JPS63157850A - 溶射方法 - Google Patents
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- JPS63157850A JPS63157850A JP30364786A JP30364786A JPS63157850A JP S63157850 A JPS63157850 A JP S63157850A JP 30364786 A JP30364786 A JP 30364786A JP 30364786 A JP30364786 A JP 30364786A JP S63157850 A JPS63157850 A JP S63157850A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/10—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
- H05K3/14—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using spraying techniques to apply the conductive material, e.g. vapour evaporation
- H05K3/143—Masks therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/03—Use of materials for the substrate
- H05K1/0306—Inorganic insulating substrates, e.g. ceramic, glass
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
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- H05K1/02—Details
- H05K1/03—Use of materials for the substrate
- H05K1/05—Insulated conductive substrates, e.g. insulated metal substrate
- H05K1/053—Insulated conductive substrates, e.g. insulated metal substrate the metal substrate being covered by an inorganic insulating layer
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Coating By Spraying Or Casting (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、溶射皮膜を形成する際の溶射用マスクに関す
るものである。
るものである。
[従来の技術]
一般にフレーム溶射またはプラズマ溶射は素材表面の所
定部分に金属又はセラミック等の皮膜を形成し、素材の
硬さ、耐熱性、耐摩耗性等の特性を局部的に改善させる
手段として多用されている。
定部分に金属又はセラミック等の皮膜を形成し、素材の
硬さ、耐熱性、耐摩耗性等の特性を局部的に改善させる
手段として多用されている。
たとえばアルミナ製絶縁基板上に銅、ニッケルなどの導
電性金属を溶射して電気回路を形成したり、アルミニウ
ム基板上にアルミナを溶射して絶縁部を形成したりして
いる。
電性金属を溶射して電気回路を形成したり、アルミニウ
ム基板上にアルミナを溶射して絶縁部を形成したりして
いる。
このように基材の一部分に溶射皮膜を形成する場合、所
定のパターンに打抜かれた打抜部を有する溶射用マスク
(以下マスクという)を基材面にあて、この上から溶射
して上記打抜部に所定パターンの溶射膜を形成している
。
定のパターンに打抜かれた打抜部を有する溶射用マスク
(以下マスクという)を基材面にあて、この上から溶射
して上記打抜部に所定パターンの溶射膜を形成している
。
溶射を行なう場合、使用するマスクの面には直接半溶融
の金属又はセラミックが高速で衝突するので、マスクと
して具備すべき条件は付着しな金属又はセラミックが剥
離し易いこと、高温に耐えること、寸法変形が無いこと
、耐久性があること、使用方法が容易であること等の特
性が要求される。
の金属又はセラミックが高速で衝突するので、マスクと
して具備すべき条件は付着しな金属又はセラミックが剥
離し易いこと、高温に耐えること、寸法変形が無いこと
、耐久性があること、使用方法が容易であること等の特
性が要求される。
ところで、通常マスク材料として使用されているものに
は軟鋼板、ステンレス鋼板等の金属板、ガラステープ、
シリコンゴム等の薄膜、粘土類、あるいは弗素樹脂等が
使用されている。しかし上記金属板以外のマスク材料は
耐熱性、耐剥離性、耐施行性に難点がある。金属板は溶
射物が強固に付着することがあり、マスクの除去が困難
になったり、再使用の為の手入れに時間を要すという欠
点がある。
は軟鋼板、ステンレス鋼板等の金属板、ガラステープ、
シリコンゴム等の薄膜、粘土類、あるいは弗素樹脂等が
使用されている。しかし上記金属板以外のマスク材料は
耐熱性、耐剥離性、耐施行性に難点がある。金属板は溶
射物が強固に付着することがあり、マスクの除去が困難
になったり、再使用の為の手入れに時間を要すという欠
点がある。
〔間…東Xヒ西耳ミデミ1シrニジ)の+叱〕本発明は
上記問題点゛を解決するためになされたものであり、溶
射物の剥離性にすぐれ、使用方法が簡単である点を最大
の特徴とするもので、窒化硼素を塗布してマスクとする
ものである。
上記問題点゛を解決するためになされたものであり、溶
射物の剥離性にすぐれ、使用方法が簡単である点を最大
の特徴とするもので、窒化硼素を塗布してマスクとする
ものである。
以下、本発明を図面を参照して説明する。
第1図及び第2図は本発明による溶射方法を示したもの
であり、第1図は鋼板を使用しない場合、第2図は鋼板
を使用した例である。第1図において基材1の表面部1
2は溶射を必要とぜす、表面部11部分のみに溶射皮膜
を形成するものとする。この場合、溶射不要部分12に
窒化硼素を塗布し窒化硼素皮M2を形成する。このよう
に窒化硼素マスクを形成して溶射すれば、溶射部3は基
材1の表面に一様に付着するか、マスク2部に付着した
溶射材3bは付着力が弱いので容易に剥き取ることが可
能である。溶射必要部12に付着した溶射材3aは基材
に強固に付着するので、不要部分と明瞭に区分し、必要
な部分にのみ皮膜を形成できる6本発明で使用する窒化
硼素(BN)は六方晶窒化硼素(h−BN)の微粒(平
均粒径0.4〜1μm)を溶媒中に窒化硼素含有量5〜
30%で懸濁させたものを使用する。溶媒としては水、
またはケトン系有機溶媒などの有機溶媒いずれでも良い
。
であり、第1図は鋼板を使用しない場合、第2図は鋼板
を使用した例である。第1図において基材1の表面部1
2は溶射を必要とぜす、表面部11部分のみに溶射皮膜
を形成するものとする。この場合、溶射不要部分12に
窒化硼素を塗布し窒化硼素皮M2を形成する。このよう
に窒化硼素マスクを形成して溶射すれば、溶射部3は基
材1の表面に一様に付着するか、マスク2部に付着した
溶射材3bは付着力が弱いので容易に剥き取ることが可
能である。溶射必要部12に付着した溶射材3aは基材
に強固に付着するので、不要部分と明瞭に区分し、必要
な部分にのみ皮膜を形成できる6本発明で使用する窒化
硼素(BN)は六方晶窒化硼素(h−BN)の微粒(平
均粒径0.4〜1μm)を溶媒中に窒化硼素含有量5〜
30%で懸濁させたものを使用する。溶媒としては水、
またはケトン系有機溶媒などの有機溶媒いずれでも良い
。
窒化硼素懸濁溶液をスプレー塗布又は刷毛を用いて溶射
を必要としない部分に塗布する。塗布後乾燥させると厚
さ20〜200μmのマスクとして使用に耐える窒化硼
素皮膜ができる。
を必要としない部分に塗布する。塗布後乾燥させると厚
さ20〜200μmのマスクとして使用に耐える窒化硼
素皮膜ができる。
以上説明したとおり、基材表面に直接マスクを形成して
も良いが本発明では従来使用していた金属マスク表面に
窒化硼素皮膜を形成しても良い。
も良いが本発明では従来使用していた金属マスク表面に
窒化硼素皮膜を形成しても良い。
この場合はマスクの反覆使用の点で効果があり、簡単な
手入れ作業でくり返し使用できる。第2図に従って説明
すれば、基材1の溶射不要部12に窒化硼素皮膜2を塗
布した金属マスク5をセットして溶射する。マスク5上
に付着しな溶射材3bは容易に剥離でき、金属マスク5
はくり返し使用可能である。この場合基材1の表面には
窒化硼素皮膜2が残らないので、基材表面に異種材料を
溶射しなり、更に別の処理を施こす場合に都合が良い。
手入れ作業でくり返し使用できる。第2図に従って説明
すれば、基材1の溶射不要部12に窒化硼素皮膜2を塗
布した金属マスク5をセットして溶射する。マスク5上
に付着しな溶射材3bは容易に剥離でき、金属マスク5
はくり返し使用可能である。この場合基材1の表面には
窒化硼素皮膜2が残らないので、基材表面に異種材料を
溶射しなり、更に別の処理を施こす場合に都合が良い。
なお窒化硼素マスクの剥離性はAj 203゜Ti O
2,Zr O2等の酸化物やNi 、 Cu 。
2,Zr O2等の酸化物やNi 、 Cu 。
AJNi−Cr等の金属材料に広く対応できるものであ
る。
る。
次に実施例をあげて本発明を説明する。
実施例 1
ステンレス鋼製のシャフトにNi −cr自溶性合金
とZr03−Y203溶射皮膜を形成する場合について
説明する。第3図(a)において、1はJIS 5U
HIの直径50IIIII+の丸棒である。まず基材1
の表面をサンドブラストで研掃する。次にNi −C
r自溶合金皮膜を作る部分1aをゴムテープで被覆した
のち他の部分1b及びIC部分に窒化硼素粉末懸濁液(
昭和電工製 商品名ルービーエヌ)をスプレー塗布し、
110℃で15分間乾燥し、窒化硼素皮膜3a、3cを
得た。
とZr03−Y203溶射皮膜を形成する場合について
説明する。第3図(a)において、1はJIS 5U
HIの直径50IIIII+の丸棒である。まず基材1
の表面をサンドブラストで研掃する。次にNi −C
r自溶合金皮膜を作る部分1aをゴムテープで被覆した
のち他の部分1b及びIC部分に窒化硼素粉末懸濁液(
昭和電工製 商品名ルービーエヌ)をスプレー塗布し、
110℃で15分間乾燥し、窒化硼素皮膜3a、3cを
得た。
次にプラズマ溶射部により150メツシユパスのNi
−Cr自溶合金粉を溶射した。溶射条件は、アルゴン
流量: 354! /nin 、プラズマ電流ニア50
A、プラズマ電圧=30■、粉末供給量70g/n1n
−5= であった。皮M3の厚さは300μmであった。溶射処
理後窒化硼素を塗布した部分のNi −Cr自溶合金
は容易に脱落した。
−Cr自溶合金粉を溶射した。溶射条件は、アルゴン
流量: 354! /nin 、プラズマ電流ニア50
A、プラズマ電圧=30■、粉末供給量70g/n1n
−5= であった。皮M3の厚さは300μmであった。溶射処
理後窒化硼素を塗布した部分のNi −Cr自溶合金
は容易に脱落した。
次にNi −Cr自溶合金3の表面に窒化硼素粉末懸
濁液をスプレー塗布し、Z「02−Y203皮膜を付け
る部分1bの窒化硼素皮膜2bをサンドブラストにより
除去したのち、第3図(b)のごと< Z r O2−
Y 203粉末をプラズマ溶射した。
濁液をスプレー塗布し、Z「02−Y203皮膜を付け
る部分1bの窒化硼素皮膜2bをサンドブラストにより
除去したのち、第3図(b)のごと< Z r O2−
Y 203粉末をプラズマ溶射した。
溶射条件は溶射材料を変えた以外は前と同様であった。
Z「02−Y203溶射皮wA4の厚さは100μmで
あった。溶射後Ni −Cr皮膜3上に付着したz「
02−Y2o32aは簡単に脱落したが、素材面に形成
されたZr02−Y203皮膜4bは強固に付着してお
り、第3図(C)のような溶射皮膜を備えた軸が得られ
た。
あった。溶射後Ni −Cr皮膜3上に付着したz「
02−Y2o32aは簡単に脱落したが、素材面に形成
されたZr02−Y203皮膜4bは強固に付着してお
り、第3図(C)のような溶射皮膜を備えた軸が得られ
た。
実施例 2
アルミニウム基板上に絶縁物であるアルミナを溶射し、
回路基板を形成する場合について説明する。
回路基板を形成する場合について説明する。
第4図(a)に示すように、所定のパターンを打抜いた
厚さ0.2mmの軟鋼板製のマスク5の表面に、水10
0ccに対し2Ofの窒化硼素を混ぜて良く撹拌し懸濁
液としなものを刷毛塗布し、110℃120分間乾燥し
平均厚さ75μmの窒化硼素皮膜2を有するマスク14
を準備しな。このマスク14のA−A断面を第4図(b
)に示す。
厚さ0.2mmの軟鋼板製のマスク5の表面に、水10
0ccに対し2Ofの窒化硼素を混ぜて良く撹拌し懸濁
液としなものを刷毛塗布し、110℃120分間乾燥し
平均厚さ75μmの窒化硼素皮膜2を有するマスク14
を準備しな。このマスク14のA−A断面を第4図(b
)に示す。
次に、第2図に示すようにアルミニウム基板1の表面を
サンドブラストしたのち、前記マスク14を重ね合わせ
、プラズマ溶射法によりアルミナ粉末を溶射し、基板1
面上の所定位置に厚さ50μmのアルミナ皮膜3aを形
成した。マスク14上の開放部に付着したアルミナはア
ルミニウム基板1に強固に付着して溶射膜を形成してい
るのに対し、マスク14上に付着したアルミナは容易に
剥離することができた。
サンドブラストしたのち、前記マスク14を重ね合わせ
、プラズマ溶射法によりアルミナ粉末を溶射し、基板1
面上の所定位置に厚さ50μmのアルミナ皮膜3aを形
成した。マスク14上の開放部に付着したアルミナはア
ルミニウム基板1に強固に付着して溶射膜を形成してい
るのに対し、マスク14上に付着したアルミナは容易に
剥離することができた。
このようにしてマスク14は43回くり返し使用するこ
とができた。
とができた。
第1図及び第2図は本発明による溶射方法の実施例を説
明する図である。 第3図は実施例1の工程を説明する図である。 第4図は実施例2で使用するマスクの製造を説明する図
である。
明する図である。 第3図は実施例1の工程を説明する図である。 第4図は実施例2で使用するマスクの製造を説明する図
である。
Claims (1)
- 基材面の溶射不要部分に窒化硼素被覆を形成してマスキ
ングすることを特徴とする溶射方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30364786A JPS63157850A (ja) | 1986-12-22 | 1986-12-22 | 溶射方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30364786A JPS63157850A (ja) | 1986-12-22 | 1986-12-22 | 溶射方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63157850A true JPS63157850A (ja) | 1988-06-30 |
Family
ID=17923519
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP30364786A Pending JPS63157850A (ja) | 1986-12-22 | 1986-12-22 | 溶射方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63157850A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005045088A1 (de) * | 2003-11-03 | 2005-05-19 | Mtu Aero Engines Gmbh | Verfahren zum teilweisen beschichten von bauteiloberflächen mittels thermischem spritzen |
DE102004058705B3 (de) * | 2004-12-06 | 2006-08-17 | Daimlerchrysler Ag | Thermisches Beschichtungsverfahren und Einweg-Maskierung dafür |
WO2011103860A1 (de) * | 2010-02-27 | 2011-09-01 | Mtu Aero Engines Gmbh | Verfahren zur beschichtung oder reparatur eines bauteils mittels eines thermischen spritzverfahrens und abdeckbeschichtung |
WO2014170117A1 (de) * | 2013-04-16 | 2014-10-23 | Plasma Innovations GmbH | Bauteil mit strukturierter oberfläche und verfahren zu dessen herstellung |
JP2015194479A (ja) * | 2014-03-28 | 2015-11-05 | 日本碍子株式会社 | 被膜の製造方法及びガスセンサの製造方法 |
JP2016522326A (ja) * | 2013-06-06 | 2016-07-28 | エリコン メテコ アクチェンゲゼルシャフト、ヴォーレン | 工作物の表面の一部分を被覆する方法及び遮蔽要素 |
CN109256326A (zh) * | 2017-07-13 | 2019-01-22 | 东京毅力科创株式会社 | 等离子体处理装置用部件及其喷镀方法 |
-
1986
- 1986-12-22 JP JP30364786A patent/JPS63157850A/ja active Pending
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005045088A1 (de) * | 2003-11-03 | 2005-05-19 | Mtu Aero Engines Gmbh | Verfahren zum teilweisen beschichten von bauteiloberflächen mittels thermischem spritzen |
DE102004058705B3 (de) * | 2004-12-06 | 2006-08-17 | Daimlerchrysler Ag | Thermisches Beschichtungsverfahren und Einweg-Maskierung dafür |
WO2011103860A1 (de) * | 2010-02-27 | 2011-09-01 | Mtu Aero Engines Gmbh | Verfahren zur beschichtung oder reparatur eines bauteils mittels eines thermischen spritzverfahrens und abdeckbeschichtung |
WO2014170117A1 (de) * | 2013-04-16 | 2014-10-23 | Plasma Innovations GmbH | Bauteil mit strukturierter oberfläche und verfahren zu dessen herstellung |
JP2016522326A (ja) * | 2013-06-06 | 2016-07-28 | エリコン メテコ アクチェンゲゼルシャフト、ヴォーレン | 工作物の表面の一部分を被覆する方法及び遮蔽要素 |
JP2015194479A (ja) * | 2014-03-28 | 2015-11-05 | 日本碍子株式会社 | 被膜の製造方法及びガスセンサの製造方法 |
CN109256326A (zh) * | 2017-07-13 | 2019-01-22 | 东京毅力科创株式会社 | 等离子体处理装置用部件及其喷镀方法 |
KR20190008126A (ko) * | 2017-07-13 | 2019-01-23 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 플라즈마 처리 장치용 부품의 용사 방법 및 플라즈마 처리 장치용 부품 |
JP2019021708A (ja) * | 2017-07-13 | 2019-02-07 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置用部品の溶射方法及びプラズマ処理装置用部品 |
US11328905B2 (en) | 2017-07-13 | 2022-05-10 | Tokyo Electron Limited | Thermal spraying method of component for plasma processing apparatus and component for plasma processing apparatus |
CN109256326B (zh) * | 2017-07-13 | 2023-07-07 | 东京毅力科创株式会社 | 等离子体处理装置用部件及其喷镀方法 |
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