JPS63157877A - 電極ホルダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、真空蒸着装置等のフィラメントを固定する
ための電極ホルダに関するものである。

〔従来の技術〕

半導体装置の電極には色々な金属材料が用いられている
。これらの金属は通常、真空蒸着法によリウエハに形成
されている。

第２図は従来より一般に最もよく使用されている抵抗加
熱式真空蒸着装置の概略構成を示す図である。この装置
を用いて金属材料を蒸着するには、まず装置下部に絶縁
碍子８により固定された電極ホルダ４に、フィラメンｌ
−５の両端を固定し、フィラメント５の中央凹部に蒸着
しようとする金属材料６を適量入れる。次にウェハ３を
第２図のように固定し、真空室２内の空気を真空ポンプ
（図示せず）で排気し、真空状態にする。その後、ある
定められた真空度になったら、電極ホルダ４の左右に接
続された電線７ｉｅ通し外部電源（図示せず）でフィラ
メント５に電流を流し、金属材料６を加熱溶解させて蒸
発させることによりウェハ３に金属材料６を蒸着させる
。

ここで、第２図の従来の電極ホルダ４の構造の詳細を第
３図（ａ）および（ｂ）に拡大して示す。

すなわち、第３図（ａ）、（ｂ）はフィラメント５を固
定した状態の斜視図と正面図である。この電極ホルダ４
にフィラメン）・５を固定するには、まず、ねし１１を
ゆるめて上ホルダ９を取り外す。

次に下ホルダ１０の上にフィラメンＩ−５を置き、その
上に上ホルダ９を置き、ねじ１１でフィラメン）・５を
固定する。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記第３図のような従来の電極ホルダ４を用いてフィラ
メント５を固定し、電流を流して加熱すると、フィラメ
ント５は通常タングステンまたはモリブデン等の薄板、
あるいはボロノナイトライ１−等の板でできているため
、熱膨張により全長が長くなったり、電流を切って冷却
すると長さが短くなる。つまり、熱により第３図（ｂ）
に示す矢印方向に歪が生じる。そのため、タングステノ
製のフィラメン）・５の場合、第４図（ｂ）のような歪
により変形し、金属材料６が片寄るため、溶は方にむら
ができたり、時には落下したりする。また、ボロンナイ
トライ１−等の場合には、歪によりフィラメント５が割
れたりする不都合が生じていた。

この発明は、上記従来の問題点を解決するためになされ
たもので、電流を流し加熱することにより発生するフィ
ラメントの歪を吸収し、金属材料の片寄りによる溶は方
のむら、またはフィラメントの割れをなくシ、常に同じ
状態で蒸着できるようにした真空蒸着装置の電極ホルダ
を得るとどな目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明に係る電極ホルダは、フィラメントの一端は固
定式とし、他端は半固定式としたものである。

〔作用〕

この発明においては、フィラメン１−の一端を半固定式
としたため、フィラメントの熱膨張による歪が吸収でき
、フィラメンｌ−の変形や割れを防止することができる
。

〔実施例〕

第１図はこの発明の一実施例を示す電極ホルダの正面図
である。

この図において、電極ホルダ４の一端（右側）は、下ホ
ルダ１０の上に支持部１２を設け、この支持部１２の支
点１３により押え板１４を回動自在に支持し、下ホルダ
１０と押え板１４の間にコイルバネ１５を設ける。押え
板１４の右側を図中矢印Ａ方向に付勢することにより、
押え板１４の左側を矢印Ｂ方向に動作せしめ、押え板１
４の左側と下ホルダ１ｏとの間にフィラメント５を挾持
し、フィラメント５を半固定状態に保持する構造となっ
ている。なお、電極ホルダ４の他端（左側）は従来と同
様の固定式の構造となっている。

この実施例による電極ホルダ４へのフィラメント５の固
定方法は、まず、第１図の左側の部分は従来通り、上ホ
ルダ９と下ホルダ１０でねじ１１によりフィラメンｌ−
５の一端を固定する。次に、右側は、押え板１４の右側
を上から矢印Ｃ方向に力を加え、ばね１５を圧縮して押
え板１４の左側を上昇せしめ、下ホルダ１０との間にフ
ィラメント５の他端を入れる。そして、押え板１４の右
側に加えている力を解放すると、ばね１５が押え板１４
を図中矢印Ａ方向に付勢するため、押え板１４の左側は
図中矢印Ｂ方向に力が加わり、フィラメント５を下ホル
ダ１０との間に半固定に保持することができる。

上記のようにして一端を固定式に、他端を半固定式に保
持された電極ホルダ４を用いてフィラメント５を電流を
流し加熱すると、フィラメンｌ−５の一端は固定されて
おり、他の一端は押え板１４およびばね１５の力により
半固定状態となっているため、熱膨張によりフィラメン
ト５の長さが変化しても、下ホルダ１０と押え板１４の
間ですべりが生じ歪が生じても吸収できるため、従来の
ように熱歪によるフィラメント５の変形がなくなる。

したがって、金属材料６の溶は方にむらが生じたり、落
下したりする事故をなくすことができる。

なお、上記実施例における押え板１４の形状およびばね
１５の形状や強さ等は使用するフィラメント５の形状お
よび流す電流の大きさ等により決めればよい。

〔発明の効果〕

以上説明したように、この発明は、電極ホルダの一端を
固定し、他端を半固定としてフィラメン１−を支持する
構成としたので、フィラメン１−に熱膨張による歪が生
じてもこれを吸収することができ、フィラメントが変形
することがなくなる乙とから、蒸着する金属材料の溶は
方にむらが生じたり、落下したりすることがなく、安定
した蒸着作業が行える利点がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す電極ホルダの正面図
、第２図は電極ホルダを用いた真空蒸着装置の概略構成
を示す図、第３図（ａＬ　（ｂ）は、第２図の電極ホル
ダの詳細を拡大して示した斜視図および正面図、第４図
は電極ホルダに固定されたフィラメントが熱歪により変
形した様子を示す正面図である。 図において、４は電極ホルダ、５はフィラメント、６は
金属材料、９は上ホルダ、１０は下ホルダ、１１ばねし
、１２は支持部、１３は支点、１４は押え板、１５はば
ねである。 なお、各図中の同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人　大　岩　増　雄　　　（外２名）第１図 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　電流を流し、熱電子や熱を発生させるフィラメントを
   所定の位置に保持し、このフィラメントに電流を供給す
   るための電極ホルダにおいて、前記フィラメントの一端
   は固定式とし、他端は半固定式としたことを特徴とする
   電極ホルダ。