JPS63163260A - 外観検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はＩＣ，トランジスタ等の電子部品を撮像によっ
て外観検査することができる外観検査装置に関する。

従来の技術 従来、ＩＣ，トランジスタ等の電子部品のり−ドビンを
認識する場合、第４図、第５図に示す外観検査装置が用
いられた。

以下、この従来の外観検査装置について説明する。

第４図において、１は被検査物の電子部品であり、２は
同電子部品１のリードビン、３はリードビン２を照射す
る照明源、４はリードビン２から反射されて（る光を検
知するラインセンサーカメラである。また、第５１Ｎ（
ａ）で、５はラインセンサーカメラ４が検知する範囲を
示したラインセンサーエリア、６は照明源３の光の照射
部である。

次に、上記のように構成された外観検査装置の動作につ
いて説明する。照明源３より発光した光はリードビン２
に照射され、ラインセンサーエリア５内での反射光をカ
メラ４で受光する。このカメラ４から第５図（ｂ）に示
す出力波形Ｔを得て、リードビンピッチＰ、リードピン
本数Ｎ、リードビン幅Ｗを検出していた。

発明が解決しようとする問題点 このような従来の構成ではリードビン２の認識を第５図
（ｂ）に示す出力波形Ｔでみるため、被検査物電子部品
１のリードビン２の外曲がり不良または内油がり不良の
検出が困難であった。また、す−ドビン２の表面処理状
態によって、例えば半田ディツプを施したリードピンで
は、リードビン表面が半田ディツプにより丸みをおびた
ものとなり、照射光が反射する際いろいろな方向へ拡散
して、ラインセンサーカメラが出力波形として出すべき
反射光を受光できないため、リードビンピッチＰ、リー
ドビン幅Ｗを検出することすら困難であった。

また、ラインセンサーカメラ４を二次元センサー、たと
えば、電荷結合素子（ＣＣＤ）カメラにした場合による
認識では直接リードビンを画像として認識するのでリー
ドビン２からの反射光の拡散の影響は少なく、リードビ
ンピッチＰ、リードビン幅Ｗを検出することは可能であ
るがリードピン２の微妙な外曲がりや内曲がりの状態を
検出することはできなかった。

本発明は簡単な構成で、リードビンピッチ、リードビン
幅、リードビン本数、リードビン形状。

リードビン内油がり、外曲がり等のリードピンに関する
検査が行なえる外観検査装置を提供することを目的とす
る。

問題点を解決するための手段 この目的を達成するために本発明の外観検査装置は、被
検査物を撮像するカメラと、前記被検査物を照射する照
明系と、前記被検査物からの反射光を前記カメラへ導く
画像反射板と、照明系からの照射光量および照射方向を
変化させる角度揺動可能な調整板とを有し、被検査物の
外観状態を認識するようになっている。

作用 以上の構成により、被検査物の像がカメラによって撮像
され、たとえば、被検査物電子部品のリードピンのピッ
チ、幅、形状１本数ばかりでなく、画像反射板からの反
射画像の明暗を検知することによって、同リードビンの
内曲がり、外曲がり等を認識できる。

実施例 第１図は本発明の一実施例による外観検査装置側断面図
である。以下にこの機器構成について説明する。７はＣ
ＣＤカメラ、８は高周波蛍光燈等の光源、９は光源８近
傍に付設された光源カバー、１０は搬送レールカバー、
１１は低歪率の画像反射板、１２は画像反射板１１を所
定の傾斜角度をもって保持する保持板、１３は被検査物
の搬送レール、１４は回転可能な調整板、１５は支持板
、１６は調整板１４を支持板１５に回動可能に取付ける
ための係留ビンである。

以下にこの実施例の動作を説明する。光源８によって、
被検査物電子部品１のリードピン２は照射され、その照
射光を角度揺動可能な調整板１４により、照射光量およ
び照射方向を調整して、画像反射板１１の反射光として
ＣＣＤカメラ７へ導く。そして、このＣＣＤカメラ７は
リードピン２の直接画像としての上面および画像反射板
を介した反射画像として側面の像を検出する。この検出
された像に基づいて、リードビンピッチ、幅２本数を認
識する。また、ＣＣＤカメラ７で画像認識した場合に、
照明光路Ｓと前記画像反射板１１の反射率の相互関係は
調整板１４の角度を変化させることにより適切な状態に
容易に調整できる。このように照射光の調整板１４を調
整した後に、第２図に示すように、リードピン２の形状
が、正常体２ａ、外曲がり体２ｂ、あるいは内曲がり体
２Ｃである被検査物をＣＣＤカメラ７の位置で見ると、
第３図の認識画像の例に示すように、内曲がり不良状態
のリードビン画像１７は光の反射率が低いため、反射画
像は暗く画像処理における２値化レベルで正常の状態の
リードピンと比較認識することができる。また、外曲が
り不良状態のり一　′ドピン画像１８は前記内曲がりの
リードビン画像１７の比較認識と同様で、かつ、前記画
像反射板１１を介さずに直接画像１８ａとして認識する
ことも可能で、直接画像１８ａによる画像認識処理を適
正２値化レベルにおいて行なうことにより２方向の検査
をすることが可能であり、非常に精度の高い認識処理が
得られるものである。

なお、上記実施例では被検査物を撮像するイメージセン
サ−としてＣＣＤカメラを用いているが、このＣＣＤカ
メラの代りに撮像管を用いたカメラ等を用いることもで
きる。

発明の効果 このように本発明によれば、角度揺動可能な調整板によ
り、光源からの照射光量および照射方向を調整し、画像
反射板を介して反射画像を認識処理しているため光の反
射率と画像反射板の相互関係において認識精度の高い画
像認識処理がおこなえるという効果を有するものである
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例における外観検査装置の側断
面図、第２図は被検査物の側面図、第３光源、１１・・
・・・・画像反射板、１４・・・・・・調整板。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 所定の傾斜角を設けた画像反射板と、前記画像反射板を
   介して被検査物を撮像するカメラと、前記カメラの撮像
   可能な光量を前記被検査物へ照射する照明系と、前記照
   明系からの照射光量および照射方向を変化させる角度揺
   動可能な調整板とをそなえた外観検査装置。