JPS63151809A - 磁気スケ−ル装置 - Google Patents
磁気スケ−ル装置Info
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- JPS63151809A JPS63151809A JP29867486A JP29867486A JPS63151809A JP S63151809 A JPS63151809 A JP S63151809A JP 29867486 A JP29867486 A JP 29867486A JP 29867486 A JP29867486 A JP 29867486A JP S63151809 A JPS63151809 A JP S63151809A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 44
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims abstract description 14
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 abstract description 4
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、物体の位置検出又は移動測定に使用される磁
気スケール装置に関する。
気スケール装置に関する。
（従来の技術）
従来、例えば工作機械のＸＹテーブルの移動位置制御用
として、磁気スケール装置が使用されている。磁気スケ
ール装置は、第４図に示すように、ケース１０内に磁気
目盛りパターンが形成されたロッド状のスケール１１を
備えており、検出ヘッド１２がスケール１１に沿って相
対的に移動するように構成されている。スケール１１は
、両端部がそれぞれＯラドホルダ（スケール固定部材）
１３ａ 。
として、磁気スケール装置が使用されている。磁気スケ
ール装置は、第４図に示すように、ケース１０内に磁気
目盛りパターンが形成されたロッド状のスケール１１を
備えており、検出ヘッド１２がスケール１１に沿って相
対的に移動するように構成されている。スケール１１は
、両端部がそれぞれＯラドホルダ（スケール固定部材）
１３ａ 。
１３ｂを介在してテンション保持部材１４ａ 、 １４
ｂにより保持されている。
ｂにより保持されている。
一方、検出ヘッド１２は、ユニバーサルジヨイント１５
を介在してキャリア１６に接続されている。キャリア１
６は、ケース１０の外部に延在しており、外部からの移
動を検出ヘッド１２へ伝達するための部材である。
を介在してキャリア１６に接続されている。キャリア１
６は、ケース１０の外部に延在しており、外部からの移
動を検出ヘッド１２へ伝達するための部材である。
このような磁気スケール装置は、例えば第５図に示すよ
うに、ＸＹテーブル３０を有する工作機械３１に取付け
られる。具体的には、ケース１０は、ＸＹテーブル３０
の例えばＸ方向の移動機構に取付けられる。この場合、
第２図に示すように、ケース１０の外部表面に設けられ
た取付は座１７ａ 、 １７ｂを介して、ケース１０は
ＸＹテーブル３０に取付けられることになる。一方、キ
ャリア１６は工作機械のベッド（基台）３２側に取付け
られている。
うに、ＸＹテーブル３０を有する工作機械３１に取付け
られる。具体的には、ケース１０は、ＸＹテーブル３０
の例えばＸ方向の移動機構に取付けられる。この場合、
第２図に示すように、ケース１０の外部表面に設けられ
た取付は座１７ａ 、 １７ｂを介して、ケース１０は
ＸＹテーブル３０に取付けられることになる。一方、キ
ャリア１６は工作機械のベッド（基台）３２側に取付け
られている。
いま、例えばＸ方向（第３図の矢印）へＸＹテーブル３
０が移動すれば、キャリア１６に接続された検出ヘッド
１２に対してスケール１１が相対的に移動し、検出ヘッ
ド１２からその移動量に応じた電気信号が出力される。
０が移動すれば、キャリア１６に接続された検出ヘッド
１２に対してスケール１１が相対的に移動し、検出ヘッ
ド１２からその移動量に応じた電気信号が出力される。
これにより、ＸＹテーブル３０の例えばＸ方向への移動
量が検出されることになる。
量が検出されることになる。
ところで、検出ヘッド１２とスケール１１とは微少開隔
を以て対向配置されている。このため、両者の対向面で
は接離摺動が発生し易くなる。このような状態において
、ＸＹテーブル３０とベッド３２間に電位差が発生した
場合、第２図の点線で示すように、電流が流れるような
事態が発生する。特に、放電加工機又はマシニングセン
タ等において発生し易い。したがって、検出ヘッド１２
とスケール１１との対向面で通電による磁界が発生し、
検出ヘッド１２の検出信号にノイズが生ずることがある
。これにより、例えばＸＹテーブル３０の移動制御にお
いて、誤動作が発生するような欠点がある。
を以て対向配置されている。このため、両者の対向面で
は接離摺動が発生し易くなる。このような状態において
、ＸＹテーブル３０とベッド３２間に電位差が発生した
場合、第２図の点線で示すように、電流が流れるような
事態が発生する。特に、放電加工機又はマシニングセン
タ等において発生し易い。したがって、検出ヘッド１２
とスケール１１との対向面で通電による磁界が発生し、
検出ヘッド１２の検出信号にノイズが生ずることがある
。これにより、例えばＸＹテーブル３０の移動制御にお
いて、誤動作が発生するような欠点がある。
（発明が解決しようとする問題点）
従来の磁気スケール装置では、工作機械に取付けられた
際に、その取付は近傍に電位差が発生すると、検出ヘッ
ドからノイズが出力されることがある。このため、磁気
スケール装置の検出信号による移動制御において、誤動
作が発生するなどの問題がある。
際に、その取付は近傍に電位差が発生すると、検出ヘッ
ドからノイズが出力されることがある。このため、磁気
スケール装置の検出信号による移動制御において、誤動
作が発生するなどの問題がある。
本発明の目的は、工作機械の取付は部の近傍で多少の電
位差が発生した場合でも、常に確実な検出信号を出力す
る磁気スケール装置を提供することにある。
位差が発生した場合でも、常に確実な検出信号を出力す
る磁気スケール装置を提供することにある。
（問題点を解決するための手段と作用）本発明は、スケ
ール及び検出ヘッドを内部に装備し装置本体を構成する
ケースを、工作機械に取付けるための取付は部材が絶縁
材料からなる磁気スケール装置である。
ール及び検出ヘッドを内部に装備し装置本体を構成する
ケースを、工作機械に取付けるための取付は部材が絶縁
材料からなる磁気スケール装置である。
また本発明は、スケールの両端を支持するためのテンシ
ョン保持部材又はスケールの両端をテンション保持部材
に固定させるためのスケール固定部材が絶縁材料からな
る磁気スケール装置である。
ョン保持部材又はスケールの両端をテンション保持部材
に固定させるためのスケール固定部材が絶縁材料からな
る磁気スケール装置である。
このような磁気スケール装置を工作機械に取付けた場合
に、その取付は部の近傍で電位差が発生しても、スケー
ルと検出ヘッドとの対向面に通電による磁界の発生を防
止することができる。
に、その取付は部の近傍で電位差が発生しても、スケー
ルと検出ヘッドとの対向面に通電による磁界の発生を防
止することができる。
（実施例）
以下図面を参照して本考案の実施例を説明する。第１図
は第１の実施例に係わる磁気スケール装置７７）−構成
を示す正面断面図である。第１図において、ケース取付
は部材（取付は座） ２０ａ 、 ２０ｂは、例えばセ
ラミックス製の絶縁材料からなり、ケース１０の外部表
面の所定の位置に配置されている。取付は部材２０ａ
、 ２０ｂはケース１０を工作機械の所定の箇所に取付
けるための部材である。尚、他の構成は前記第４図に示
すものと同様のため、同一符号を付して説明を省略する
。
は第１の実施例に係わる磁気スケール装置７７）−構成
を示す正面断面図である。第１図において、ケース取付
は部材（取付は座） ２０ａ 、 ２０ｂは、例えばセ
ラミックス製の絶縁材料からなり、ケース１０の外部表
面の所定の位置に配置されている。取付は部材２０ａ
、 ２０ｂはケース１０を工作機械の所定の箇所に取付
けるための部材である。尚、他の構成は前記第４図に示
すものと同様のため、同一符号を付して説明を省略する
。
次に、同実施例の作用効果を説明する。先ず、ケース１
０自体を例えばＸＹテーブルを有する工作機械等に取付
ける（第５図を参照）。具体的には、ＸＹテーブルの移
動機構の所定の箇所に取付は部材２０ａ 、 ２０ｂを
介在して、ケース１０を取付ける。
０自体を例えばＸＹテーブルを有する工作機械等に取付
ける（第５図を参照）。具体的には、ＸＹテーブルの移
動機構の所定の箇所に取付は部材２０ａ 、 ２０ｂを
介在して、ケース１０を取付ける。
また、ケース１０から外部へ延在しているキャリア１６
を、工作機械等のベッドに取付ける。
を、工作機械等のベッドに取付ける。
このような取付は状態において、ＸＹテーブルの移動機
構が例えばＸ方向へ移動すると、それに伴ってスケール
１１は検出ヘッド１２に対して相対的にＸ方向へ移動す
る。検出ヘッド１２は、その移動量に応じた検出信号（
ｉｉ気信号）を出力する。この検出ヘッド１２からの検
出信号に基づいて、ＸＹテーブルの移動機構が移動制御
されることになる。
構が例えばＸ方向へ移動すると、それに伴ってスケール
１１は検出ヘッド１２に対して相対的にＸ方向へ移動す
る。検出ヘッド１２は、その移動量に応じた検出信号（
ｉｉ気信号）を出力する。この検出ヘッド１２からの検
出信号に基づいて、ＸＹテーブルの移動機構が移動制御
されることになる。
これにより、ＸＹテーブルは例えばＸ方向に対する移動
位置が調整されることになる。
位置が調整されることになる。
ところで、工作機械等において、ＸＹテーブルとベッド
間で電位差が生じたとする。この電位差の発生により、
例えばＸＹテーブル、ケース取付は部材２０ａ又は２０
ｂ、ケース１０、テンション保持部材１４ａ又は１４ｂ
１スケール１１、検出ヘッド１２、キャリア１６及びベ
ッドを経て形成される電流通路が想定される。
間で電位差が生じたとする。この電位差の発生により、
例えばＸＹテーブル、ケース取付は部材２０ａ又は２０
ｂ、ケース１０、テンション保持部材１４ａ又は１４ｂ
１スケール１１、検出ヘッド１２、キャリア１６及びベ
ッドを経て形成される電流通路が想定される。
ここで、第１の実施例では、取付は部材２０ａ又は２０
ｂが絶縁材料からなる。このため、取付は部材２０ａ又
は２０ｂからケース１０への電流経路は遮断された状態
となる。このため、スケール１１と検出ヘッド１２との
対向面には電流は流れず、その対向面に通電による磁界
は発生しないことになる。
ｂが絶縁材料からなる。このため、取付は部材２０ａ又
は２０ｂからケース１０への電流経路は遮断された状態
となる。このため、スケール１１と検出ヘッド１２との
対向面には電流は流れず、その対向面に通電による磁界
は発生しないことになる。
このようにして、ケース１０の取付は部の近傍である例
えばＸＹテーブルとベッド間で電位差が生じた場合でも
、その電位差による電流経路はケース１０内では形成さ
れない。このため、スケール１１と検出ヘッド１２との
対向面には、電位差による電流は流れないことになる。
えばＸＹテーブルとベッド間で電位差が生じた場合でも
、その電位差による電流経路はケース１０内では形成さ
れない。このため、スケール１１と検出ヘッド１２との
対向面には、電位差による電流は流れないことになる。
したがって、スケール１１と検出ヘッド１２との対向面
には通電による磁界は発生せず、検出ヘッド１２からそ
の磁界の発生によるノイズが出力されるような事態を確
実に防止することができる。これにより、検出ヘッド１
２かうのノイズで、例えばＸＹテーブルの移動制御に誤
動作が発生するような事態を防止することが可能となる
。
には通電による磁界は発生せず、検出ヘッド１２からそ
の磁界の発生によるノイズが出力されるような事態を確
実に防止することができる。これにより、検出ヘッド１
２かうのノイズで、例えばＸＹテーブルの移動制御に誤
動作が発生するような事態を防止することが可能となる
。
第２図は本発明の第２の実施例に係わる磁気スケール装
置の構成を示す正面断面図である。第２の実施例の装置
では、ロッドホルダ（スケール固定部材＞ ２２ａ 、
２２ｂはセラミックス等の絶縁材料からなる。ロッド
ホルダ２２ａ 、 ２２ｂは、それぞれスケール１１の
両端部を固定し、テンション保持部材１４ａ 、 １４
ｂの各中空部に結合されている。テンション保持部材１
４ａ 、 １４ｂの各中空部は、スケール１１の外径よ
りも大きい内径を有するように形成されている。これに
より、スケール１１は、テンション保持部材１４ａ 、
１４ｂの各中空部に接触することなく貝通し、その両
端部がＯラドホルダ２２ａ。
置の構成を示す正面断面図である。第２の実施例の装置
では、ロッドホルダ（スケール固定部材＞ ２２ａ 、
２２ｂはセラミックス等の絶縁材料からなる。ロッド
ホルダ２２ａ 、 ２２ｂは、それぞれスケール１１の
両端部を固定し、テンション保持部材１４ａ 、 １４
ｂの各中空部に結合されている。テンション保持部材１
４ａ 、 １４ｂの各中空部は、スケール１１の外径よ
りも大きい内径を有するように形成されている。これに
より、スケール１１は、テンション保持部材１４ａ 、
１４ｂの各中空部に接触することなく貝通し、その両
端部がＯラドホルダ２２ａ。
２２ｂを介在してテンション保持部材１４ａ 、 １４
ｂに固定されている。尚、他の構成は前記第４図に示す
ものと同様のため、同一符号を付して説明を省略する。
ｂに固定されている。尚、他の構成は前記第４図に示す
ものと同様のため、同一符号を付して説明を省略する。
このような第２の実施例の装置を工作ｔａ械に取付けた
場合、ケース１０の取付は部の近傍である例えはＸＹテ
ーブルとベッド間で電位差が生じた場合でも、前記第１
の実施例の場合と同様に、スケール１１と検出ヘッド１
２との対向面には通電による磁界は発生せず、検出ヘッ
ド１２からその磁界の発生によるノイズが出力されるよ
うな事態を確実に防止することができる。即ち、第２の
実施例では、スケール１１は絶縁材質のロッドホルダ２
２ａ 、 ２２ｂを介在してテンション保持部材１４ａ
、 １４ｂに固定されている。このため、例えばＸＹ
テーブル、取付は部材１７ａ又は１７ｂ１ケース１０、
テンション保持部材１４ａ又は１４ｂ１スケール１１、
検出ヘッド１２、キャリア１６及びベッドを経て形成さ
れる電流通路において、テンション保持部材１４ａ又は
１４ｂからスケール１１への電流の流れを遮断すること
ができる。
場合、ケース１０の取付は部の近傍である例えはＸＹテ
ーブルとベッド間で電位差が生じた場合でも、前記第１
の実施例の場合と同様に、スケール１１と検出ヘッド１
２との対向面には通電による磁界は発生せず、検出ヘッ
ド１２からその磁界の発生によるノイズが出力されるよ
うな事態を確実に防止することができる。即ち、第２の
実施例では、スケール１１は絶縁材質のロッドホルダ２
２ａ 、 ２２ｂを介在してテンション保持部材１４ａ
、 １４ｂに固定されている。このため、例えばＸＹ
テーブル、取付は部材１７ａ又は１７ｂ１ケース１０、
テンション保持部材１４ａ又は１４ｂ１スケール１１、
検出ヘッド１２、キャリア１６及びベッドを経て形成さ
れる電流通路において、テンション保持部材１４ａ又は
１４ｂからスケール１１への電流の流れを遮断すること
ができる。
第３図は本発明の第３の実施例に係わる磁気スケール装
置の構成を示す正面断面図である。第３の実施例の装置
では、テンション保持部材２１ａ。
置の構成を示す正面断面図である。第３の実施例の装置
では、テンション保持部材２１ａ。
２１ｂはそれぞれ例えばセラミックス又は繊維強化樹脂
等の絶縁材料からなる。尚、他の構成は前記第１図に示
す第１の実施例ものと同様のため、同一符号を付して説
明を省略する。
等の絶縁材料からなる。尚、他の構成は前記第１図に示
す第１の実施例ものと同様のため、同一符号を付して説
明を省略する。
このような第３の実施例の装置を工作機械に取付けた場
合、ケース１０の取付は部の近傍である例えばＸＹテー
ブルとベッド間で電位差が生じた場合でも、前記第１の
実施例の場合と同様に、スケール１１と検出ヘッド１２
との対向面には通電による磁界は発生せず、検出ヘッド
１２からその磁界の発生によるノイズが出力されるよう
な事態を確実に防止することができる。即ち、第３の実
施例では、例えばＸＹテーブル、取付は部材２０ａ又は
２０ｂ１ケース１０、テンション保持部材２１ａ又は２
１ｂ１スケール１１、検出ヘッド１２、キャリア１６及
びベッドを経て形成される電流通路において、絶縁材質
の取付は部材２０ａ 、 ２０ｂ及びテンション保持部
材２１ａ又は２１ｂによりスケール１１への電流の流れ
を遮断することができる。
合、ケース１０の取付は部の近傍である例えばＸＹテー
ブルとベッド間で電位差が生じた場合でも、前記第１の
実施例の場合と同様に、スケール１１と検出ヘッド１２
との対向面には通電による磁界は発生せず、検出ヘッド
１２からその磁界の発生によるノイズが出力されるよう
な事態を確実に防止することができる。即ち、第３の実
施例では、例えばＸＹテーブル、取付は部材２０ａ又は
２０ｂ１ケース１０、テンション保持部材２１ａ又は２
１ｂ１スケール１１、検出ヘッド１２、キャリア１６及
びベッドを経て形成される電流通路において、絶縁材質
の取付は部材２０ａ 、 ２０ｂ及びテンション保持部
材２１ａ又は２１ｂによりスケール１１への電流の流れ
を遮断することができる。
［発明の効果］
以上詳述したように本発明によれば、工作機械に取付け
た場合、その取付は部近傍で多少の電位差が発生しても
、スケールと検出ヘッドとの対向面でその電位差の発生
による磁界の発生を防止することができる。このため、
検出ヘッドからノイズが出力されることを防止すること
ができ、常に移動量に応じた確実な検出信号を得ること
ができる。
た場合、その取付は部近傍で多少の電位差が発生しても
、スケールと検出ヘッドとの対向面でその電位差の発生
による磁界の発生を防止することができる。このため、
検出ヘッドからノイズが出力されることを防止すること
ができ、常に移動量に応じた確実な検出信号を得ること
ができる。
これにより、多少の電位差を発生し易い工作機械等に使
用しても、検出ヘッドからの検出信号に基づいて行なう
物体の移動制御の誤動作を確実に防止することが可能と
なるものである。
用しても、検出ヘッドからの検出信号に基づいて行なう
物体の移動制御の誤動作を確実に防止することが可能と
なるものである。
第１図は本発明の第１の実施例に係わる磁気スケール装
置の構成を示す正面断面図、第２図は本発明の第２の実
施例に係わる磁気スケール装置の構成を示す正面断面図
、第３図は本発明の第３の実施例に係わる磁気スケール
装置の構成を示す正面断面図、第４図は従来の磁気スケ
ール装置の構成を示す正面断面図、第５図は従来の磁気
スケール装置を工作機械に使用した際の説明図である。 １０・・・ケース、１１・・・スケール、１２・・・検
出ヘッド、１３ａ 、 １３ｂ 、 ２２ａ 、 ２２
ｂ ・０ ラドホルダ（スケール固定部材） 、１４ａ
、 １４ｂ 、 ２１ａ 、 ２１ｂ ・テンション
保持部材、１６−・・キｔ ＩＪ ７．１７ａ 、 １
７ｂ 、 ２０ａ 。 ２０ｂ・・・ケース取付は部材。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第２図 第３国 第４ｊｌ 第５図
置の構成を示す正面断面図、第２図は本発明の第２の実
施例に係わる磁気スケール装置の構成を示す正面断面図
、第３図は本発明の第３の実施例に係わる磁気スケール
装置の構成を示す正面断面図、第４図は従来の磁気スケ
ール装置の構成を示す正面断面図、第５図は従来の磁気
スケール装置を工作機械に使用した際の説明図である。 １０・・・ケース、１１・・・スケール、１２・・・検
出ヘッド、１３ａ 、 １３ｂ 、 ２２ａ 、 ２２
ｂ ・０ ラドホルダ（スケール固定部材） 、１４ａ
、 １４ｂ 、 ２１ａ 、 ２１ｂ ・テンション
保持部材、１６−・・キｔ ＩＪ ７．１７ａ 、 １
７ｂ 、 ２０ａ 。 ２０ｂ・・・ケース取付は部材。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第２図 第３国 第４ｊｌ 第５図
Claims (3)
- （１）表面に磁気目盛りパターンが形成されたスケール
及び前記スケールに対する相対的な移動量に応じた電気
信号を出力する検出ヘッドを備えた磁気スケール装置に
おいて、 前記スケール及び検出ヘッドを内部に装備し装置本体を
構成するケースと、このケースの外部表面に配置された
絶縁材料からなり前記ケース自体を工作機械に取付ける
ためのケース取付け部材とを具備したことを特徴とする
磁気スケール装置。 - （２）表面に磁気目盛りパターンが形成されたスケール
及び前記スケールに対する相対的な移動量に応じた電気
信号を出力する検出ヘッドを備えた磁気スケール装置に
おいて、 前記スケール及び検出ヘッドを内部に装備し装置本体を
構成するケースと、前記スケールの外径より大きい内径
の中空部を有し前記スケールの両端部をそれぞれ支持す
るために前記ケース内に配置されたテンション保持部材
と、このテンション保持部材の前記中空部の端部に結合
し前記スケールの両端部のそれぞれを前記テンション保
持部材に固定させる絶縁材質のスケール固定部材とを具
備したことを特徴とする磁気スケール装置。 - （３）表面に磁気目盛りパターンが形成されたスケール
及び前記スケールに対する相対的な移動量に応じた電気
信号を出力する検出ヘッドを備えた磁気スケール装置に
おいて、 前記スケール及び検出ヘッドを内部に装備し装置本体を
構成するケースと、このケース内に配置された絶縁材料
からなり前記スケールの両端部をそれぞれ支持するため
のテンション保持部材と、前記ケースの外部表面に配置
された絶縁材料からなり前記ケース自体を前記外部装置
に取付けるためのケース取付け部材とを具備したことを
特徴とする磁気スケール装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61298674A JPH0765881B2 (ja) | 1986-12-17 | 1986-12-17 | 磁気スケ−ル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61298674A JPH0765881B2 (ja) | 1986-12-17 | 1986-12-17 | 磁気スケ−ル装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63151809A true JPS63151809A (ja) | 1988-06-24 |
| JPH0765881B2 JPH0765881B2 (ja) | 1995-07-19 |
Family
ID=17862801
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61298674A Expired - Fee Related JPH0765881B2 (ja) | 1986-12-17 | 1986-12-17 | 磁気スケ−ル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0765881B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002144266A (ja) * | 2000-11-06 | 2002-05-21 | Toshiba Corp | 作業システム |
| JP2016126000A (ja) * | 2014-12-27 | 2016-07-11 | 株式会社ミツトヨ | スケール固定装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60191908U (ja) * | 1984-05-29 | 1985-12-19 | 株式会社ソキア | リニアスケ−ル |
-
1986
- 1986-12-17 JP JP61298674A patent/JPH0765881B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60191908U (ja) * | 1984-05-29 | 1985-12-19 | 株式会社ソキア | リニアスケ−ル |
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|---|---|---|---|---|
| JP2002144266A (ja) * | 2000-11-06 | 2002-05-21 | Toshiba Corp | 作業システム |
| JP2016126000A (ja) * | 2014-12-27 | 2016-07-11 | 株式会社ミツトヨ | スケール固定装置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0765881B2 (ja) | 1995-07-19 |
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