JPS63155441A - カルコゲンガラス光カ−ド - Google Patents

カルコゲンガラス光カ−ド

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JPS63155441A
JPS63155441A JP61301700A JP30170086A JPS63155441A JP S63155441 A JPS63155441 A JP S63155441A JP 61301700 A JP61301700 A JP 61301700A JP 30170086 A JP30170086 A JP 30170086A JP S63155441 A JPS63155441 A JP S63155441A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chalcogen glass
chalcogen
reflectance
recording
layer
Prior art date
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Pending
Application number
JP61301700A
Other languages
English (en)
Inventor
Hisashi Nakatsui
久 中津井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
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Publication of JPS63155441A publication Critical patent/JPS63155441A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、光ビームを用いて光学的に情報の記録又は再
生を行なうカルコゲンガラス光カードに関する。
[従来の技術] 近年、光ファイル、コンパクトディスク等の光学的情報
記録媒体を利用した情報の記録・再生が行われる様にな
った。更に、最近では、これらの記録媒体よりも携帯性
に優れ、且つ比較的大容量であるカート状の光学的情報
記録媒体(以下、光カートと称する)を利用した情報記
録再生が注目され始めてきている。
第3図は光カートの記録フォーマットの一例を示す模式
的平面図である。
同第3図において、記録媒体である光カート1上には記
録領域2が設けられてSす、該記録領域2はバント3が
複数配列されて形成されている。
更に各バント3は情報トラック4が多数配列されて形成
され、各情報トラック4は数lO〜100ビット程度の
情報容量を有している。また、各バンド3はレファレン
スライン(以下、Rラインと称する)5によって区切ら
れている。なお、矢印Aは再生時に8ける光カード1の
移動方向であり、矢印Cは再生時における光ヘッドによ
る情報読取り走査方向である。
第4図は以上の様な記録フォーマットを有する光カート
を再生するための装置の概略構成図である。
同第4図において、光カート1は回転機構6によって矢
印A方向に往復移動可能である。光カードlに記録され
た情報は、トラック毎に光へラド11によって読取られ
再生される。まず、LED等の光M7からの光かレンズ
系8によって集光され、光カートlを照明する。該光カ
ート1のトラックの像は結像光学系9によって一次元セ
ンサアレイlO上に結像する。光カートlが矢印A方向
に移動しているので、これに対応してセンサアレイ10
上における情報トラックの像は移動する。センサアレイ
10においては各情報トラックがセンサアレイ10に結
像されているうちに数回読取り走査が行なわれる。この
様にして、あるバンド内のいくつかの情報トラックの記
録情報の再生か行なわれ、これが完了すると続いて光ヘ
ット11が矢印C方向に適宜移動して他の目的とするバ
ンド内の情報トラックがセンサアレイ上に結像される様
にし、上記と同様にして記録情報の再生が行われる。
一方、第3図に示す光カード1の様な記録媒体としては
、へロゲン化銀を主体とした光記録媒体か知られており
、InSb、 GdTb等の光磁気記録媒体、またレー
ザービームの照射によりIn、 Te等の金属薄膜を加
熱し溶解除去してピット記録をするレーザー記録媒体、
染料や顔料をレーザー加熱により昇華又は蒸発させるJ
!!熱記録媒体等が知られている。
特にピット記録を行なう媒体としては、支持体上にTe
、 Bi、 Sn、 Sb、In等の低融点金属を、ま
たシアニン系、スチリル系、フタロシアニン系、テトラ
デヒドロコリン系、ナフトキノン系、各種錯体等の染顔
料を積層するとか、金属とこれら染顔料とを組み合わせ
て積層したものとか種々の構成が知られている。
更にまた。特開昭50−43947号公報に開示されて
いるようなカルコゲン元素、例えば、硫黄(S)。
セレン(Se) 、テルル(Te)等の少なくとも1つ
を主成分とするガラス状物質か知られている。
この材料は、高解像記録ができること、及びレーザー光
記録媒体としても高感度である等の点で知られている。
[発明が解決しようとする問題点] しかし、これらの薄膜はレーザービームの照射を受け、
その熱エネルギー吸収率に応じてヒートモートによる状
態変化を惹起し、構造変化及び蒸発あるいは昇華を起し
て、ピット記録を行なうことができるが、この場合、薄
膜を構成する物質がレーザーの熱エネルギーを吸収して
溶融し除去される過程で、ピット周辺に表面張力により
凝集状態が生じ、均一で高解像力を有する切れのよいピ
ット記録を行なうことができない欠点があった。
また、第3図に示す情報トラック4を読み出す場合に、
情報トラック4の部分と情報トラック4以外の部分との
反射率の大きさの差が大きい程、コントラストが高い読
み出し信号を得ることができる。しかしながら、従来の
前述の記録媒体では高感度、高コントラストのものは未
だ作成されていないために、信号の読み出しエラーを少
なくすることができないという欠点を有している。
本発明は、上記の欠点を解決するためになされたもので
あり、その第1の目的は、情報トラックと情報トラック
以外の部分の反射率の差か著しく大きい新規の記録媒体
を提供しようとするものである。
また、本発明の第2の目的は、従来の光カードへの記録
情報トラックよりも極めて高い解像力を得る目的で、解
像力が2500木/■以上であるカルコゲン元素、特に
Teを含有するカルコゲンガラスから成る化合物を記録
層として用いた高解像力を有する記録媒体を提供しよう
とするものである。
[問題点を解決、するための手段]および[作用]即ち
、本発明は光ビームを用いて情報を記録あるいは再生す
る光カートにおいて、記録層かTeを含有するカルコゲ
ンガラス層で構成されていることを特徴とするカルコゲ
ンガラス光カードである。
以下、本発明の詳細な説明する。
第1図は本発明のカルコゲンガラス光カード(以下、光
カードと記す)の−例を示す断面図である。同第1図に
おいて、本発明の光カードは基板14の上に、必要に応
じて下引き層13を設け、さらにその上に記録層として
Teを含有するカルコゲンガラス層12を積層してなる
ものである。
本発明は、Teを含有するカルコゲンガラスを用いたカ
ルコゲンガラス層を設けた記録媒体からなることを特徴
の1つとするものである。
本発明に云うカルコゲンガラス層を形成するカルコゲン
ガラスとは、カルコゲン元素、即ち、イオウ(S)、セ
レン(Se)、テルル(Te)の少なくとも1つを主成
分とするガラス状物質である。それ等の中で、特に本発
明においてはTeを含有するものが用いられ、その有効
な代表例としては、As−Te系、 5b−Te系、 
B1−Te系などの二元カルコゲンガラス、またはAs
−5−Te系、 As−3e−Te系などの三元カルコ
ゲンガラス等である。
前記カルコゲンガラスを用いてカルコゲンガラス層を形
成する場合、必要に応じて、ハロゲン。
Ge、 Si、 TI  などの元素を活性剤として少
量(1モル%以下)加えることもまた有効である。また
、添加剤として、少量の金属を添加することは光感度の
点で有効である。添加する金属としては、代表的なもの
はAg、 Cu、 Zn、 Cd、 Mn、 Ga。
In、 Bi、 Sb、 Seまたはこれらの合金が挙
げられ、特にAg及びCuが好適である。金属の添加量
はカルコゲンガラスを構成する原子数100に対し、1
〜0.0001原子数、特に0.5〜o、oos g子
数か好適である。
通常、カルコゲンガラス層は薄く設定され、約1000
0〜1001gである。特に解像力について2JL以上
を得るためには約800■終〜100mpに設定される
0層厚範囲の下限は均一層を形成するための製造上の限
界によって規定される。
カルコゲンガラスの溶融体を塗布した場合には数ル〜数
100鉢が得やすい厚さであり、又ウェハーとして切り
出される場合には1eル以上の厚さか望ましい。
本発明に用いられるカルコゲンガラスは既に記述したよ
うにガラス状物質であり、結晶構造を有していない。
従って、カルコゲンガラスに付与するエネルギーによっ
てガラス状物質;結晶に状態変化を起すか、情報トラッ
ク以外の部分での反射率を高める必要性からカルコゲン
元素から成る記録媒体であってもガラス状物質である方
が結晶状態よりも反射率か同じ物質であっても低いため
に本発明にとっては有効な性質である。
例えば、これらカルコゲンガラスを用いて構成する光カ
ートの記録媒体としての構成は、第1図に示すようにカ
ルコゲンガラス層12、下引き層13及び基板14から
なる感光部材であるか、ここに示すカルコゲンガラス層
12は、結晶構造としてはアモルファスであるからラン
ダムネットワークを形成しており、入射光は直ちに反射
されず散乱する。従って極めて反射率の低い部材を提供
することになる。
また、カルコゲンガラスの感度を高感度にする目的て、
前記の種々の元素か添加されるか、添加する元素によっ
ても反射率か種々変化するので、光カードとして最も有
効な組成のカルコゲンガラスを用いる必要かある。
即ち、本発明におけるカルコゲンガラス層はアモルファ
ス状態にあるカルコゲンガラスの光散乱を利用して反射
率が極めて低い状態を形成する。
従って、本発明の目的のためには、反射率が10〜50
%、波長によっては5〜40%程度の反射率を有するカ
ルコゲンガラス(アモルファス状態)が用いられる。
また、基板14としては、ガラス、セラミックス、ポリ
カーボネート、環化ビニル、ポリエチレンテレフタレー
ト、ポリスチレン等の各種プラスチック板が用いられる
と°ころで、前に記述したようにカルコゲンガラスは付
与するエネルギーによってガラス状態から結晶状態に変
化する。このとき、エネルギーの付与されない部分のガ
ラス状態のカルコゲンガラスの反射率は低いが、エネル
ギーが付与された結晶状態のカルコゲンガラスの反射率
は著しく高くなることから、カルコゲンガラス層に光ビ
ームを照射してエネルギーを付与して情報を記録し、該
情報の記録部のカルコゲンガラスを結晶状態に変えるこ
とによりその反射率を高め、再生光ビームを照射したと
きにガラス状態と結晶状態の部分の反射率の差を読み取
ることにより情報の読み出しを行うことができる。
したがって、本発明はこれらカルコゲンガラス中より、
特に結晶状態で反射率が高くなる物質に着目して成され
たものである。すなわち、 Teを含有するカルコゲン
ガラスは付与するエネルギーにより非晶質(アモルファ
ス)から結晶に容易に変化させることが出来る。同じカ
ルコゲンガラスの合金であってもSn、 Sb、 Bi
、 Inを含有するものではTe程の高い反射率は得ら
れない。
本発明におけるTeを含有するカルコゲンガラス層中の
Teの含有量は、エネルギーの付与により高反射率を得
るためには、通常20〜70重量%、好ましくは30〜
60重量%が望ましく、20重量%未満では反射率が低
く、また70重量%をこえると高反射率とするのに要す
るエネルギーを多く必要とするために光ビームの照射時
間が長くなり好ましくない。
本発明において、下引き層としては、例えばAu、 C
r、 In、 Sn、 Cu及びそれらの合金等を用い
ることができる。
本発明の光カードは、基板上に所定のTeを含有するカ
ルコゲンガラスを蒸着法、スパッター法により形成する
ことにより容易に得ることができる。
[実施例] 以下、実施例を示し本発明をさらに具体的に説明する。
実施例1 白色塩化ビニルから成る光カード基板(厚さ2mm)上
にカルコゲンガラス層としてAstTe3 (Te含有
力量60重量%)のアモルファスカルコゲナイド蒸着膜
を120鳳鉢の厚さに形成して光カードを作成した。そ
の結果、光カート記録媒体の断面図は第2図(a)に示
すような構成となった。
また、白色塩化ビニルの平滑性とカルコゲンガラスの声
着性を向上させる目的で、白色塩化ビニル基板とカルコ
ゲンガラス層の間に、不図示の下引き層(蒸着層、塗布
層)が形成されても良い。
この状態で光カードは灰白色である。
次に、第2図(b)に示すように、光カードに記録すべ
き情報パターンをフォトマスク15を介してUv光16
を露光すると、未露光部Aはアモルファスの状態12a
のままで、露光部Bは結晶化した状態12bとなる。す
なわち、t52図(C)に示すような構成になる。
この場合、露光部のアモルファス状態から結晶状態に変
化したAS*Te3は肉眼で見ても余り差異は見られな
いが、顕微鏡で表面観察をして見ると、結晶して極めて
光沢の大きな表面に変化していることが認められる。
このままで、光情報記録部として情報トラック4を形成
してもよいが、追加露光があった場合、未露光部が残っ
ているとノイズの発生する原因となるので除去するのが
良い。
すなわち、カルコゲンガラスの未露光部Aは、アルカリ
でエツチング除去されるのに対して、露光部BのTe結
晶化部分は酸てしかエツチング除去されない、従って、
第2図(b)に示す:100W高圧水銀灯により25c
厘の距離から30秒の露光により情報パターンの記録を
行った。
然る後、0.5N−NaOH水溶液を用いて、約10秒
間エツチング処理を行い、水洗後乾燥すると、第2図(
d)に示す様なレリーフパターンを形成することが出来
た。
第2図(c)に示す未露光部Aのカルコゲンガラスの反
射率は10%であり、露光部Bの結晶化部のカルコゲン
ガラスの反射率は85%であった。
更に、第2図(d)に示す様に、未露光部Aのカルコゲ
ンガラスのアモルファスの状Jli12aの除去を行う
と、Teの結晶化カルコゲンガラス層の反射率は85%
をそのまま有効に利用することが出来る。もちろん、こ
の場合、塩ビベースの表面はマット面(無反射面)に加
工しておくことを要する。
以上の結果から、本発明は製造工程も、従来の光カート
に比べ簡単で、かつ反射率の高い光カートを得ることが
出来る。また、カルコゲンガラスの高解像性の特徴をそ
のまま利用することができるので記録情報密度が1桁以
上増大することができる。
実施例2 パターン露光を実施例1ではUv光を用いたが、本実施
例ではArレーザー、Cdレーザー等のビームを絞り込
んだデジタル記録情報パターンとして情報トラックを形
成した。
実施例1と同様の方法により、Arレーザー数10mW
程度のものでIJLのビーム径に絞り込んで、1/2秒
程度の露光により、情報パターンを形成した。
この場合、レーザーエネルギーが充分であればある程、
露光部のAS*Te3の結晶化は進み、特にTe単体が
析出したような状態を形成するようになる。従りて、未
露光部はアルカリガス(例えばアンモニアガス)中で若
干の振動を加えてやると自然に除去されてしまう、その
結果として第2図(d)のパターンを得ることが出来た
この場合、実施例1と比較して、更に反射率を5〜10
%高めることかできた。
実施例3 実施例1と同様の方法で、白色塩化ビニル基板(2mm
厚)にASioSnoTeio(Te含有量30重量%
)を150膿洟の膜厚に形成した。
1hWのArレーザーを用いてlILのビーム径で0.
5秒程度の短時間露光を与えると、熱エネルギーにより
カルコゲンガラス層は納品性を増し。
露光部の反射率が高められた。この場合、未露光部のカ
ルコゲンガラスの反射率は5%て、露光部の反射率は6
5%であった。
未露光部をエツチング除去をすると、露光部の反射率は
60%程度になった。
未露光部の色調は、AsとSか多く含まれているために
暗赤色を呈しているが、露光部に数ミクロンの情報トラ
ックか記録されていても目視ては良く判別できない状態
であった。
実施例4〜7および比較例1 実施例1と同様の方法で、白色塩化ビニル基板(2mm
厚)に、第1表に示す組成のカルコゲンガラスを蒸着し
て光カートを作成し、その反射率を測定した。その結果
を第1表に併記する。
以上の結果から、カルコゲンガラス中のTeの含有量が
20〜70重量%か最も効率良く高反射率を得ることが
出来るのに対して、20重量%未満では反射率も50%
以下となり余り良くない。
また、逆にTeが多すぎても露光時間がかかりすぎ、感
材感度が低く実用的ではない。
従って、各実施例の結果からも判るように、20〜70
重量%のTe含有量のカルコゲンガラスが最も適してお
り、Te含有量が70〜90重量%では露光感度が低か
ったり、未露光部との反射率の相異が大きくない等の欠
点が生ずることが認められる。
[発明の効果] 以上説明した様に、本発明は従来の光カードに用いられ
ているカルコゲンガラス組成物の中から、特にTeを有
するカルコゲンガラスを選択し、このTe含有カルコゲ
ンガラス層に情報パターンの露光を行なうと、他のカル
コゲンガラスよりも結晶化し易い特長があり、更にその
結晶化によって記録情報パターンの読出し時に、高反射
率であることが要求される光カードにおいて、50%以
上の反射率を得ることができる。
特に、60重量%程度のTe含有のカルコゲンガラス層
の場合には85〜90%のPt、 Ag金属並みの高い
反射率を得ることかできる特徴を有している。
また、従来、パターニングによりlIL程度の解像力を
得ることは工程も複雑であり容易に得られなかったが、
本発明では、カルコゲンガラスの高解像性を利用してい
るためサブミクロンでの解像力を得ることも可能である
と共に光カートの製造工程がパターン露光のみで得られ
るので経済的効果も大きい。
一方、カルコゲンガラスにおいて、Teのように結晶化
を促進し、反射率を高める例は他になく、耐アルかり性
も大である特徴を有している。
更に、本発明では白色塩化ビニル基板を用いているが、
マット面にすることが難しいかまたは反射が未露光部に
於いて高い基板の場合には、カルコゲンガラスのアモル
ファスの反射率の低い部分を歿して利用することによっ
て、露光部との反射率の差を大きくとることが出来、S
/Nを大にすることかできる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の光カードの一例を示す断面図、第2図
(a)〜(d)は光カートへの情報記録方法を示す工程
図、第3図は従来例に於ける光カードの記録フォーマッ
トを示す模式的平面図および第4図は従来例に於ける光
カード再生装置の概略的構成図である。 l・・・光カード     2・・・記録領域3・・・
バンド      4・・・情報トラック5・・・レフ
ァレンスライン 6・・・回転機構     7・・・光源8・・・レン
ズ系     9・・・結像光学系10・・・センサア
レイ 11−・・光ヘッド 12・・・カルコゲンガラス層 12a・・・アモルファスの状態 12b・・・結晶化した状態 13−・・下引き層 14・・・基板 Is−・・フォトマスク 16−UV光 A・・・未露光部 B−・・露光部

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)光ビームを用いて情報を記録あるいは再生する光
    カードにおいて、記録層がTeを含有するカルコゲンガ
    ラス層で構成されていることを特徴とするカルコゲンガ
    ラス光カード。
  2. (2)Teを含有するカルコゲンガラス層中のTeの含
    有量が20〜70重量%である特許請求の範囲第1項記
    載のカルコゲンガラス光カード。
JP61301700A 1986-12-19 1986-12-19 カルコゲンガラス光カ−ド Pending JPS63155441A (ja)

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JP61301700A JPS63155441A (ja) 1986-12-19 1986-12-19 カルコゲンガラス光カ−ド

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JP61301700A JPS63155441A (ja) 1986-12-19 1986-12-19 カルコゲンガラス光カ−ド

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10191186B2 (en) 2013-03-15 2019-01-29 Schott Corporation Optical bonding through the use of low-softening point optical glass for IR optical applications and products formed

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10191186B2 (en) 2013-03-15 2019-01-29 Schott Corporation Optical bonding through the use of low-softening point optical glass for IR optical applications and products formed

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