JPS62254682A - コイル可動形リニア直流モ−タ - Google Patents
コイル可動形リニア直流モ−タInfo
- Publication number
- JPS62254682A JPS62254682A JP61094521A JP9452186A JPS62254682A JP S62254682 A JPS62254682 A JP S62254682A JP 61094521 A JP61094521 A JP 61094521A JP 9452186 A JP9452186 A JP 9452186A JP S62254682 A JPS62254682 A JP S62254682A
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- linear
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Landscapes
- Control Of Linear Motors (AREA)
- Linear Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
〔産業上の利用分野〕
本発明はコイル可動形リニア直流モータに係り、特に可
動範囲が比較的長くしかも位置決め精度の厳しく要求さ
れる位置決め装置の駆動機構に好適なコイル可動形リニ
ア直流モータに関する。 〔従来の技術〕 従来のコイル可動形リニア直流モータはたとえば特公昭
５８−４００１１９号公報に開示されているように１組
のコイル及びアンプからなっており、コイルが分割され
ているのはモータの力定数を全ストロークにわたって均
一にさせるためであった。 〔発明が解決しようとする問題点〕 上記従来技術は比較的長いストロークを高速移動し、し
かもストローク中の任意の位置に高精度に位置決めを行
うには下記の点について不十分であった、たとえば、位
置決め範囲１０個、位置決め精度０．１μｍの位置決め
装置を考えた場合。 このときの位置決め精度に対する位置決め範囲のレンジ
は１０”となる、このような位置決め装置にサーボ系を
構成して位置決めを行う場合、位置決め制御性（位置決
め精度や位置決め時間）を向上するためには、サーボ系
の剛性（モータ推力（Ｎ）／偏差量（ｍ））を安定な範
囲内で大きくすればよい、ところが、微小な偏差量で十
分な推力を発生して剛性を確保しようとすると、上記の
例のような広いレンジを有する装置においては、アンプ
の電圧飽和やモータの電流制限を考慮すると、最大推力
が十分にとれないという問題がある。又。 逆に最大推力を設定すると、＊小駆動時の剛性が十分で
なくなるという問題がある。 本発明の目的は、前述の事柄にもとづいてなされたもの
で、移動距離が長く、しかも位置決め精度が高い位置決
め装置に適したコイル可動形リニア直流モータを提供す
ることにある。 〔問題点を解決するための手段〕 本発明の上記の目的は、コイル可動形リニア直流モータ
を構成する可動コイルを高速移動用と微小位置決め用と
のコイルに分けて、それぞれを同一の可動子（ボビン）
に固着し、これらのコイルに目標値と変位値との、偏差
量にもとづいてコイルの電流供給量を制御する制御回路
を接続することにより達成される。 〔作用〕 まず高速高精度位置決めを行せる場合には、目標値と現
在値の偏差量を判定して、ある値より大きい場合は、高
速移動用コイルに通電し、大きな推力で高速に目標値ま
で近づける。偏差量がある値より小さくなると、微小位
置決め用コイルに切換え、サーボ剛性を高めて、短時間
で目標値に整定させる。 （発明の実施例〕 以下１本発明の実施例を第１図により説明する。 第１図は本発明のコイル可動形リニア直流モータの一実
施例を示したものでこの図において１はアウタヨーク、
２はセンタヨーク、３はサイドヨーり、４はアウタヨー
ク１の内側に設けた永久磁石、５はセンタヨークに沿っ
て移動するコイル及びボビンからなる可動部で、この可
動部は３個の高速移動用コイル５１ａ、５１ｂ、５ｃを
３組備えたものと、３個の微小位置決め用コイル５２８
゜５２ｂ、５２ｃの１組とで構成され、各高速移動用コ
イルおよび微小位置決め用コイルの符号の添字Ｐｋ 、
ｈ ＠ ｃは３相コイルの各相を表わしている。 ６は微小位置決め用コイル５２ ａ〜５ｏに設けたコイ
ル切換用の界磁センサ、７は界磁センサ検出回路、８は
高速移動用の３相コイル切換回路、９はスイッチング増
幅器、１０は微小位置決め用の３相コイル切換回路、１
１はリニア増幅器、１２は高速移動用コイルと微小位置
決め用コイルとの切換回路、１３は制御回路１４は偏差
信号発生回路、１５は目標値発生ｌ路、１６は位置検出
器（図示せず）からの信号の検出回路である。 次に上述した本発明のりニアモータの一実施例の動作を
説明する。 目標値発生回路１５と位置検出の回路１６との偏差ｅが
偏差信号発生回路１４より求められ、制御回路１３によ
って安定化がはかられる。又、切換回路１２によって偏
差の大きさに従って電流を供給するコイルの選定が行わ
れ、制御回路１３の出力が高速移動用の３相コイル切換
回路８．又は微小位置決め川の３相コイル切換回路１０
のいずれかに供給される。偏差０がある設定値より、大
きいときは、高速移動用の３相コイル切換回路８に信号
が供給される。この回路８では、コイル切換用の界磁セ
ンサ６の出力が界磁センサ検出回路７を通して、回路８
に入力され、コイルの位置に従って３相コイルのうち通
電すべきコイルが選択される０次に回路８の出力信号が
スイッチング増幅器９によって電流増幅された後、コイ
ル５１ａ〜５１ｃに電流供給される。コイル５】８〜５
Ｌｏは、永久磁石４とアウタ１−り
動範囲が比較的長くしかも位置決め精度の厳しく要求さ
れる位置決め装置の駆動機構に好適なコイル可動形リニ
ア直流モータに関する。 〔従来の技術〕 従来のコイル可動形リニア直流モータはたとえば特公昭
５８−４００１１９号公報に開示されているように１組
のコイル及びアンプからなっており、コイルが分割され
ているのはモータの力定数を全ストロークにわたって均
一にさせるためであった。 〔発明が解決しようとする問題点〕 上記従来技術は比較的長いストロークを高速移動し、し
かもストローク中の任意の位置に高精度に位置決めを行
うには下記の点について不十分であった、たとえば、位
置決め範囲１０個、位置決め精度０．１μｍの位置決め
装置を考えた場合。 このときの位置決め精度に対する位置決め範囲のレンジ
は１０”となる、このような位置決め装置にサーボ系を
構成して位置決めを行う場合、位置決め制御性（位置決
め精度や位置決め時間）を向上するためには、サーボ系
の剛性（モータ推力（Ｎ）／偏差量（ｍ））を安定な範
囲内で大きくすればよい、ところが、微小な偏差量で十
分な推力を発生して剛性を確保しようとすると、上記の
例のような広いレンジを有する装置においては、アンプ
の電圧飽和やモータの電流制限を考慮すると、最大推力
が十分にとれないという問題がある。又。 逆に最大推力を設定すると、＊小駆動時の剛性が十分で
なくなるという問題がある。 本発明の目的は、前述の事柄にもとづいてなされたもの
で、移動距離が長く、しかも位置決め精度が高い位置決
め装置に適したコイル可動形リニア直流モータを提供す
ることにある。 〔問題点を解決するための手段〕 本発明の上記の目的は、コイル可動形リニア直流モータ
を構成する可動コイルを高速移動用と微小位置決め用と
のコイルに分けて、それぞれを同一の可動子（ボビン）
に固着し、これらのコイルに目標値と変位値との、偏差
量にもとづいてコイルの電流供給量を制御する制御回路
を接続することにより達成される。 〔作用〕 まず高速高精度位置決めを行せる場合には、目標値と現
在値の偏差量を判定して、ある値より大きい場合は、高
速移動用コイルに通電し、大きな推力で高速に目標値ま
で近づける。偏差量がある値より小さくなると、微小位
置決め用コイルに切換え、サーボ剛性を高めて、短時間
で目標値に整定させる。 （発明の実施例〕 以下１本発明の実施例を第１図により説明する。 第１図は本発明のコイル可動形リニア直流モータの一実
施例を示したものでこの図において１はアウタヨーク、
２はセンタヨーク、３はサイドヨーり、４はアウタヨー
ク１の内側に設けた永久磁石、５はセンタヨークに沿っ
て移動するコイル及びボビンからなる可動部で、この可
動部は３個の高速移動用コイル５１ａ、５１ｂ、５ｃを
３組備えたものと、３個の微小位置決め用コイル５２８
゜５２ｂ、５２ｃの１組とで構成され、各高速移動用コ
イルおよび微小位置決め用コイルの符号の添字Ｐｋ 、
ｈ ＠ ｃは３相コイルの各相を表わしている。 ６は微小位置決め用コイル５２ ａ〜５ｏに設けたコイ
ル切換用の界磁センサ、７は界磁センサ検出回路、８は
高速移動用の３相コイル切換回路、９はスイッチング増
幅器、１０は微小位置決め用の３相コイル切換回路、１
１はリニア増幅器、１２は高速移動用コイルと微小位置
決め用コイルとの切換回路、１３は制御回路１４は偏差
信号発生回路、１５は目標値発生ｌ路、１６は位置検出
器（図示せず）からの信号の検出回路である。 次に上述した本発明のりニアモータの一実施例の動作を
説明する。 目標値発生回路１５と位置検出の回路１６との偏差ｅが
偏差信号発生回路１４より求められ、制御回路１３によ
って安定化がはかられる。又、切換回路１２によって偏
差の大きさに従って電流を供給するコイルの選定が行わ
れ、制御回路１３の出力が高速移動用の３相コイル切換
回路８．又は微小位置決め川の３相コイル切換回路１０
のいずれかに供給される。偏差０がある設定値より、大
きいときは、高速移動用の３相コイル切換回路８に信号
が供給される。この回路８では、コイル切換用の界磁セ
ンサ６の出力が界磁センサ検出回路７を通して、回路８
に入力され、コイルの位置に従って３相コイルのうち通
電すべきコイルが選択される０次に回路８の出力信号が
スイッチング増幅器９によって電流増幅された後、コイ
ル５１ａ〜５１ｃに電流供給される。コイル５】８〜５
Ｌｏは、永久磁石４とアウタ１−り
【及びセンタヨーク
２からなる磁気回路中のギャップに挿入されており、磁
束とコイルに通電される電流の相互作用により、長手方
向に推力が発生し可動部５が駆動される。 次に、コイルを含む可動部５が移動して偏差ｅがある設
定値より小さくなると、コイル切換回路１２により、微
小位置決め用の３相コイル切換回路１０に信号が供給さ
れ、リニア増幅器１１によって電流増幅された後、微小
位置決め川のコイル５２ａ□”５２ｃに電流が供給され
る。すなわち、この実施例によれば、偏差０に従って高
速移動用のコイル５１ａ〜５１ｃと微小位置決め用のコ
イル５２ａ〜５２ｃのいずれかが選択され、それぞれに
対応した駆動回路に信号が供給される。このことにより
、偏差ｅが大きいときは大きな推力を得ることにより高
速移動が可能になり、偏差０が小さくなると、推力は小
さくてよいがサーボ剛性（推力／偏差量）の高い駆動が
実現でき、目標値にすばやくかつ精密に整定することが
できる。 第２図は本発明ま他の実施例を示すもので、この図にお
いて第１図と同符号のものは同一部分である。この第２
図において、１７は高速移動用制御回路、１８は微小位
置決め用制御回路、１９は高速移動および微小位置決め
用の切換回路である。 この本実施例では、コイルに対応した制御回路を別に設
けるものやあり、高速移動用制御回路１７は、たとえば
最短時間制御則にのっとった制御回路であり、微小位置
決め用制御回路１８は、たとえば状態フィードバックを
有する位置制御系である。この本実施例によれば、制御
回路も切換えることにより、より制御性を高めることが
できる。 なお、上述の実施例においては３相コイルを用いたが、
この代わりに２相コイルを用いることもできる。 第３図は本発明のコイル可動形リニア直流モータを用い
た直角座標形位置決めユニットの一実施例である。同図
において１０１ａ、１０１ｂはＸ軸すニア直流モータ、
１０２はＹ軸すニア直流モータ、１０３はＸ軸方向の位
置を検出するＸ軸すニアスケール、１０４はＹ軸方向の
位置を検出するＹ軸すニアスケール、１０５ａ、１０５
ｂはＸ軸案内機構で本図では円筒形状の固幸部上にこれ
を取り囲んでいる可動部が静圧で支持されている構造と
なっている。又、１０６はＹ軸案内機構で２本の円筒形
状固定部上にこれを取り囲んでいる可動部が静圧で支持
されている構造となっている。 １０７はＹ軸案内機構１０６の固定部に沿ってＹ軸方向
に自在に動くＹキャリッジであり、１０８はＸ軸案内機
構１０５の固定部に沿ってＸ軸方向に自在に動くｘキャ
リッジでＸ軸案内機構１０５゜Ｙ軸すニア直流モータ１
０２．Ｙ軸すニアスケール１０４及びＸキャリッジ１０
７からなる。ここでＸ軸すニア直流モータ１０．１．Ｙ
軸すニア直流モータ１０２は本発明のコイル可動形リニ
ア直流モータであり、その構造は本発明の第１の実施例
として第１図に示されている構造と同一である。 第１図におけるコイル及びボビンからなる可動部５が、
Ｘ軸すニア直流モータ１０１の場合はＸ軸案内機構１０
５に直結され、同コイルに通電することによりＸキャリ
ッジ１０８を駆動する。一方、Ｙ軸すニア直流モータ１
０２の場合はＹ軸案内機構１０６に直結され同コイルに
通電することによりＹキャリッジ１０７を駆動する。 さて、第３図に示した直角座標形位置決め二ニットは、
リニア直流モータによる非接触直接駆動、静圧案内によ
る非接触案内の構造となっているため、位置決め精度が
高く、しかも位置決め時間の短い動作が可能である。こ
のため、本ユニットは、電子チップ部品の基板への搭載
、組付けや光ファイバの部品の組立等ミクロンオーダの
位置決め装置として用いられる０本ユニットの動作は、
部品を部品供給ツールにより取り出して組み付は対象物
まで移動する動作】と部品を精密に組み付ける動作２よ
りなる。ここで動作１は移動距離が長く、しかもタクト
タイムの短縮のため高速移動が要求されている。又、動
作２はミクロンオーダの精密位置決めが要求されている
。このように本ユニットは高速移動や精密位置決めの２
つの動作が必要とされる。そこで本ユニットの駆動機構
に本発明のコイル可動形リニア直流モータを用いること
により上述の２つの動作を複数のコイル及び制御回路に
それぞれ分担させることができ、各動作共最適に行うこ
とができるという効果がある。 なお、本発明のコイル可動形リニア直流モータは、第３
図の構造の一軸分のみで構成される位置決めユニットに
対しても適用でき、同様な効果がある。 〔発明の効果〕 本発明によれば、１つのリニア直流モータでたとえば高
速移動と縮小位置決めとの２つの機能を合わせもつこと
ができる。このことにより、本発明のコイル可動形リニ
ア直流モータはモータの木きさを変えることなく１位置
決めの高速化、高精度化がはかれ、位置決めの性能が向
上できるという効果がある。
２からなる磁気回路中のギャップに挿入されており、磁
束とコイルに通電される電流の相互作用により、長手方
向に推力が発生し可動部５が駆動される。 次に、コイルを含む可動部５が移動して偏差ｅがある設
定値より小さくなると、コイル切換回路１２により、微
小位置決め用の３相コイル切換回路１０に信号が供給さ
れ、リニア増幅器１１によって電流増幅された後、微小
位置決め川のコイル５２ａ□”５２ｃに電流が供給され
る。すなわち、この実施例によれば、偏差０に従って高
速移動用のコイル５１ａ〜５１ｃと微小位置決め用のコ
イル５２ａ〜５２ｃのいずれかが選択され、それぞれに
対応した駆動回路に信号が供給される。このことにより
、偏差ｅが大きいときは大きな推力を得ることにより高
速移動が可能になり、偏差０が小さくなると、推力は小
さくてよいがサーボ剛性（推力／偏差量）の高い駆動が
実現でき、目標値にすばやくかつ精密に整定することが
できる。 第２図は本発明ま他の実施例を示すもので、この図にお
いて第１図と同符号のものは同一部分である。この第２
図において、１７は高速移動用制御回路、１８は微小位
置決め用制御回路、１９は高速移動および微小位置決め
用の切換回路である。 この本実施例では、コイルに対応した制御回路を別に設
けるものやあり、高速移動用制御回路１７は、たとえば
最短時間制御則にのっとった制御回路であり、微小位置
決め用制御回路１８は、たとえば状態フィードバックを
有する位置制御系である。この本実施例によれば、制御
回路も切換えることにより、より制御性を高めることが
できる。 なお、上述の実施例においては３相コイルを用いたが、
この代わりに２相コイルを用いることもできる。 第３図は本発明のコイル可動形リニア直流モータを用い
た直角座標形位置決めユニットの一実施例である。同図
において１０１ａ、１０１ｂはＸ軸すニア直流モータ、
１０２はＹ軸すニア直流モータ、１０３はＸ軸方向の位
置を検出するＸ軸すニアスケール、１０４はＹ軸方向の
位置を検出するＹ軸すニアスケール、１０５ａ、１０５
ｂはＸ軸案内機構で本図では円筒形状の固幸部上にこれ
を取り囲んでいる可動部が静圧で支持されている構造と
なっている。又、１０６はＹ軸案内機構で２本の円筒形
状固定部上にこれを取り囲んでいる可動部が静圧で支持
されている構造となっている。 １０７はＹ軸案内機構１０６の固定部に沿ってＹ軸方向
に自在に動くＹキャリッジであり、１０８はＸ軸案内機
構１０５の固定部に沿ってＸ軸方向に自在に動くｘキャ
リッジでＸ軸案内機構１０５゜Ｙ軸すニア直流モータ１
０２．Ｙ軸すニアスケール１０４及びＸキャリッジ１０
７からなる。ここでＸ軸すニア直流モータ１０．１．Ｙ
軸すニア直流モータ１０２は本発明のコイル可動形リニ
ア直流モータであり、その構造は本発明の第１の実施例
として第１図に示されている構造と同一である。 第１図におけるコイル及びボビンからなる可動部５が、
Ｘ軸すニア直流モータ１０１の場合はＸ軸案内機構１０
５に直結され、同コイルに通電することによりＸキャリ
ッジ１０８を駆動する。一方、Ｙ軸すニア直流モータ１
０２の場合はＹ軸案内機構１０６に直結され同コイルに
通電することによりＹキャリッジ１０７を駆動する。 さて、第３図に示した直角座標形位置決め二ニットは、
リニア直流モータによる非接触直接駆動、静圧案内によ
る非接触案内の構造となっているため、位置決め精度が
高く、しかも位置決め時間の短い動作が可能である。こ
のため、本ユニットは、電子チップ部品の基板への搭載
、組付けや光ファイバの部品の組立等ミクロンオーダの
位置決め装置として用いられる０本ユニットの動作は、
部品を部品供給ツールにより取り出して組み付は対象物
まで移動する動作】と部品を精密に組み付ける動作２よ
りなる。ここで動作１は移動距離が長く、しかもタクト
タイムの短縮のため高速移動が要求されている。又、動
作２はミクロンオーダの精密位置決めが要求されている
。このように本ユニットは高速移動や精密位置決めの２
つの動作が必要とされる。そこで本ユニットの駆動機構
に本発明のコイル可動形リニア直流モータを用いること
により上述の２つの動作を複数のコイル及び制御回路に
それぞれ分担させることができ、各動作共最適に行うこ
とができるという効果がある。 なお、本発明のコイル可動形リニア直流モータは、第３
図の構造の一軸分のみで構成される位置決めユニットに
対しても適用でき、同様な効果がある。 〔発明の効果〕 本発明によれば、１つのリニア直流モータでたとえば高
速移動と縮小位置決めとの２つの機能を合わせもつこと
ができる。このことにより、本発明のコイル可動形リニ
ア直流モータはモータの木きさを変えることなく１位置
決めの高速化、高精度化がはかれ、位置決めの性能が向
上できるという効果がある。
第１図は本発明のりニアモータの一実施例の構成を示す
図、第２図は本発明のりニアモータの他の実施例の構成
を示す図、第３図は本発明のりニアモータ装置の実施例
の構造である。 １・・・アウタヨーク、２・・・センタヨーク、３・・
・サイドヨーク、４・・・永久磁石、５・・・可動部、
５１ａ〜５１ｏ・・・高速移動用コイル、５２ａ〜５２
ｃ・・・微小位置決め用コイル、６・・・コイル切換用
の界磁センサ、７・・・界磁センサ検出回路、８・・・
高速移り１用の３相コイル切換回路、９・・・スイッチ
ング増幅器。 １０・・・微小位置決め用の３相コイル切換回路、１１
・・・リニア増幅器、１２・・・高速移動用コイルと微
小位置決め用のコイル切換回路、１７・・・高速移動用
制御回路、１８・・・微小位置決め用制御回路。
図、第２図は本発明のりニアモータの他の実施例の構成
を示す図、第３図は本発明のりニアモータ装置の実施例
の構造である。 １・・・アウタヨーク、２・・・センタヨーク、３・・
・サイドヨーク、４・・・永久磁石、５・・・可動部、
５１ａ〜５１ｏ・・・高速移動用コイル、５２ａ〜５２
ｃ・・・微小位置決め用コイル、６・・・コイル切換用
の界磁センサ、７・・・界磁センサ検出回路、８・・・
高速移り１用の３相コイル切換回路、９・・・スイッチ
ング増幅器。 １０・・・微小位置決め用の３相コイル切換回路、１１
・・・リニア増幅器、１２・・・高速移動用コイルと微
小位置決め用のコイル切換回路、１７・・・高速移動用
制御回路、１８・・・微小位置決め用制御回路。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、永久磁石と、前記永久磁石を固着せしめている磁性
部材と、前記永久磁石と間隔をあけて設けられた磁性部
材と、前記磁性部材と前 記磁性部材を接続する磁性部材からなる固 定部と、前記永久磁石と前記磁性部材との間の空隙に長
手方向に自在に移動できるボビンと前記ボビンに巻かれ
ているコイルからなる可動部とによつて構成されるコイ
ル可動形リニア直流モータにおいて、前記可動部のコイ
ルは互いに独立した高速移動用のコイルと微小位置決め
用のコイルとの組からなり、可動部の目標値と変位値と
の偏差に応じて前記コイルへの電流供給を制御する手段
とを備えたことを特徴とするコイル可動形リニア直流モ
ータ。 ２、前記コイルは３相コイルで構成したことを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載のコイル可動形リニア直流
モータ。 ３、前記コイルは２相コイルで構成したことを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載のコイル可動形リニア直流
モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61094521A JPH072036B2 (ja) | 1986-04-25 | 1986-04-25 | コイル可動形リニア直流モ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61094521A JPH072036B2 (ja) | 1986-04-25 | 1986-04-25 | コイル可動形リニア直流モ−タ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62254682A true JPS62254682A (ja) | 1987-11-06 |
| JPH072036B2 JPH072036B2 (ja) | 1995-01-11 |
Family
ID=14112632
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61094521A Expired - Lifetime JPH072036B2 (ja) | 1986-04-25 | 1986-04-25 | コイル可動形リニア直流モ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH072036B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6734583B2 (en) | 2000-08-21 | 2004-05-11 | Nippon Thompson Co., Ltd. | Slider unit with built-in moving-coil linear motor |
| JP2005057992A (ja) * | 2003-07-22 | 2005-03-03 | Neomax Co Ltd | 可動コイル型リニアモータ及びその制御方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103717440B (zh) * | 2011-06-07 | 2017-05-17 | 麦克纳莫绅有限公司 | 线性同步电机推进系统的通用控制 |
-
1986
- 1986-04-25 JP JP61094521A patent/JPH072036B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6734583B2 (en) | 2000-08-21 | 2004-05-11 | Nippon Thompson Co., Ltd. | Slider unit with built-in moving-coil linear motor |
| JP2005057992A (ja) * | 2003-07-22 | 2005-03-03 | Neomax Co Ltd | 可動コイル型リニアモータ及びその制御方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH072036B2 (ja) | 1995-01-11 |
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