を示
したラインセンサーエリア、６は照明源３の光の照射部
である。

次に、上記のように構成された外観検査装置の動作につ
いて説明する。照明源３より発光した光はリードビン２
に照射され、ラインセンサーエリア５内での反射光をカ
メラ４で受光する。

このカメラ４から第５図（ｂ）に示す出力波形Ｔを得て
、リードビンピッチＰ、リードビン本数Ｎ。

リードビン輻Ｗを検出していた。

発明が解決しようとする問題点 このような従来の構成ではリードビン２の認識を第５図
（ｂ）に示す出力波形Ｔでみるため、被検査物電子部品
１のリードビン２の外曲がり不良または内面がり不良の
検出が困難であった。また、す−ドビン２の表面処理状
態によって、例えば半田ディツプを施したリードビンで
は、リードビン表面が半田ディツプにより丸みをおびた
ものとなり、照射光が反射する際いろいろな方向へ拡散
して、ラインセンサーカメラ４が出力波形としてだすべ
き反射光を受光できないため、リードビンピッチＰ、リ
ードビン幅Ｗを検出することすら困難であった。

また、ラインセンサーカメラ４を二次元センサ、たとえ
ば電荷結合素子（ＣＣＤ）カメラにした場合による認識
では、直接リードビンを画像として認識するので、リー
ドビンからの反射光の拡散の影響は少なく、リードピン
ピッチＰ、リードビン幅Ｗを検出することは可能である
が、リードビン２の微妙な外曲がりや内曲がりの状態を
検出することはできなかった。

本発明は簡単な構成で、リードビンピッチ、リードビン
幅、リードビン本数、リードビン形状。

リードビン内油がり、外曲がり等のリードビンに関する
検査がおこなえる外観検査装置を提供することを目的と
する。

問題点を解決するための手段 この目的を達成するために本発明の外観検査装置は、被
検査物を撮像するカメラと、被検査物を照射する照明系
と、前記被検査物からの反射光を前記カメラへ導く角度
揺動可能な画像反射板と、照明系からの照射光量および
照射方向の調整板とを有し、これにより、被検査物の外
観状態を認識するようになっている。

作用 以上の構成により、被検査物の像がカメラによって撮像
され、たとえば、被検査物電子部品のリードビンのピッ
チ、幅、形状１本数ばかりでな（、画像反射板からの反
射画像の明暗を検知することによって、リードビンの内
曲がり、外曲がり等を認識できる。

実施例 第１図は本発明の一実施例による外観検査装置側断面図
である。以下に、この機器構成について説明する。７は
ＣＣＤカメラ、８は高周波蛍光燈等の光源、９は光源８
近傍に付設された光源カバー、１０は搬送レールカバー
、１１は低歪率の画像反射板、１２は回転可能な保持体
、１３は支持板、１４は被検査物の搬送レール、１５は
保持体１２を支持板１３に回動可能に取付けるための係
留ビン、１６は光源８からの照射光量および照射方向の
調整板である。

以下に、この実施例の動作を説明する。

光源８からの照射光量および照射方向を、矢印へ方向に
作動可能な調整板１６で調整された照射光によって、被
検査物電子部品のリードビン２は照射され、その反射光
を角度揺動可能な画像反射板１１を調整して、ＣＣＤカ
メラ７へ導く。そして、このＣＣＤカメラ７はリードビ
ン２の直接画像としての上面および画像反射板を介した
反射画像として側面の像を検出する。この検出された像
に基づいて、リードビンピッチ、幅９本数を認識する。

また、ＣＣ，Ｄカメラ７で画像認識した場合に、照明光
路Ｓと前記画像反射板１１の反射率の相互関係は画像反
射板１１の角度の変化と調整板１６の位置を変化させる
ことにより適切な状態に容易に調整できる。このように
画像反射板１１および調整板１６を調整した後に、第２
図に示すようにリードビンの形状が正常体２ａ、外曲が
り体２ｂ、あるいは内曲がり体２Ｃである被検査物電子
部品１をＣＣＤカメラ７の位置でみると、第３図の認識
画像図の例に示すように、内曲がり不良状態のリードビ
ン画像１７は光の反射率が低いため、反射画像は暗く画
像処理における２値化レベルで正常の状態のリードビン
と比較認識することができる。また、外曲がり不良状態
のリードピン画像１８は前記内曲がりのリードピン画像
１７の比較認識と同様で、かつ、前記画像反射板１１を
介さずに直接画像１８ａによる画像認識処理を適正２値
化レベルにおいて行なうことにより、２方向の検査をす
ることが可能であり、非常に精度の高い認識処理が得ら
れるものである。

なお上記実施例では被検査物電子部品１を撮像するイメ
ージセンサ−としてＣＣＤカメラ７を用いているが、こ
のＣＣＤカメラ７の代りに撮像管を用いたカメラ等を用
いることもできる。

また、本発明は角度揺動可能な画像反射板と照射光量お
よび照射方向の調整板を併用したリード認識を行なって
いるが、これはリードの表面処理状態で例えば無光沢の
メッキは半田ディツプに比較して光の反射率が低く、画
像処理における適止な２値化レベルにおけるしきい値で
認識するにはＣＣＤカメラによる撮像で光量を多くとり
こむ必要があり、ＣＣＤカメラの絞りの開放を大きくし
て対応する。そうした場合、正常なリードビンの光の反
射状態を適正な画像処理状態に補正すると同時に、内曲
がり状態、外曲がり状態のリードビンの画像反射板を介
した反射画像をも適正な画像処理が行なえる明るさに補
正された形でＣＣＤカメラにとりこまれ、正常な状態、
内曲がり状態あるいは外曲がり状態の区別がつかないこ
とが非常に微妙な内曲がり、外曲がり状態のリードビン
において生じる場合がある。

その時に照射光量および照射方向を局部的に調整板１６
で調整することにより微妙な内曲がり状態、外曲がり状
態は、反射画像として暗くなるようにできる。これによ
り前述した非常に精度の高い認識処理が得られるもので
ある。

発明の効果 このように本発明によれば、光源からの被検査物への照
射光量および照射方向を調整板により調整し、照射した
被検査物からの反射光を角度調整の行なうことのできる
画像反射板を介して反射画像を認識処理しているため、
光の反射率と画像反射板の相互関係において認識精度の
高い画像認識処理が行なえるという効果を有するもので
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例における外観検査装置の側断
面図、第２図は被検査物の側面図、第３図はモニター等
に写し出される認識画像図、第４図である。 １・・・・・・被検査物、７・・・・・・ＣＣＤカメラ
、８・・・・・・光源、１１・・・・・・画像反射板、
１６・・・・・・調整板。 第１図　　　　　　　／−被検克狗 第４図 第５図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 角度揺動可能な画像反射板と、前記画像反射板を介して
   被検査物を撮像するカメラと、前記カメラの撮像可能な
   光量を前記被検査物へ照射する照明系と、前記照明系か
   らの照射光量および照射方向を変化させる調整板とをそ
   なえた外観検査装置。