JPH0765881B2 - 磁気スケ−ル装置 - Google Patents
磁気スケ−ル装置Info
- Publication number
- JPH0765881B2 JPH0765881B2 JP61298674A JP29867486A JPH0765881B2 JP H0765881 B2 JPH0765881 B2 JP H0765881B2 JP 61298674 A JP61298674 A JP 61298674A JP 29867486 A JP29867486 A JP 29867486A JP H0765881 B2 JPH0765881 B2 JP H0765881B2
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- Japan
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- scale
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- case
- magnetic
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、物体の位置検出又は移動測定に使用される磁
気スケール装置に関する。
気スケール装置に関する。
（従来の技術） 従来、例えば工作機械のXYテーブルの移動位置制御用と
して、磁気スケール装置が使用されている。磁気スケー
ル装置は、第４図に示すように、ケース10内に磁気目盛
りパターンが形成されたロッド状のスケール11を備えて
おり、検出ヘッド12がスケール11に沿って相対的に移動
するように構成されている。スケール11は、両端部がそ
れぞれロッドホルダ（スケール固定部材）13a,13bを介
在してテンション保持部材14a,14bにより保持されてい
る。
して、磁気スケール装置が使用されている。磁気スケー
ル装置は、第４図に示すように、ケース10内に磁気目盛
りパターンが形成されたロッド状のスケール11を備えて
おり、検出ヘッド12がスケール11に沿って相対的に移動
するように構成されている。スケール11は、両端部がそ
れぞれロッドホルダ（スケール固定部材）13a,13bを介
在してテンション保持部材14a,14bにより保持されてい
る。
一方、検出ヘッド12は、ユニバーサルジョイント15を介
在してキャリア16に接続されている。キャリア16は、ケ
ース10の外部に延在しており、外部からの移動を検出ヘ
ッド12へ伝達するための部材である。
在してキャリア16に接続されている。キャリア16は、ケ
ース10の外部に延在しており、外部からの移動を検出ヘ
ッド12へ伝達するための部材である。
このような磁気スケール装置は、例えば第５図に示すよ
うに、XYテーブル30を有する工作機械31に取付けられ
る。具体的には、ケース10は、XYテーブル30の例えばＸ
方向の移動機構に取付けられる。この場合、第４図に示
すように、ケース10の外部表面に設けられた取付け座17
a,17bを介して、ケース10はXYテーブル30に取付けられ
ることになる。一方、キャリア16は工作機械のベッド
（基台）32側に取付けられている。
うに、XYテーブル30を有する工作機械31に取付けられ
る。具体的には、ケース10は、XYテーブル30の例えばＸ
方向の移動機構に取付けられる。この場合、第４図に示
すように、ケース10の外部表面に設けられた取付け座17
a,17bを介して、ケース10はXYテーブル30に取付けられ
ることになる。一方、キャリア16は工作機械のベッド
（基台）32側に取付けられている。
いま、例えばＸ方向（第５図の矢印）へXYテーブル30が
移動すれば、キャリア16に接続された検出ヘッド12に対
してスケール11が相対的に移動し、検出ヘッド12からそ
の移動量に応じた電気信号が出力される。これにより、
XYテーブル30の例えばＸ方向への移動量が検出されるこ
とになる。
移動すれば、キャリア16に接続された検出ヘッド12に対
してスケール11が相対的に移動し、検出ヘッド12からそ
の移動量に応じた電気信号が出力される。これにより、
XYテーブル30の例えばＸ方向への移動量が検出されるこ
とになる。
ところで、検出ヘッド12とスケール11とは微少間隔を以
て対向配置されている。このため、両者の対向面では接
離摺動が発生し易くなる。このような状態において、XY
テーブル30とベッド32間に電位差が発生した場合、第４
図の点線で示すように、電流が流れるような事態が発生
する。特に、放電加工機又はマシニングセンタ等におい
て発生し易い。したがって、検出ヘッド12とスケール11
との対向面で通電による磁界が発生し、検出ヘッド12の
検出信号にノイズが生ずることがある。これにより、例
えばXYテーブル30の移動制御において、誤動作が発生す
るような欠点がある。
て対向配置されている。このため、両者の対向面では接
離摺動が発生し易くなる。このような状態において、XY
テーブル30とベッド32間に電位差が発生した場合、第４
図の点線で示すように、電流が流れるような事態が発生
する。特に、放電加工機又はマシニングセンタ等におい
て発生し易い。したがって、検出ヘッド12とスケール11
との対向面で通電による磁界が発生し、検出ヘッド12の
検出信号にノイズが生ずることがある。これにより、例
えばXYテーブル30の移動制御において、誤動作が発生す
るような欠点がある。
（発明が解決しようとする問題点） 従来の磁気スケール装置では、工作機械に取付けられた
際に、その取付け近傍に電位差が発生すると、検出ヘッ
ドからノイズが出力されることがある。このため、磁気
スケール装置の検出信号による移動制御において、誤動
作が発生するなどの問題がある。
際に、その取付け近傍に電位差が発生すると、検出ヘッ
ドからノイズが出力されることがある。このため、磁気
スケール装置の検出信号による移動制御において、誤動
作が発生するなどの問題がある。
本発明の目的は、工作機械の取付け部の近傍で多少の電
位差が発生した場合でも、常に確実な検出信号を出力す
る磁気スケール装置を提供することにある。
位差が発生した場合でも、常に確実な検出信号を出力す
る磁気スケール装置を提供することにある。
（問題点を解決するための手段と作用） 本発明は、スケール及び検出ヘッドを内部に装備し装置
本体を構成するケースを、工作機械に取付けるための取
付け部材が絶縁材料からなる磁気スケール装置である。
本体を構成するケースを、工作機械に取付けるための取
付け部材が絶縁材料からなる磁気スケール装置である。
また本発明は、スケールの両端を支持するためのテンシ
ョン保持部材又はスケールの両端をテンション保持部材
に固定させるためのスケール固定部材が絶縁材料からな
る磁気スケール装置である。
ョン保持部材又はスケールの両端をテンション保持部材
に固定させるためのスケール固定部材が絶縁材料からな
る磁気スケール装置である。
このような磁気スケール装置を工作機械に取付けた場合
に、その取付け部の近傍で電位差が発生しても、スケー
ルと検出ヘッドとの対向面に通電による磁界の発生を防
止することができる。
に、その取付け部の近傍で電位差が発生しても、スケー
ルと検出ヘッドとの対向面に通電による磁界の発生を防
止することができる。
（実施例） 以下図面を参照して本考案の実施例を説明する。第１図
は第１の実施例に係わる磁気スケール装置の構成を示す
正面断面図である。第１図において、ケース取付け部材
（取付け座）20a,20bは、例えばセラミックス製の絶縁
材料からなり、ケース10の外部表面の所定の位置に配置
されている。取付け部材20a,20bはケース10を工作機械
の所定の箇所に取付けるための部材である。尚、他の構
成は前記第４図に示すものと同様のため、同一符号を付
して説明を省略する。
は第１の実施例に係わる磁気スケール装置の構成を示す
正面断面図である。第１図において、ケース取付け部材
（取付け座）20a,20bは、例えばセラミックス製の絶縁
材料からなり、ケース10の外部表面の所定の位置に配置
されている。取付け部材20a,20bはケース10を工作機械
の所定の箇所に取付けるための部材である。尚、他の構
成は前記第４図に示すものと同様のため、同一符号を付
して説明を省略する。
次に、同実施例の作用効果を説明する。先ず、ケース10
自体を例えばXYテーブルを有する工作機械等に取付ける
（第５図を参照）。具体的には、XYテーブルの移動機構
の所定の箇所に取付け部材20a,20bを介在して、ケース1
0を取付ける。また、ケース10から外部へ延在している
キャリア16を、工作機械等のベッドに取付ける。
自体を例えばXYテーブルを有する工作機械等に取付ける
（第５図を参照）。具体的には、XYテーブルの移動機構
の所定の箇所に取付け部材20a,20bを介在して、ケース1
0を取付ける。また、ケース10から外部へ延在している
キャリア16を、工作機械等のベッドに取付ける。
このような取付け状態において、XYテーブルの移動機構
が例えばＸ方向へ移動すると、それに伴ってスケール11
は検出ヘッド12に対して相対的にＸ方向へ移動する。検
出ヘッド12は、その移動量に応じた検出信号（電気信
号）を出力する。この検出ヘッド12からの検出信号に基
づいて、XYテーブルの移動機構が移動制御されることに
なる。これにより、XYテーブルは例えばＸ方向に対する
移動位置が調整されることになる。
が例えばＸ方向へ移動すると、それに伴ってスケール11
は検出ヘッド12に対して相対的にＸ方向へ移動する。検
出ヘッド12は、その移動量に応じた検出信号（電気信
号）を出力する。この検出ヘッド12からの検出信号に基
づいて、XYテーブルの移動機構が移動制御されることに
なる。これにより、XYテーブルは例えばＸ方向に対する
移動位置が調整されることになる。
ところで、工作機械等において、XYテーブルとベッド間
で電位差が生じたとする。この電位差の発生により、例
えばXYテーブル、ケース取付け部材20a又は20b、ケース
10、テンション保持部材14a又は14b、スケール11、検出
ヘッド12、キャリア16及びベッドを経て形成される電流
通路が想定される。
で電位差が生じたとする。この電位差の発生により、例
えばXYテーブル、ケース取付け部材20a又は20b、ケース
10、テンション保持部材14a又は14b、スケール11、検出
ヘッド12、キャリア16及びベッドを経て形成される電流
通路が想定される。
ここで、第１の実施例では、取付け部材20a又は20bが絶
縁材料からなる。このため、取付け部材20a又は20bから
ケース10への電流経路は遮断された状態となる。このた
め、スケール11と検出ヘッド12との対向面には電流は流
れず、その対向面に通電による磁界は発生しないことに
なる。
縁材料からなる。このため、取付け部材20a又は20bから
ケース10への電流経路は遮断された状態となる。このた
め、スケール11と検出ヘッド12との対向面には電流は流
れず、その対向面に通電による磁界は発生しないことに
なる。
このようにして、ケース10の取付け部の近傍である例え
ばXYテーブルとベッド間で電位差が生じた場合でも、そ
の電位差による電流経路はケース10内では形成されな
い。このため、スケール11と検出ヘッド12との対向面に
は、電位差による電流は流れないことになる。したがっ
て、スケール11と検出ヘッド12との対向面には通電によ
る磁界は発生せず、検出ヘッド12からその磁界の発生に
よるノイズが出力されような自体を確実に防止すること
ができる。これにより、検出ヘッド12からのノイズで、
例えばXYテーブルの移動制御に誤動作が発生するような
事態を防止することが可能となる。
ばXYテーブルとベッド間で電位差が生じた場合でも、そ
の電位差による電流経路はケース10内では形成されな
い。このため、スケール11と検出ヘッド12との対向面に
は、電位差による電流は流れないことになる。したがっ
て、スケール11と検出ヘッド12との対向面には通電によ
る磁界は発生せず、検出ヘッド12からその磁界の発生に
よるノイズが出力されような自体を確実に防止すること
ができる。これにより、検出ヘッド12からのノイズで、
例えばXYテーブルの移動制御に誤動作が発生するような
事態を防止することが可能となる。
第２図は本発明の第２の実施例に係わる磁気スケール装
置の構成を示す正面断面図である。第２の実施例の装置
では、ロッドホルダ（スケール固定部材）22a,22bはセ
ラミックス等の絶縁材料からなる。ロッドホルダ22a,22
bは、それぞれスケール11の両端部を固定し、テンショ
ン保持部材14a,14bの各中空部に結合されている。テン
ション保持部材14a,14bの各中空部は、スケール11の外
径よりも大きい内径を有するように形成されている。こ
れにより、スケール11は、テンション保持部材14a,14b
の各中空部に接触することなく貫通し、その両端部がロ
ッドホルダ22a,22bを介在してテンション保持部材14a,1
4bに固定されている。尚、他の構成は前記第４図に示す
ものと同様のため、同一符号を付して説明を省略する。
置の構成を示す正面断面図である。第２の実施例の装置
では、ロッドホルダ（スケール固定部材）22a,22bはセ
ラミックス等の絶縁材料からなる。ロッドホルダ22a,22
bは、それぞれスケール11の両端部を固定し、テンショ
ン保持部材14a,14bの各中空部に結合されている。テン
ション保持部材14a,14bの各中空部は、スケール11の外
径よりも大きい内径を有するように形成されている。こ
れにより、スケール11は、テンション保持部材14a,14b
の各中空部に接触することなく貫通し、その両端部がロ
ッドホルダ22a,22bを介在してテンション保持部材14a,1
4bに固定されている。尚、他の構成は前記第４図に示す
ものと同様のため、同一符号を付して説明を省略する。
このような第２の実施例の装置を工作機械に取付けた場
合、ケース10の取付け部の近傍である例えばXYテーブル
とベッド間で電位差が生じた場合でも、前記第１の実施
例の場合と同様に、スケール11と検出ヘッド12との対向
面には通電による磁界は発生せず、検出ヘッド12からそ
の磁界の発生によるノイズが出力されるような事態を確
実に防止することができる。即ち、第２の実施例では、
スケール11は絶縁材質のロッドホルダ22a,22bを介在し
てテンション保持部材14a,14bに固定されている。この
ため、例えばXYテーブル、取付け部材17a又は17b、ケー
ス10、テンション保持部材14a又は14b、スケール11、検
出ヘッド12、キャリア16及びベッドを経て形成される電
流通路において、テンション保持部材14a又は14bからス
ケール11への電流の流れを遮断することができる。
合、ケース10の取付け部の近傍である例えばXYテーブル
とベッド間で電位差が生じた場合でも、前記第１の実施
例の場合と同様に、スケール11と検出ヘッド12との対向
面には通電による磁界は発生せず、検出ヘッド12からそ
の磁界の発生によるノイズが出力されるような事態を確
実に防止することができる。即ち、第２の実施例では、
スケール11は絶縁材質のロッドホルダ22a,22bを介在し
てテンション保持部材14a,14bに固定されている。この
ため、例えばXYテーブル、取付け部材17a又は17b、ケー
ス10、テンション保持部材14a又は14b、スケール11、検
出ヘッド12、キャリア16及びベッドを経て形成される電
流通路において、テンション保持部材14a又は14bからス
ケール11への電流の流れを遮断することができる。
第３図は本発明の第３の実施例に係わる磁気スケール装
置の構成を示す正面断面図である。第３の実施例の装置
では、テンション保持部材21a,21bはそれぞれ例えばセ
ラミックス又は繊維強化樹脂等の絶縁材料からなる。
尚、他の構成は前記第１図に示す第１の実施例ものと同
様のため、同一符号を付して説明を省略する。
置の構成を示す正面断面図である。第３の実施例の装置
では、テンション保持部材21a,21bはそれぞれ例えばセ
ラミックス又は繊維強化樹脂等の絶縁材料からなる。
尚、他の構成は前記第１図に示す第１の実施例ものと同
様のため、同一符号を付して説明を省略する。
このような第３の実施例の装置を工作機械に取付けた場
合、ケース10の取付け部の近傍である例えばXYテーブル
とベッド間で電位差が生じた場合でも、前記第１の実施
例の場合と同様に、スケール11と検出ヘッド12との対向
面には通電による磁界は発生せず、検出ヘッド12からそ
の磁界の発生によるノイズが出力されるような事態を確
実に防止することができる。即ち、第３の実施例では、
例えばXYテーブル、取付け部材20a又は20b、ケース10、
テンション保持部材21a又は21b、スケール11、検出ヘッ
ド12、キャリア16及びベッドを経て形成される電流通路
において、絶縁材質の取付け部材20a,20b及びテンショ
ン保持部材21a又は21bによりスケール11への電流の流れ
を遮断することができる。
合、ケース10の取付け部の近傍である例えばXYテーブル
とベッド間で電位差が生じた場合でも、前記第１の実施
例の場合と同様に、スケール11と検出ヘッド12との対向
面には通電による磁界は発生せず、検出ヘッド12からそ
の磁界の発生によるノイズが出力されるような事態を確
実に防止することができる。即ち、第３の実施例では、
例えばXYテーブル、取付け部材20a又は20b、ケース10、
テンション保持部材21a又は21b、スケール11、検出ヘッ
ド12、キャリア16及びベッドを経て形成される電流通路
において、絶縁材質の取付け部材20a,20b及びテンショ
ン保持部材21a又は21bによりスケール11への電流の流れ
を遮断することができる。
［発明の効果］ 以上詳述したように本発明によれば、工作機械に取付け
た場合、その取付け部近傍で多少の電位差が発生して
も、スケールと検出ヘッドとの対向面でその電位差の発
生による磁界の発生を防止することができる。このた
め、検出ヘッドからノイズが出力されることを防止する
ことができ、常に移動量に応じた確実な検出信号を得る
ことができる。
た場合、その取付け部近傍で多少の電位差が発生して
も、スケールと検出ヘッドとの対向面でその電位差の発
生による磁界の発生を防止することができる。このた
め、検出ヘッドからノイズが出力されることを防止する
ことができ、常に移動量に応じた確実な検出信号を得る
ことができる。
これにより、多少の電位差を発生し易い工作機械等に使
用しても、検出ヘッドからの検出信号に基づいて行なう
物体の移動制御の誤動作を確実に防止することが可能と
なるものである。
用しても、検出ヘッドからの検出信号に基づいて行なう
物体の移動制御の誤動作を確実に防止することが可能と
なるものである。
第１図は本発明の第１の実施例に係わる磁気スケール装
置の構成を示す正面断面図、第２図は本発明の第２の実
施例に係わる磁気スケール装置の構成を示す正面断面
図、第３図は本発明の第３の実施例に係わる磁気スケー
ル装置の構成を示す正面断面図、第４図は従来の磁気ス
ケール装置の構成を示す正面断面図、第５図は従来の磁
気スケール装置を工作機械に使用した際の説明図であ
る。 10……ケース、11……スケール、12……検出ヘッド、13
a,13b,22a,22b……ロッドホルダ（スケール固定部
材）、14a,14b,21a,21b……テンション保持部材、16…
…キャリア、17a,17b,20a,20b……ケース取付け部材。
置の構成を示す正面断面図、第２図は本発明の第２の実
施例に係わる磁気スケール装置の構成を示す正面断面
図、第３図は本発明の第３の実施例に係わる磁気スケー
ル装置の構成を示す正面断面図、第４図は従来の磁気ス
ケール装置の構成を示す正面断面図、第５図は従来の磁
気スケール装置を工作機械に使用した際の説明図であ
る。 10……ケース、11……スケール、12……検出ヘッド、13
a,13b,22a,22b……ロッドホルダ（スケール固定部
材）、14a,14b,21a,21b……テンション保持部材、16…
…キャリア、17a,17b,20a,20b……ケース取付け部材。
Claims (1)
- 【請求項１】表面に磁気目盛りパターンが形成されたス
ケール及び前記スケールに対する相対的な移動量に応じ
た電気信号を出力する検出ヘッドを備えた磁気スケール
装置において、 前記スケール及び前記検出ヘッドを内部に装備し装置本
体を構成するケースと、 前記ケース内に配置されて、前記スケールの外径より大
きい内径の中空部を有し、この中空部を貫通する前記ス
ケールの両端部を前記中空部の内壁とは非接触の状態で
前記スケールを支持するためのテンション保持部材と、 前記スケールの両端部に設けられた絶縁材質の部材であ
って、前記テンション保持部材の前記中空部の端部に結
合して、前記中空部の内壁とは非接触状態の前記スケー
ルの両端部を前記テンション保持部材に固定させるため
のスケール固定部材とを具備したことを特徴とする磁気
スケール装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61298674A JPH0765881B2 (ja) | 1986-12-17 | 1986-12-17 | 磁気スケ−ル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61298674A JPH0765881B2 (ja) | 1986-12-17 | 1986-12-17 | 磁気スケ−ル装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63151809A JPS63151809A (ja) | 1988-06-24 |
| JPH0765881B2 true JPH0765881B2 (ja) | 1995-07-19 |
Family
ID=17862801
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61298674A Expired - Fee Related JPH0765881B2 (ja) | 1986-12-17 | 1986-12-17 | 磁気スケ−ル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0765881B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002144266A (ja) * | 2000-11-06 | 2002-05-21 | Toshiba Corp | 作業システム |
| JP6634233B2 (ja) * | 2014-12-27 | 2020-01-22 | 株式会社ミツトヨ | スケール固定装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60191908U (ja) * | 1984-05-29 | 1985-12-19 | 株式会社ソキア | リニアスケ−ル |
-
1986
- 1986-12-17 JP JP61298674A patent/JPH0765881B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63151809A (ja) | 1988-06-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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