JPS63158848A - 外観検査装置 - Google Patents
外観検査装置Info
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- JPS63158848A JPS63158848A JP30697686A JP30697686A JPS63158848A JP S63158848 A JPS63158848 A JP S63158848A JP 30697686 A JP30697686 A JP 30697686A JP 30697686 A JP30697686 A JP 30697686A JP S63158848 A JPS63158848 A JP S63158848A
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Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はＩＣ，トランジスタ等の電子部品を撮像によっ
て外観検査することができる外観検査装置に関する。
て外観検査することができる外観検査装置に関する。
従来の技術
従来、ＩＣ，トランジスタ等の電子部品リードビンを認
識する場合、第４図、第５図に示す外観検査装置が用い
られた。
識する場合、第４図、第５図に示す外観検査装置が用い
られた。
以下、この従来の外観検査装置について説明する。第４
図において、１は被検査物の電子部品であり、２は同電
子部品１のリードビン、３はり−ドビン２を照射する照
明源、４はリードビン２から反射されてくる光を検知す
るラインセンサーカメラである。また、第５図（ａ）で
、５はラインセンサーカメラ４が検知する範囲を示した
ラインセンサーエリア、６は照明源３の光の照射部であ
る。
図において、１は被検査物の電子部品であり、２は同電
子部品１のリードビン、３はり−ドビン２を照射する照
明源、４はリードビン２から反射されてくる光を検知す
るラインセンサーカメラである。また、第５図（ａ）で
、５はラインセンサーカメラ４が検知する範囲を示した
ラインセンサーエリア、６は照明源３の光の照射部であ
る。
次に、上記のように構成された外観検査装置の動作につ
いて説明する。照明源３より発光した光はリードビン２
に照射され、ラインセンサーエリア５内での反射光をカ
メラ４で受光する。
いて説明する。照明源３より発光した光はリードビン２
に照射され、ラインセンサーエリア５内での反射光をカ
メラ４で受光する。
このカメラ４から第５図（ｂ）に示す出力波形Ｔを得て
、リードビンピッチＰ、リードビン本数Ｎ。
、リードビンピッチＰ、リードビン本数Ｎ。
リードビン幅Ｗを検出していた。
発明が解決しようとする問題点
このような従来の構成ではリードビン２の認識を第５図
（ｂ）に示す出力波形Ｔでみるため、被検査物１のリー
ド外曲がり不良または内面がり不良の検出が困難であっ
た。また、リードビン２の表面処理状態によって、例え
ば光沢メッキ、ディップ半田処理を施したリードビンで
は、リードビンの表面が丸味を帯びるため、反射光の多
（がラインセンサーカメラ４以外の方向に進み、ライン
センサーカメラ４の受ける光量が少なくなる。このため
、リードビンピッチＰ、リードピン幅Ｗを検出すること
が困難になる。また、ラインセンサーカメラ４０代りに
、二次元センサーを有するカメラを用いると、リードビ
ンを画像として認識するのでリードビンの丸味による影
響は少なく、リードビンピッチＰ、リードピン幅Ｗを検
出することは可能であるが、電子部品１のリードビンの
微妙な外曲がりや内油がりの状態を検出することはでき
なかった。
（ｂ）に示す出力波形Ｔでみるため、被検査物１のリー
ド外曲がり不良または内面がり不良の検出が困難であっ
た。また、リードビン２の表面処理状態によって、例え
ば光沢メッキ、ディップ半田処理を施したリードビンで
は、リードビンの表面が丸味を帯びるため、反射光の多
（がラインセンサーカメラ４以外の方向に進み、ライン
センサーカメラ４の受ける光量が少なくなる。このため
、リードビンピッチＰ、リードピン幅Ｗを検出すること
が困難になる。また、ラインセンサーカメラ４０代りに
、二次元センサーを有するカメラを用いると、リードビ
ンを画像として認識するのでリードビンの丸味による影
響は少なく、リードビンピッチＰ、リードピン幅Ｗを検
出することは可能であるが、電子部品１のリードビンの
微妙な外曲がりや内油がりの状態を検出することはでき
なかった。
本発明は、簡単な構成で、リードビンピッチ。
リードビン幅、リードビン本数、リードビン形状、リー
ドビン内油がり、外曲がり等のリードビンに関する総合
的な検査が可能な外観検査装置を提供することを目的と
する。
ドビン内油がり、外曲がり等のリードビンに関する総合
的な検査が可能な外観検査装置を提供することを目的と
する。
問題点を解決するための手段
この目的を達成するために本発明の外観検査装置は、被
検査物を撮像するカメラと、被検査物を照射する照明系
と、リードビンからの反射光を前記カメラへ導く画像反
射板と、照明系からの照射光量の調整板とを有し、被検
査物の状態を認識するようになっている。
検査物を撮像するカメラと、被検査物を照射する照明系
と、リードビンからの反射光を前記カメラへ導く画像反
射板と、照明系からの照射光量の調整板とを有し、被検
査物の状態を認識するようになっている。
作用
以上の構成により、被検査物の像がカメラによって撮像
され、被検査物の幅、形状、凹凸など、画像反射板から
の反射画像の明暗を検知することによって、被検査物の
総合的な外観を認識できる。
され、被検査物の幅、形状、凹凸など、画像反射板から
の反射画像の明暗を検知することによって、被検査物の
総合的な外観を認識できる。
実施例
第１図は本発明の一実施例による外観検査装置側断面図
である。以下に、この機器構成について説明する。
である。以下に、この機器構成について説明する。
７は二次元センサー、たとえば、電荷結合素子（ＣＣＤ
）を用いたカメラ、８は高周波蛍光燈の光源、９は光源
８近傍に付設された光源カバー、１０は搬送レールカバ
ー、１１は低歪率の画像反射板、１２は画像反射板１１
を所定の傾斜角度をもって保持する保持板、１３は被検
査物の搬送レール、１４は光源８からの照射光量の調整
板である。
）を用いたカメラ、８は高周波蛍光燈の光源、９は光源
８近傍に付設された光源カバー、１０は搬送レールカバ
ー、１１は低歪率の画像反射板、１２は画像反射板１１
を所定の傾斜角度をもって保持する保持板、１３は被検
査物の搬送レール、１４は光源８からの照射光量の調整
板である。
以下にこの実施例の動作を説明する。光源８によってリ
ードビン２は照射され、その照射光量を矢印Ａ方向に調
整可能な照射光量の調整板１４により調整して、画像反
射板１１の反射光としてカメラ７へ導く。その結果、こ
のカメラ７は直接画像としてリードビン２の上面の像を
検出し、画像反射板１１からの反射画像としてリードビ
ン２の側面の像を検出する。この検出された像に基づい
て、リードビンピッチ、幅１本数を検出する。また、カ
メラ７で画像認識した場合に、照明光路Ｓと前記画像反
射板１１の反射率の相互関係は照射光量の調整板１４の
位置を変化させ、照射光量を変化させることにより適切
な状態に容易に調整できる。すなわち、カメラ７に映し
出されるリードビン画像は照射される光量と画像反射板
１１の反射率とによって微妙に変化する。したがって、
調整板１４を矢印Ａ方向に変化させ、照射光量を調整す
ることにより、リードビン２の外曲り、内油りが供に明
瞭に映し出される状態をつくり出すことができる。この
ように照射光量の調整板１４を調整した後に、第２図に
示すようにリードビンの形状が、正常体２ａ、外曲がり
体２ｂあるいは内油がり体２Ｃである被検査物１をカメ
ラ７の位置で見ると、第３図の認識画像図の例に示すよ
うに、内油がり不良状態のリードビン画像１５は光の反
射率が低いため、反射画像は暗く画像処理における２値
化レベルで正常の状態のリードビンと比較認識すること
ができる。また、外曲がり不良状態のリードビン画像１
６は前記内油がりのり−ドビン画像１５の比較認識と同
様で、かつ、前記画像反射板１１を介さずに直接画像１
６ａとして認識することも可能で、直接画像１６ａによ
る画像認識処理を適正２値化レベルにおいて行なうこと
により２方向の検査をすることが可能であり、非常に精
度の高い認識処理が得られるものである。
ードビン２は照射され、その照射光量を矢印Ａ方向に調
整可能な照射光量の調整板１４により調整して、画像反
射板１１の反射光としてカメラ７へ導く。その結果、こ
のカメラ７は直接画像としてリードビン２の上面の像を
検出し、画像反射板１１からの反射画像としてリードビ
ン２の側面の像を検出する。この検出された像に基づい
て、リードビンピッチ、幅１本数を検出する。また、カ
メラ７で画像認識した場合に、照明光路Ｓと前記画像反
射板１１の反射率の相互関係は照射光量の調整板１４の
位置を変化させ、照射光量を変化させることにより適切
な状態に容易に調整できる。すなわち、カメラ７に映し
出されるリードビン画像は照射される光量と画像反射板
１１の反射率とによって微妙に変化する。したがって、
調整板１４を矢印Ａ方向に変化させ、照射光量を調整す
ることにより、リードビン２の外曲り、内油りが供に明
瞭に映し出される状態をつくり出すことができる。この
ように照射光量の調整板１４を調整した後に、第２図に
示すようにリードビンの形状が、正常体２ａ、外曲がり
体２ｂあるいは内油がり体２Ｃである被検査物１をカメ
ラ７の位置で見ると、第３図の認識画像図の例に示すよ
うに、内油がり不良状態のリードビン画像１５は光の反
射率が低いため、反射画像は暗く画像処理における２値
化レベルで正常の状態のリードビンと比較認識すること
ができる。また、外曲がり不良状態のリードビン画像１
６は前記内油がりのり−ドビン画像１５の比較認識と同
様で、かつ、前記画像反射板１１を介さずに直接画像１
６ａとして認識することも可能で、直接画像１６ａによ
る画像認識処理を適正２値化レベルにおいて行なうこと
により２方向の検査をすることが可能であり、非常に精
度の高い認識処理が得られるものである。
なお照射光量を微妙に調整するためには、第１図に破線
で示すように、調整板１４の代端部をテ−バ面１４ａと
することも有効である。また、上記実施例では被検査物
を撮像するイメージセンサ−として二次元センサーを用
いたカメラ７を用いているが、このカメラ７は撮像管を
用いたカメラ等を用いることもできる。
で示すように、調整板１４の代端部をテ−バ面１４ａと
することも有効である。また、上記実施例では被検査物
を撮像するイメージセンサ−として二次元センサーを用
いたカメラ７を用いているが、このカメラ７は撮像管を
用いたカメラ等を用いることもできる。
発明の効果
このように本発明によれば、リードビンへの照射光量の
調整板により照射光量を調整し、画像反射板を介して反
射画像を認識処理しているため、光の反射率と画像反射
板の相互関係において認識精度の高い画像認識処理がお
こなえるという効果を有するものである。
調整板により照射光量を調整し、画像反射板を介して反
射画像を認識処理しているため、光の反射率と画像反射
板の相互関係において認識精度の高い画像認識処理がお
こなえるという効果を有するものである。
第１図は本発明の一実施例における外観検査装置の側断
面図、第２図は同実施例の被検査物の側面図、第３図は
同実施例において七゛ニター等に写し出される認識画像
の正面図、第４図は従来の外ある。 ｌ・・・・・・被検査物、７・・・・・・カメラ、８・
・・・・・光源、１１・・・・・・画像反射板、１４・
・・・・・照射光量の調整板。 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男 ほか１名に計
面図、第２図は同実施例の被検査物の側面図、第３図は
同実施例において七゛ニター等に写し出される認識画像
の正面図、第４図は従来の外ある。 ｌ・・・・・・被検査物、７・・・・・・カメラ、８・
・・・・・光源、１１・・・・・・画像反射板、１４・
・・・・・照射光量の調整板。 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男 ほか１名に計
Claims (1)
- 所定の傾斜角を設けた画像反射板と、前記画像反射板を
介して被検査物を撮像するカメラと、前記カメラによる
撮像可能な光量を被検査物へ照射する照明系と、前記照
明系からの照射光量を調整する調整板とをそなえた外観
検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30697686A JPH0682726B2 (ja) | 1986-12-23 | 1986-12-23 | 外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30697686A JPH0682726B2 (ja) | 1986-12-23 | 1986-12-23 | 外観検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63158848A true JPS63158848A (ja) | 1988-07-01 |
| JPH0682726B2 JPH0682726B2 (ja) | 1994-10-19 |
Family
ID=17963526
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30697686A Expired - Fee Related JPH0682726B2 (ja) | 1986-12-23 | 1986-12-23 | 外観検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0682726B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0548347U (ja) * | 1991-11-28 | 1993-06-25 | 株式会社アドバンテスト | Ｉｃ撮像用ステージ |
| US8753013B2 (en) | 2005-08-24 | 2014-06-17 | Oshio Industry Co., Ltd. | Self-standing bag and manufacturing method thereof |
-
1986
- 1986-12-23 JP JP30697686A patent/JPH0682726B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0548347U (ja) * | 1991-11-28 | 1993-06-25 | 株式会社アドバンテスト | Ｉｃ撮像用ステージ |
| US8753013B2 (en) | 2005-08-24 | 2014-06-17 | Oshio Industry Co., Ltd. | Self-standing bag and manufacturing method thereof |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0682726B2 (ja) | 1994-10-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |