JPS6315714B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は、薄膜ELパネルの均一発光を得るた
めの発光層を有したELパネルの形成法に関する。

薄膜ELパネルにおいては、表面に所定の発光
層を蒸着法またはスパツタ法で膜形成をしてい
る。該膜による発光層で均一な発光を得るために
は膜厚を均一にしなければならない。

〔従来技術〕

以下に、従来のELパネルの形成法について図
面を基に説明すると共に、その欠点を述べる。

第１図は従来のELパネルの形成法を示す概略
説明図であり、１は蒸着マスク、２は蒸着マスク
１の中程にテーパを有して形成した蒸着窓、３は
蒸着窓２上に載置したガラス基板、４は蒸着マス
ク１の下方に配置した熱源、５は蒸着マスク１の
上方に配置した熱源、６は例えばZnS：Mnから
なる発光層材料による蒸発源、７は蒸発源６の蒸
気である。

このように構成される、従来のELパネルの形
成法は次のようにして行なわれる。

蒸着マスク１上にガラス基板３を密接させて保
持する。これに熱源４又は５によりガラス基板３
を加熱する。そして、例えば電子ビームなどで蒸
発源６を加熱して蒸気７を発生させる。該蒸気７
は蒸発源６をZnS：Mnのものを使用しているの
でZnS：Mnの蒸気となる。

該蒸気７は蒸着マスク１の蒸着窓２からガラス
基板３の下方表面に付着して膜を形成する。該膜
が発光層である。

従来は、このようにして発光層の膜形成を行な
つていたが、しかし次のような欠点が生じてく
る。

それは、熱源４または５でガラス基板３を加熱
した場合、蒸着マスク１とガラス基板３の熱伝導
率や熱容量の差により蒸着マスク１の温度がガラ
ス基板３の温度より高くなり蒸着マスク１からガ
ラス基板３への熱移動が生じる。従つて、ガラス
基板３における蒸着マスク１との接触部の蒸着窓
２付近の温度がガラス基板３の中央部に比べて高
くなるので、前記で例示したZnS：Mnによる発
光層材料はガラス基板３の温度により膜の生成速
度が異なり、高温になる程遅くなる特性を有する
ため、前記ガラス基板３の温度分布ではガラス基
板３の周辺部の膜厚が薄くなるという欠点であ
り、これは当然発光時の輝度ムラにつながる欠点
である。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、前記の欠点を鑑みて成すもの
でありガラス基板の温度分布を極力一定に保つこ
とで、従来の欠点を解決することにある。

〔発明の概要〕

その発明の概要は次の通りである。

蒸着マスクとガラス基板との接触面を少なくす
るために、両者間に所望の間〓を設けることであ
る。

例えば、蒸着マスク上にガラス基板の四隅に対
応する所定の凸起部を設けて両者間に間〓を形成
すれば、ガラス基板の蒸着マスクへの接触は凸起
部における極小さな面積となるので、ガラス基板
の温度分布の不均一も膜形成に影響しない小さな
ものとすることができるのである。

〔実施例〕

以下に、前記のような目的と概要を特徴とした
本発明によるELパネルの形成法について図面を
基に説明すると共に、その効果を述べる。

第２図は本発明の一実施例によるELパネルの
形成法を示す概略説明図、第３図は蒸着マスクの
斜視図である。

図において、３はガラス基板、４，５は熱源、
６は蒸着源、７は蒸気であり、これ等は前記従来
例と同じでなので番号も同一符号としてある。

８は本発明による蒸着マスク、９はガラス基板
３を入れるための蒸着マスク８の凹部、１０は蒸
着マスク８の凹部９の中央部に形成した蒸着窓で
あり、該蒸着窓１０は従来のものと同じように蒸
着面に対応する大きさで、蒸着源６側にテーパを
成して開いており不均一な膜厚分布を防止する形
となつている。１１は凹部９の四隅に設けたガラ
ス基板３を保持する凸状の基板固定部、１２は基
板固定部１１によつて形成される蒸着マスク８と
ガラス基板３の間〓である。

このように構成した本発明でのELパネルの形
成法は、従来同様であり、電子ビームまたはるつ
ぼ等を用いた蒸着法やスパツタ法により蒸発源６
を加熱し蒸気７を発生させて、蒸着マスク１の蒸
着窓２からガラス基板３に蒸気７を付着して発光
層の膜形成を行なうのである。該膜は蒸発源６に
従来同様のZnS：Mnなどからなる発光層材料を
載置しているのでZnS：Mnによる発光層が形成
される。

ここで、本発明では蒸着マスク８の基板固定部
１１によつて蒸着マスク８とガラス基板３との間
に間〓１２を設けているために、蒸着マスク８と
ガラス基板３との熱伝導率や熱容量の差に起因す
る温度差が生じても蒸着マスク８からガラス基板
３への熱の移動は蒸着窓１０付近では起らない。
わずかに基板固定部１１からガラス基板３へ熱が
移動するが、この基板固定部１１はガラス基板３
の蒸着面から十分に離し、また接触面積も小さく
しているため蒸着面への熱伝導は極力おさえられ
る。

従つて、ガラス基板３の蒸着面内での温度分布
は均一となるので、例示しているZnS：Mnの高
温では膜形成速度の低下となる性質からの形成膜
厚の不均一は発生せず均一な発光層が形成でき
る。

尚、間〓１２の最大値は蒸着マスク８からガラ
ス基板３への輻射熱の影響と膜厚のボケを考慮し
た実験結果からおおよそ３mmであり、最小値は工
作精度やガラス基板３の平面度を考慮し約0.1mm
が良い。

〔発明の効果〕

以上、詳細に説明したように本発明では蒸着マ
スクとガラス基板との間に間〓を設けたので、ガ
ラス基板の加熱時に蒸着マスクからガラス基板へ
の熱の移動を防いでガラス基板内の温度分布を均
一にすることができる。

従つて、例示しているZnS：Mnなどの発光層
材料でガラス基板表面に発光層を形成する場合、
その膜厚分布を均一に形成することができるので
発光の輝度ムラが生じない効果がある。

また、蒸着マスクとガラス基板とは接触しない
のでガラス基板上に形成した膜の傷や汚れ等も防
止できる効果も有している。

このように、本発明は温度依存性の大きい材料
で膜厚の均一性を要求する絶縁膜、特に高誘電率
絶縁膜の形成において有益に利用することができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のELパネルの形成法を示す概略
説明図、第２図は本発明の一実施例によるELパ
ネルの形成法を示す概略説明図、第３図は本発明
による蒸着マスクの斜視図である。 ３……ガラス基板、４，５……熱源、６……蒸
発源、７……蒸気、８……蒸着マスク、１０……
蒸着窓、１１……基板固定部、１２……間〓。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 蒸着窓を有した蒸着マスク上にガラス基板を
   載置し、該ガラス基板を加熱して、その表面に温
   度依存性の大きい材料を加熱蒸発させて付着して
   発光層を膜形成するELパネルの形成法において、
   前記ガラス基板と蒸着マスクとの間に所定の間〓
   を設けてガラス基板を均一な温度に加熱すること
   を特徴としたELパネルの形成法。